유전체에 균일하게 플라즈마를 발생시키는 방법
    4.
    发明公开
    유전체에 균일하게 플라즈마를 발생시키는 방법 无效
    一种在等离子体材料上产生等离子体的方法

    公开(公告)号:KR1020160029985A

    公开(公告)日:2016-03-16

    申请号:KR1020140119310

    申请日:2014-09-05

    Abstract: 본발명은유전체의방전개시전압확인방법, 전극이연결된유전체에상기도출한외부전기장에의한방전개시전압이상의전압을인가하는단계를포함하는유전체에변위장을형성하는방법, 반응기체를주입하는단계및 전극이연결된유전체에상기도출한방전개시전압이상의전압을인가하는단계를포함하는유전체표면에플라즈마형성방법, 전극이연결된유전체에상기도출한방전개시전압이상의전압을인가하는단계를포함하는유전체의표면전체에변위장을형성시키는방법및 상기방법에의해표면이플라즈마처리되어개질된유전체에관한것이다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于验证电介质的放电起始电压的方法,一种用于向电介质形成位移场的方法,包括将大于或等于放电起始电压的电压施加到与电极连接的电介质的步骤 拉制的外部电场,在电介质的表面形成等离子体的方法,包括以下步骤:注入反应气体; 以及将大于或等于放电起始电压的拉电压施加到与电极连接的电介质上,形成位于电介质整个表面的位移场的方法包括以下步骤:施加大于或等于 将放电起始电压放电到连​​接到电极的电介质,以及通过该方法通过用等离子体处理表面而重整的电介质。

    산소 및/또는 수분 차단용 다층 박막
    6.
    发明授权
    산소 및/또는 수분 차단용 다층 박막 有权
    氧气和/或防潮层

    公开(公告)号:KR101771601B1

    公开(公告)日:2017-08-28

    申请号:KR1020150023297

    申请日:2015-02-16

    CPC classification number: Y02E10/549

    Abstract: 본발명은무기박막, 및디아민화합물을전구체물질로사용하여제조되는플라즈마중합체박막을포함하는산소또는수분차단용다층박막, 상기산소또는수분차단용다층박막을구비한유기전자소자, 및상기산소또는수분차단용다층박막이코팅된포장재에관한것이다.

    Abstract translation: 本发明是一种无机薄膜,以及具有对氧或水阻挡氧或水分屏障特性的多层薄膜,多层薄膜用于包含等离子体聚合物膜使用作为前体材料制成的二胺化合物的有机电子器件,和氧或 涂覆有防潮层的多层薄膜的包装材料。

    탄소, 산소, 및 금속을 포함하는 금속탄화산화물 박막 및 그의 제조방법
    7.
    发明公开
    탄소, 산소, 및 금속을 포함하는 금속탄화산화물 박막 및 그의 제조방법 审中-实审
    含有碳,氧和金属的金属碳氧化物薄膜及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020170056093A

    公开(公告)日:2017-05-23

    申请号:KR1020150159154

    申请日:2015-11-12

    CPC classification number: C07F5/06 H01L21/02 H01L21/205 H01L21/31

    Abstract: 본발명은탄소; 산소; 및알루미늄, 티타늄, 하프늄, 탄탈륨, 지르코늄및 텅스텐으로구성된군으로부터선택되는금속;을포함하는박막으로서, 총중량을기준으로 5 내지 85중량%의탄소, 5 내지 60중량%의산소; 및 5 내지 40중량%의금속을포함하는금속탄화산화물박막에관한것이다. 본발명의금속탄화산화물박막은반응전구체의단일주입공정을통해증착되어형성되므로박막두께를축소화할수 있어공정의단순화및 제조원가의절감이가능해지며이를통해생산성향상에기여할수 있다. 또한, 본발명의금속탄화산화물박막을제조하는방법은증착조건을변화시켜박막중의각 성분의함량비를조절할수 있고이에따라제조되는박막의강도, 내식각성, 전도도등의물성을조절할수 있으므로, 사용하고자하는용도에맞는성질을갖는박막을제조하기에유리하다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种碳 - 氧气; 含薄膜的基础上,5〜85重量%的碳,5%至60%的总重量按重量计的氧;以及铝,钛,铪,钽,锆和所述金属选自钨的组中选择; 和5至40重量%的金属。 金属碳化物,本发明的氧化物薄膜被形成沉积在反应的前体的单次注射步骤可在大小做到这一点的膜厚减少成为可能的简化和减少的过程的制造成本可有助于通过它来提高生产率。 另外,通过改变淀积条件,因为它可以调整强度的物理性质,如耐蚀刻制造金属碳化物,本发明的氧化物薄膜的制造方法,该薄膜待生产可以调整在薄膜的每个组件和yiettara的含量比,使用的导电性 制备具有适合于预期用途的性质的薄膜是有利的。

    탄소, 산소, 및 금속을 포함하는 금속탄화산화물 박막 및 그의 제조방법

    公开(公告)号:KR101818610B1

    公开(公告)日:2018-01-16

    申请号:KR1020150159154

    申请日:2015-11-12

    CPC classification number: C07F5/06 H01L21/02 H01L21/205 H01L21/31

    Abstract: 본발명은탄소; 산소; 및알루미늄, 티타늄, 하프늄, 탄탈륨, 지르코늄및 텅스텐으로구성된군으로부터선택되는금속;을포함하는박막으로서, 총중량을기준으로 5 내지 85중량%의탄소, 5 내지 60중량%의산소; 및 5 내지 40중량%의금속을포함하는금속탄화산화물박막에관한것이다. 본발명의금속탄화산화물박막은반응전구체의단일주입공정을통해증착되어형성되므로박막두께를축소화할수 있어공정의단순화및 제조원가의절감이가능해지며이를통해생산성향상에기여할수 있다. 또한, 본발명의금속탄화산화물박막을제조하는방법은증착조건을변화시켜박막중의각 성분의함량비를조절할수 있고이에따라제조되는박막의강도, 내식각성, 전도도등의물성을조절할수 있으므로, 사용하고자하는용도에맞는성질을갖는박막을제조하기에유리하다.

    산소 및/또는 수분 차단용 다층 박막
    9.
    发明公开
    산소 및/또는 수분 차단용 다층 박막 有权
    用于阻塞氧气和/或水分的多层薄膜

    公开(公告)号:KR1020160101285A

    公开(公告)日:2016-08-25

    申请号:KR1020150023297

    申请日:2015-02-16

    Abstract: 본발명은무기박막, 및디아민화합물을전구체물질로사용하여제조되는플라즈마중합체박막을포함하는산소또는수분차단용다층박막, 상기산소또는수분차단용다층박막을구비한유기전자소자, 및상기산소또는수분차단용다층박막이코팅된포장재에관한것이다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于阻断氧和/或水分的多层薄膜,其包括通过使用二胺化合物前体材料制成的有机薄膜和等离子体聚合物薄膜,包括多层薄膜的有机电子器件 用于阻挡氧气和/或水分的膜,以及涂覆有多层薄膜以用于阻断氧气和/或水分的包装材料。

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