Patent search ap:("성균관대학교산학협력단") AND inv:"김수강" Page 1

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发明授权
플라즈마 발생장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 有权

公开(公告)号：KR101914902B1

公开(公告)日：2019-01-14

申请号：KR1020180018622

申请日：2018-02-14

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 염근영 , 양경채 , 김수강 , 이호석 , 신예지 , 성다인

IPC: H01J37/32

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