公开(公告)号：KR102138102B1

公开(公告)日：2020-07-27

申请号：KR1020180105839

申请日：2018-09-05

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 정동근 ,  반원진 ,  권성률 ,  박윤수 ,  임현아 ,  김영현

IPC: C23C16/50 ,  C23C16/56 ,  C23C16/448 ,  H01L21/02

公开(公告)号：KR101989468B1

公开(公告)日：2019-06-14

申请号：KR1020170079013

申请日：2017-06-22

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 정동근 ,  권성률 ,  반원진 ,  임현아 ,  박윤수

IPC: C12N5/00 ,  C09D139/04 ,  C23C16/44