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公开(公告)号：WO2017146553A1
公开(公告)日：2017-08-31
申请号：PCT/KR2017/002165
申请日：2017-02-27
Applicant: 선문대학교 산학협력단
IPC: H01J37/32 , H01J37/18 , H01J37/147
CPC classification number: H01J37/147 , H01J37/18 , H01J37/32
Abstract: 본 발명은 전자 칼럼을 진공 장비에 설치할 때 사용하는 배선 커넥터에 관한 것으로, 보다 상세하게는 전자칼럼이 사용되는 진공 챔버에서 외부 배선을 위한 피드스루(feedthrough)와 전자칼럼을 배선 연결하며 고정하기 위한 커넥터에 관한 것이다. 상기 컨넥터는 전자칼럼과 소켓 방식으로 연결되는 고정부, 그리고 플렉서블 배선, 및 탄성체를 기본 구성요소로 하여 구성된다.
Abstract translation: 本发明涉及用于在真空设备中安装电子柱的配线连接器，更具体地涉及用于其中使用电子柱的真空室中的配线连接器，用于外部配线的馈通， 用于接线和固定色谱柱的连接器。 该连接器包括以插座方式连接到电子柱的固定部分，柔性布线和弹性体作为基本部件。
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公开(公告)号：KR101405357B1
公开(公告)日：2014-06-13
申请号：KR1020130015832
申请日：2013-02-14
Applicant: 선문대학교 산학협력단
IPC: H01J37/147 , H01J37/06
CPC classification number: H01J3/26 , H01J3/021 , H01J3/12 , H01J3/14 , H01J3/18 , H01J3/30 , H01J37/04 , H01J2237/1205
Abstract: The present invention relates to a micro electron optical column comprising an electron emitter emitting an electron using the electric field electron emission theory; an output electrode part inducing the electron emission on the emitter; and a focusing electrode part flexibly applying a voltage according to the operating distance to control the focusing force of an electronic beam generated from the electron emitter; an acceleration electrode part accelerating the electron emitted by the output electrode part; a limit electrode controlling the amount and size of an electronic beam of the electron accelerated by the acceleration electrode part; and a deflector deflecting the electronic beam on the target.
Abstract translation: 本发明涉及一种微电子光学柱，包括使用电场电子发射理论发射电子的电子发射体; 一个在发射极上引发电子发射的输出电极部分; 以及根据所述操作距离灵活地施加电压的聚焦电极部分，以控制从所述电子发射器产生的电子束的聚焦力; 加速电极部，加速由所述输出电极部发射的电子; 限制电极，控制由加速电极部加速的电子束的电子束的数量和尺寸; 以及使电子束偏转到靶上的偏转器。
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公开(公告)号：KR101357957B1
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：KR1020120018664
申请日：2012-02-23
Applicant: 선문대학교 산학협력단
IPC: H01J37/12 , H01J37/147
Abstract: 본 발명은 전자 칼럼에서 사용되는 전자 렌즈의 정전 전극층에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 전자 렌즈의 전자 집속 능력을 향상시키고 전자빔을 형성하는 유효 전자의 숫자를 증가시키기 위하여 어퍼쳐 주변에 굴곡을 형성한 정전 전극에 관한 것이다.
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公开(公告)号：KR101268020B1
公开(公告)日：2013-05-27
申请号：KR1020100029615
申请日：2010-03-31
Applicant: 선문대학교 산학협력단
IPC: G02B6/00 , G02F1/1335
Abstract: 본발명은 TFT-LCD의도광판(LGP ; Light Guide Plate)에패턴을형성하는방법에관한것으로서, 보다상세하게는도광판에형성되는패턴의크기, 모양, 분포등 패턴의최적화를쉽게하고효율을증가시킬수 있는방법을제공한다.
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公开(公告)号：KR1020120107625A
公开(公告)日：2012-10-04
申请号：KR1020110025242
申请日：2011-03-22
Applicant: 선문대학교 산학협력단
IPC: H01S1/00
CPC classification number: H01S1/005 , H01J25/76 , H01S3/0903 , H01S2302/02
Abstract: PURPOSE: A miniaturized module for generating electromagnetic waves is provided to efficiently and stably generate the electromagnetic waves from a terahertz region by regularly maintaining heating characteristics. CONSTITUTION: A miniaturized module(1) for generating electromagnetic waves includes an electron emission means(3) which emits electrons and a heat generating means(5) which emits electromagnetic waves from a terahertz region by periodically changing a route of the electrons. The electron emission means comprises an emission source(10) emitting the electrons according to voltage application and a micro lens(20) converting the electrons emitted from the emission source into a parallel beams. The emission source is made of a dispenser cathode material emitting a thermoelectron. The emission source is composed of one of porous tungsten, a barium oxide, a barium strontium oxide, a calcium oxide, and an aluminum oxide. The emission source can be composed of one of molybdenum, a carbon nanotube, diamond-like carbon, and a zinc oxide emitting cold electrons.
Abstract translation: 目的：提供一种用于产生电磁波的小型化模块，通过定期维持加热特性，有效稳定地产生来自太赫兹区域的电磁波。 构成：用于产生电磁波的小型化模块（1）包括发射电子的电子发射装置（3）和通过周期性地改变电子路线而从太赫兹区域发射电磁波的发热装置（5）。 电子发射装置包括根据电压施加发射电子的发射源（10）和将从发射源发射的电子转换为平行光束的微透镜（20）。 发射源由发射热电子的分配器阴极材料制成。 发射源由多孔钨，氧化钡，氧化锶钡，氧化钙和氧化铝中的一种构成。 发射源可以由钼，碳纳米管，类金刚石碳和发射冷电子的氧化锌中的一种构成。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100670945B1
公开(公告)日：2007-01-17
申请号：KR1020050051981
申请日：2005-06-16
Applicant: 한국전자통신연구원 , 선문대학교 산학협력단
IPC: H01L21/02
Abstract: LTCC 기판을 이용한 웨이퍼 규모의 마이크로칼럼 어레이에 대해 개시한다. 그 마이크로칼럼 어레이는 배선이 형성된 LTCC(Low Temperature Co-fired Ceramic) 기판과 상기 LTCC 기판의 적어도 일측에 접합되며, 전자빔을 편향시키는 복수개의 편향소자가 배열된 상기 웨이퍼 크기의 편향기 어레이를 포함한다. LTCC 기판을 이용한 웨이퍼 규모의 마이크로칼럼 어레이에 의하면 시간당 반도체 웨이퍼 처리량을 획기적으로 증가시킬 수 있고, 제조공정을 간단하게 하고 소요되는 경비를 크게 낮출 수 있다.
웨이퍼 규모, LTCC 기판, 편향소자, 동일한 방위각-
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公开(公告)号：KR101818079B1
公开(公告)日：2018-01-15
申请号：KR1020170042861
申请日：2017-04-03
Applicant: 선문대학교 산학협력단
IPC: H01J1/304
Abstract: 본발명은나노에서수십나노크기의튜브, 기둥또는덩어리형태의구조를가진나노구조팁을구비한초소형전자칼럼에관한것으로서, 보다구체적으로는전압을인가하면끝 부분에높은전기장이형성되어전자를용이하게방출할수 있는나노구조팁을구비하고있으며, 다른전자렌즈부품, 즉전자렌즈어퍼처홀과정렬이용이하며사용이편리한초소형전자칼럼에관한것이다. 본발명의초소형전자칼럼은나노구조팁의크기가소스렌즈의구경보다큰 것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR1020170040786A
公开(公告)日：2017-04-13
申请号：KR1020170042862
申请日：2017-04-03
Applicant: 선문대학교 산학협력단
IPC: H01J1/304
Abstract: 본발명은나노에서수십나노크기의튜브, 기둥또는덩어리형태의구조를가진나노구조팁을구비한초소형전자칼럼에관한것으로서, 보다구체적으로는전압을인가하면끝 부분에높은전기장이형성되어전자를용이하게방출할수 있는나노구조팁을구비하고있으며, 다른전자렌즈부품, 즉전자렌즈어퍼처홀과정렬이용이하며사용이편리한초소형전자칼럼에관한것이다. 본발명의초소형전자칼럼은나노구조팁의크기가소스렌즈의구경보다큰 것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR1020160102588A
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：KR1020150024732
申请日：2015-02-20
Applicant: 선문대학교 산학협력단
IPC: H01J1/304
CPC classification number: H01J37/065 , H01J37/073 , H01J2237/04924 , H01J2237/063 , H01J2237/06341 , H01J2237/0635 , H01J2237/083 , H01J2237/1205 , H01J1/304
Abstract: 본발명은나노에서수십나노크기의튜브, 기둥또는덩어리형태의구조를가진나노구조팁을구비한초소형전자칼럼에관한것으로서, 보다구체적으로는전압을인가하면끝 부분에높은전기장이형성되어전자를용이하게방출할수 있는나노구조팁을구비하고있으며, 다른전자렌즈부품, 즉전자렌즈어퍼처홀과정렬이용이하며사용이편리한초소형전자칼럼에관한것이다. 본발명의초소형전자칼럼은나노구조팁의크기가소스렌즈의구경보다큰 것을특징으로한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种具有纳米结构的具有几纳米尺寸的管，柱或晶粒结构的微电子柱。 更具体地说，本发明涉及一种微电子柱，其具有通过在施加电压时在末端形成强电场而容易地发射电子的纳米结构尖端，并且便于不同的电子透镜，即电子透镜孔 孔和对齐。 在本发明的微电子柱中，纳米结构尖端的尺寸大于源透镜的直径。 因此，可以提高电子束的密度。
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