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公开(公告)号：KR101700273B1
公开(公告)日：2017-01-26
申请号：KR1020150113404
申请日：2015-08-11
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L21/205 , H01L21/683 , H01L21/324
Abstract: 본발명에서는화학기상증착장치를제안한다. 본발명의일 실시예에따른화학기상증착장치는공정이진행되는챔버; 상기챔버에내부에위치하고, 상부면에기판이배치되는스테이지부; 상기챔버의내부에위치하여, 상기챔버내부의온도를제어하기위한히터블럭; 상기챔버내부의압력을조절하기위한압력조절라인; 상기스테이지부방향으로가스를공급하는가스분배부; 상기가스분배부에가스를공급하는적어도하나이상의가스공급라인; 및상기가스분배부의온도를제어하기위한가스분배부히터를포함하되, 상기가스분배부는상기스테이지부로부터멀어지는방향으로소정의간격을가지고나란하게배치되는복수의가스분배판을포함하되, 상기가스분배판에는상기스테이지부의폭방향으로서로일정거리이격되고, 서로직경이상이한복수의가스홀이천공된다
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