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公开(公告)号：WO2017146553A1
公开(公告)日：2017-08-31
申请号：PCT/KR2017/002165
申请日：2017-02-27
Applicant: 선문대학교 산학협력단
IPC: H01J37/32 , H01J37/18 , H01J37/147
CPC classification number: H01J37/147 , H01J37/18 , H01J37/32
Abstract: 본 발명은 전자 칼럼을 진공 장비에 설치할 때 사용하는 배선 커넥터에 관한 것으로, 보다 상세하게는 전자칼럼이 사용되는 진공 챔버에서 외부 배선을 위한 피드스루(feedthrough)와 전자칼럼을 배선 연결하며 고정하기 위한 커넥터에 관한 것이다. 상기 컨넥터는 전자칼럼과 소켓 방식으로 연결되는 고정부, 그리고 플렉서블 배선, 및 탄성체를 기본 구성요소로 하여 구성된다.
Abstract translation: 本发明涉及用于在真空设备中安装电子柱的配线连接器，更具体地涉及用于其中使用电子柱的真空室中的配线连接器，用于外部配线的馈通， 用于接线和固定色谱柱的连接器。 该连接器包括以插座方式连接到电子柱的固定部分，柔性布线和弹性体作为基本部件。
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公开(公告)号：KR1020170101377A
公开(公告)日：2017-09-06
申请号：KR1020160023759
申请日：2016-02-26
Applicant: 선문대학교 산학협력단
IPC: H01J37/32 , H01J37/18 , H01J37/147
CPC classification number: H01J37/147 , H01J37/18 , H01J37/32
Abstract: 본발명은전자칼럼을진공장비에설치할때 사용하는배선커넥터에관한것으로, 보다상세하게는전자칼럼이사용되는진공챔버에서외부배선을위한피드스루(feedthrough)와전자칼럼을배선연결하며고정하기위한커넥터에관한것이다. 상기컨넥터는전자칼럼과소켓방식으로연결되는고정부, 그리고플렉서블배선, 및탄성체를기본구성요소로하여구성된다.
Abstract translation: 布线连接器技术领域本发明涉及用于在真空设备中安装电子柱的布线连接器，更具体地涉及用于在其中使用电子柱的真空室中安装和固定电子柱的布线连接器， 本发明涉及一种连接器。 连接器包括以插座方式连接到电子柱的固定部分，柔性布线和弹性体作为基本部件。
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公开(公告)号：KR101818079B1
公开(公告)日：2018-01-15
申请号：KR1020170042861
申请日：2017-04-03
Applicant: 선문대학교 산학협력단
IPC: H01J1/304
Abstract: 본발명은나노에서수십나노크기의튜브, 기둥또는덩어리형태의구조를가진나노구조팁을구비한초소형전자칼럼에관한것으로서, 보다구체적으로는전압을인가하면끝 부분에높은전기장이형성되어전자를용이하게방출할수 있는나노구조팁을구비하고있으며, 다른전자렌즈부품, 즉전자렌즈어퍼처홀과정렬이용이하며사용이편리한초소형전자칼럼에관한것이다. 본발명의초소형전자칼럼은나노구조팁의크기가소스렌즈의구경보다큰 것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR1020170040786A
公开(公告)日：2017-04-13
申请号：KR1020170042862
申请日：2017-04-03
Applicant: 선문대학교 산학협력단
IPC: H01J1/304
Abstract: 본발명은나노에서수십나노크기의튜브, 기둥또는덩어리형태의구조를가진나노구조팁을구비한초소형전자칼럼에관한것으로서, 보다구체적으로는전압을인가하면끝 부분에높은전기장이형성되어전자를용이하게방출할수 있는나노구조팁을구비하고있으며, 다른전자렌즈부품, 즉전자렌즈어퍼처홀과정렬이용이하며사용이편리한초소형전자칼럼에관한것이다. 본발명의초소형전자칼럼은나노구조팁의크기가소스렌즈의구경보다큰 것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR1020160102588A
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：KR1020150024732
申请日：2015-02-20
Applicant: 선문대학교 산학협력단
IPC: H01J1/304
CPC classification number: H01J37/065 , H01J37/073 , H01J2237/04924 , H01J2237/063 , H01J2237/06341 , H01J2237/0635 , H01J2237/083 , H01J2237/1205 , H01J1/304
Abstract: 본발명은나노에서수십나노크기의튜브, 기둥또는덩어리형태의구조를가진나노구조팁을구비한초소형전자칼럼에관한것으로서, 보다구체적으로는전압을인가하면끝 부분에높은전기장이형성되어전자를용이하게방출할수 있는나노구조팁을구비하고있으며, 다른전자렌즈부품, 즉전자렌즈어퍼처홀과정렬이용이하며사용이편리한초소형전자칼럼에관한것이다. 본발명의초소형전자칼럼은나노구조팁의크기가소스렌즈의구경보다큰 것을특징으로한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种具有纳米结构的具有几纳米尺寸的管，柱或晶粒结构的微电子柱。 更具体地说，本发明涉及一种微电子柱，其具有通过在施加电压时在末端形成强电场而容易地发射电子的纳米结构尖端，并且便于不同的电子透镜，即电子透镜孔 孔和对齐。 在本发明的微电子柱中，纳米结构尖端的尺寸大于源透镜的直径。 因此，可以提高电子束的密度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020160102587A
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：KR1020150024719
申请日：2015-02-20
Applicant: 선문대학교 산학협력단
IPC: H01J1/304
CPC classification number: H01J1/304
Abstract: 본발명은나노에서수십나노크기의튜브, 기둥또는덩어리형태의구조를가진나노구조팁을구비한초소형전자칼럼에관한것으로서, 보다구체적으로는전압을인가하면끝 부분에높은전기장이형성되어전자를용이하게방출할수 있는나노구조팁을구비하고있으며, 다른전자렌즈부품, 즉전자렌즈어퍼처홀과정렬이용이하며사용이편리한초소형전자칼럼에관한것이다. 본발명의초소형전자칼럼은나노구조팁의크기가소스렌즈의구경보다큰 것을특징으로한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种具有纳米结构的具有几纳米尺寸的管，柱或晶粒结构的微电子柱。 更具体地说，本发明涉及一种微电子柱，其具有通过在施加电压时在末端形成强电场而容易地发射电子的纳米结构尖端，并且有利于不同的电子透镜，即电子透镜孔 孔和对齐。 在本发明的微电子柱中，纳米结构尖端的尺寸大于源透镜的直径。
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公开(公告)号：KR1020170040785A
公开(公告)日：2017-04-13
申请号：KR1020170042861
申请日：2017-04-03
Applicant: 선문대학교 산학협력단
IPC: H01J1/304
Abstract: 본발명은나노에서수십나노크기의튜브, 기둥또는덩어리형태의구조를가진나노구조팁을구비한초소형전자칼럼에관한것으로서, 보다구체적으로는전압을인가하면끝 부분에높은전기장이형성되어전자를용이하게방출할수 있는나노구조팁을구비하고있으며, 다른전자렌즈부품, 즉전자렌즈어퍼처홀과정렬이용이하며사용이편리한초소형전자칼럼에관한것이다. 본발명의초소형전자칼럼은나노구조팁의크기가소스렌즈의구경보다큰 것을특징으로한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种具有具有管，柱或几十纳米大小的银的块状形式，并且更具体euroneun当电压在端部施加到高电场的结构的纳米结构末端的电子柱形成促进电子 可以设置有一个纳米结构提示，放电，到不同的电子透镜成分，即，电子透镜和使用对准和易于使用的微柱的上cheohol。 银纳米尺寸结构的电子柱中，本发明的尖端的特征在于，所述源是比透镜的直径大。
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公开(公告)号：KR101818080B1
公开(公告)日：2018-01-15
申请号：KR1020170042862
申请日：2017-04-03
Applicant: 선문대학교 산학협력단
IPC: H01J1/304
Abstract: 본발명은나노에서수십나노크기의튜브, 기둥또는덩어리형태의구조를가진나노구조팁을구비한초소형전자칼럼에관한것으로서, 보다구체적으로는전압을인가하면끝 부분에높은전기장이형성되어전자를용이하게방출할수 있는나노구조팁을구비하고있으며, 다른전자렌즈부품, 즉전자렌즈어퍼처홀과정렬이용이하며사용이편리한초소형전자칼럼에관한것이다. 본발명의초소형전자칼럼은나노구조팁의크기가소스렌즈의구경보다큰 것을특징으로한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种具有具有管，柱或几十纳米大小的银的块状形式，并且更具体euroneun当电压在端部施加到高电场的结构的纳米结构末端的电子柱形成促进电子 可以设置有一个纳米结构提示，放电，到不同的电子透镜成分，即，电子透镜和使用对准和易于使用的微柱的上cheohol。 银纳米尺寸结构的电子柱中，本发明的尖端的特征在于，所述源是比透镜的直径大。
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公开(公告)号：KR101775985B1
公开(公告)日：2017-09-08
申请号：KR1020160023759
申请日：2016-02-26
Applicant: 선문대학교 산학협력단
IPC: H01J37/32 , H01J37/18 , H01J37/147
CPC classification number: H01J37/147 , H01J37/18 , H01J37/32
Abstract: 본발명은전자칼럼을진공장비에설치할때 사용하는배선커넥터에관한것으로, 보다상세하게는전자칼럼이사용되는진공챔버에서외부배선을위한피드스루(feedthrough)와전자칼럼을배선연결하며고정하기위한커넥터에관한것이다. 상기컨넥터는전자칼럼과소켓방식으로연결되는고정부, 그리고플렉서블배선, 및탄성체를기본구성요소로하여구성된다.
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公开(公告)号：KR101741599B1
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：KR1020160023760
申请日：2016-02-26
Applicant: 선문대학교 산학협력단
IPC: H01J37/147 , H01J37/141 , G03F5/24 , G03F7/26
Abstract: 본발명은전자빔을생성하는초소형전자칼럼(micro-column)장치의전자렌즈를만들기위한전극및 그제조방법에관한것이다. 본발명은다마신공정으로전자렌즈의전극을제작하여광학적특성이우수한전자렌즈를만들수 있도록하는것이다.
Abstract translation: 本发明涉及用于制造用于产生电子束的微柱装置的电子透镜的电极及其制造方法。 本发明可以通过镶嵌工艺制造电子透镜的电极来制造具有优良光学特性的电子透镜。
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