公开(公告)号：KR100727371B1

公开(公告)日：2007-06-12

申请号：KR1020060062362

申请日：2006-07-04

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 임준형 ,  박의철 ,  주진호 ,  정승부 ,  김봉수

IPC: G03F1/00 ,  G03F1/50

Abstract: Provided are a method for manufacturing a metal mask and a metal mask produced thereby using multi-layered photoresist film, which has excellent accuracy and minute pitch when compared to a metal mask produced by conventional process. The method for manufacturing a metal mask comprises the steps of: applying a multi-layered photoresist film onto a conductive substrate(S200,S210); exposing and developing the multi-layered photoresist film sequently via a photolithography process to perform a patterning(S220,S230); forming a metal layer via electroforming(S240); and separating the metal layer from the conductive substrate. The method further comprises the step of removing contaminants from a surface of the conductive substrate prior to the step of applying a multi-layered photoresist film onto a conductive substrate.

Abstract translation: 本发明提供一种使用多层光致抗蚀剂膜制造金属掩模和由其制造的金属掩模的方法，与通过传统方法制造的金属掩模相比，该多层光致抗蚀剂膜具有优异的精度和微小间距。 用于制造金属掩模的方法包括以下步骤：将多层光刻胶膜施加到导电基板上（S200，S210）; 接着经由光刻工艺接着曝光并显影多层光致抗蚀剂膜以执行图案化（S220，S230）; 通过电铸形成金属层（S240）; 以及从导电衬底分离金属层。 该方法还包括在将多层光致抗蚀剂膜施加到导电基底上的步骤之前从导电基底的表面去除污染物的步骤。

公开(公告)号：KR101535000B1

公开(公告)日：2015-07-08

申请号：KR1020140001888

申请日：2014-01-07

Applicant: 성균관대학교산학협력단 ,  한국과학기술연구원

Inventor： 이준신 ,  박진주 ,  신종훈 ,  정준희 ,  봉성재 ,  한승희 ,  김봉수 ,  김태희 ,  김진영 ,  손해정 ,  이도권

IPC: H01L31/04 ,  H01L51/42

CPC classification number: Y02E10/549 ,  H01L31/076 ,  H01L31/075 ,  H01L31/1824 ,  H01L51/4213 ,  H01L2031/0344

Abstract: 유무기하이브리드적층형태양전지가개시된다. 유무기하이브리드적층형태양전지는제1 무기태양전지유닛, 제2 무기태양전지유닛, 중간전극층및 유기태양전지유닛을구비한다. 제1 무기태양전지유닛의제1 p-형반도체층은 p-형불순물이도핑된비정질수소화실리콘으로이루어진제1 박막및 p-형불순물이도핑된비정질수소화실리콘산화물로이루어진제2 박막을구비한다. 이러한유무기하이브리드적층형태양전지는개방전압(Voc)을향상시킬수 있다.

Abstract translation: 公开了一种有机和无机混合串联太阳能电池。 有机和无机混合串联太阳能电池包括第一无机太阳能电池单元，第二无机太阳能电池单元，中间电极层和有机太阳能电池单元。 第一无机太阳能电池单元的第一p型半导体层包括由掺杂有p型杂质的非晶氢化硅制成的第一薄膜和由掺杂有p型杂质的非晶氢化氧化物制成的第二薄膜， 型杂质。 有机和无机混合串联太阳能电池提高开路电压（Voc）。