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公开(公告)号：KR1020170122338A
公开(公告)日：2017-11-06
申请号：KR1020160050908
申请日：2016-04-26
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본발명은탄화수소계화합물이증착된기재의적외선스펙트럼을측정하고이중특정한 2개피크의상대존재비를산출하여세포부착배양가능성을확인하는세포부착배양용기재의품질분석(Quality analysis; QA) 방법및 이를위한장치에관한것이다.
Abstract translation: 本发明是沉积的基板的化合物测得的基于烃的红外光谱，以及双特异性两种细胞粘附通过检查细胞粘附培养可能性培养板材料的质量分析以计算峰的相对丰度（质量数据; QA）的方法，并且这 本发明涉及用于设备。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101989468B1
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：KR1020170079013
申请日：2017-06-22
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: C12N5/00 , C09D139/04 , C23C16/44
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公开(公告)号：KR101771601B1
公开(公告)日：2017-08-28
申请号：KR1020150023297
申请日：2015-02-16
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L51/44 , H01L21/02 , C07C211/10 , H01L31/0256
CPC classification number: Y02E10/549
Abstract: 본발명은무기박막, 및디아민화합물을전구체물질로사용하여제조되는플라즈마중합체박막을포함하는산소또는수분차단용다층박막, 상기산소또는수분차단용다층박막을구비한유기전자소자, 및상기산소또는수분차단용다층박막이코팅된포장재에관한것이다.
Abstract translation: 本发明是一种无机薄膜，以及具有对氧或水阻挡氧或水分屏障特性的多层薄膜，多层薄膜用于包含等离子体聚合物膜使用作为前体材料制成的二胺化合物的有机电子器件，和氧或 涂覆有防潮层的多层薄膜的包装材料。
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公开(公告)号：KR1020170056093A
公开(公告)日：2017-05-23
申请号：KR1020150159154
申请日：2015-11-12
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L21/02 , C01B31/30 , C07F5/06 , H01L21/205 , H01L21/31
CPC classification number: C07F5/06 , H01L21/02 , H01L21/205 , H01L21/31
Abstract: 본발명은탄소; 산소; 및알루미늄, 티타늄, 하프늄, 탄탈륨, 지르코늄및 텅스텐으로구성된군으로부터선택되는금속;을포함하는박막으로서, 총중량을기준으로 5 내지 85중량%의탄소, 5 내지 60중량%의산소; 및 5 내지 40중량%의금속을포함하는금속탄화산화물박막에관한것이다. 본발명의금속탄화산화물박막은반응전구체의단일주입공정을통해증착되어형성되므로박막두께를축소화할수 있어공정의단순화및 제조원가의절감이가능해지며이를통해생산성향상에기여할수 있다. 또한, 본발명의금속탄화산화물박막을제조하는방법은증착조건을변화시켜박막중의각 성분의함량비를조절할수 있고이에따라제조되는박막의강도, 내식각성, 전도도등의물성을조절할수 있으므로, 사용하고자하는용도에맞는성질을갖는박막을제조하기에유리하다.
Abstract translation: 本发明涉及一种碳 - 氧气; 含薄膜的基础上，5〜85重量％的碳，5％至60％的总重量按重量计的氧;以及铝，钛，铪，钽，锆和所述金属选自钨的组中选择; 和5至40重量％的金属。 金属碳化物，本发明的氧化物薄膜被形成沉积在反应的前体的单次注射步骤可在大小做到这一点的膜厚减少成为可能的简化和减少的过程的制造成本可有助于通过它来提高生产率。 另外，通过改变淀积条件，因为它可以调整强度的物理性质，如耐蚀刻制造金属碳化物，本发明的氧化物薄膜的制造方法，该薄膜待生产可以调整在薄膜的每个组件和yiettara的含量比，使用的导电性 制备具有适合于预期用途的性质的薄膜是有利的。
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公开(公告)号：KR101818610B1
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：KR1020150159154
申请日：2015-11-12
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L21/02 , C01B31/30 , C07F5/06 , H01L21/205 , H01L21/31
CPC classification number: C07F5/06 , H01L21/02 , H01L21/205 , H01L21/31
Abstract: 본발명은탄소; 산소; 및알루미늄, 티타늄, 하프늄, 탄탈륨, 지르코늄및 텅스텐으로구성된군으로부터선택되는금속;을포함하는박막으로서, 총중량을기준으로 5 내지 85중량%의탄소, 5 내지 60중량%의산소; 및 5 내지 40중량%의금속을포함하는금속탄화산화물박막에관한것이다. 본발명의금속탄화산화물박막은반응전구체의단일주입공정을통해증착되어형성되므로박막두께를축소화할수 있어공정의단순화및 제조원가의절감이가능해지며이를통해생산성향상에기여할수 있다. 또한, 본발명의금속탄화산화물박막을제조하는방법은증착조건을변화시켜박막중의각 성분의함량비를조절할수 있고이에따라제조되는박막의강도, 내식각성, 전도도등의물성을조절할수 있으므로, 사용하고자하는용도에맞는성질을갖는박막을제조하기에유리하다.
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公开(公告)号：KR1020160101285A
公开(公告)日：2016-08-25
申请号：KR1020150023297
申请日：2015-02-16
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L51/44 , H01L21/02 , C07C211/10 , H01L31/0256
CPC classification number: Y02E10/549 , H01L51/448 , C07C211/10 , H01L21/02274 , H01L2031/0344
Abstract: 본발명은무기박막, 및디아민화합물을전구체물질로사용하여제조되는플라즈마중합체박막을포함하는산소또는수분차단용다층박막, 상기산소또는수분차단용다층박막을구비한유기전자소자, 및상기산소또는수분차단용다층박막이코팅된포장재에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于阻断氧和/或水分的多层薄膜，其包括通过使用二胺化合物前体材料制成的有机薄膜和等离子体聚合物薄膜，包括多层薄膜的有机电子器件 用于阻挡氧气和/或水分的膜，以及涂覆有多层薄膜以用于阻断氧气和/或水分的包装材料。
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