公开(公告)号：WO2022177102A2

公开(公告)日：2022-08-25

申请号：PCT/KR2021/016766

申请日：2021-11-16

Applicant: 대전대학교 산학협력단 ,  성균관대학교산학협력단

Inventor： 김경남 ,  염근영 ,  김동우 ,  성다인 ,  탁현우 ,  오지영

IPC: H01L21/67 ,  H01J2237/334 ,  H01J37/32 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32522 ,  H01J37/32724 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/67069 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/683 ,  H01L21/6831

Abstract: 본 발명의 실시예에 의하면, 극저온(Cryogenic) 식각에 비하여 상대적으로 높은 온도에서도 극저온 식각과 거의 동일한 효과를 달성할 수 있는 액상 플루오로카본 또는 액상 하이드로플루오로카본 전구체를 이용하는 식각 처리 장치 및 식각 처리 방법이 제공될 수 있다. 또한, 액상 전구체와 저온에 의하여 발생할 수 있는 공정 문제를 해결할 수 있는 식각 처리 장치 및 식각 처리 방법이 제공될 수 있다.

公开(公告)号：KR1020160130017A

公开(公告)日：2016-11-10

申请号：KR1020150061732

申请日：2015-04-30

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 염근영 ,  김경남 ,  문무겸 ,  박진우 ,  성다인 ,  오종식 ,  오지수

IPC: H01B13/00 ,  H01B5/14 ,  H01B1/06 ,  H01B1/08 ,  H01B1/12 ,  H01B1/02

Abstract: 본발명은투명전극의제조방법및 이에의해제조된투명전극에관한것으로, 상기투명전극의제조방법은기재를준비하는기재준비단계; (1) 상기기재를표면처리하거나, (2) 상기기재에유기용매를코팅하여유기용매레이어를형성시키는기재처리단계; 상기기재상에금속나노와이어또는금속나노메쉬를코팅하는금속코팅단계; 상기금속나노와이어또는금속나노메쉬상에고분자, 산화물및 질화물중 적어도하나를포함한물질을코팅하여제1전극층을형성하는제1전극층형성단계; 및상기기재를제거하는기재제거단계를포함하는것을특징으로한다. 본발명에의하면, 표면거칠기가개선된투명전극을제공하여디스플레이소자또는플렉서블소자에유용하게적용할수 있다.

公开(公告)号：KR101914902B1

公开(公告)日：2019-01-14

申请号：KR1020180018622

申请日：2018-02-14

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 염근영 ,  양경채 ,  김수강 ,  이호석 ,  신예지 ,  성다인

IPC: H01J37/32

公开(公告)号：KR102165039B1

公开(公告)日：2020-10-14

申请号：KR1020190137982

申请日：2019-10-31

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 염근영 ,  김동우 ,  성다인 ,  탁현우 ,  신예지

IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/311 ,  H01L21/02 ,  H01L21/324 ,  H01J37/32 ,  C23C16/448 ,  H01L21/67

公开(公告)号：KR1020170124967A

公开(公告)日：2017-11-13

申请号：KR1020170054935

申请日：2017-04-28

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 염근영 ,  문무겸 ,  박진우 ,  김두산 ,  박성우 ,  김기현 ,  성다인 ,  염원균

IPC: B23K10/02 ,  B23K9/32 ,  B23K31/02 ,  B32B9/04 ,  B23K103/18

CPC classification number: B23K9/32 ,  B23K10/02 ,  B23K31/02 ,  B32B9/04

Abstract: 본발명은플라즈마프레스장치및 이를접합방법에관한것으로, 플라즈마를 발생한상태에서접합되는두 기재를가압하면서접합하여종래보다현저하게향상된접합력을제공하며, 별도의가열공정없이도접합이가능하여접합하는기재에열손상을방지할수 있는것을특징으로한다.

Abstract translation: 本发明是一种等离子体加压装置，并且它涉及接合，通过焊接，同时按下两个基板中引起的等离子体提供了比用于结合的常规基材显著提高接合强度，能够通过，而不需要加入单独的加热工序中的状态下被接合的方法 从而防止热损伤。

公开(公告)号：KR101939481B1

公开(公告)日：2019-01-16

申请号：KR1020170095219

申请日：2017-07-27

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 염근영 ,  박진우 ,  김두산 ,  오종식 ,  성다인 ,  지유진 ,  이원오 ,  문무겸 ,  양경채 ,  김기석 ,  오지수 ,  김기현

IPC: H01J37/305 ,  H01J37/30 ,  H01J37/32

公开(公告)号：KR101915693B1

公开(公告)日：2018-11-07

申请号：KR1020170054935

申请日：2017-04-28

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 염근영 ,  문무겸 ,  박진우 ,  김두산 ,  박성우 ,  김기현 ,  성다인 ,  염원균

IPC: B23K10/02 ,  B23K9/32 ,  B23K31/02 ,  B32B9/04 ,  B23K103/18

CPC classification number: B23K9/32 ,  B23K10/02 ,  B23K31/02 ,  B32B9/04

Abstract: 본발명은플라즈마프레스장치및 이를접합방법에관한것으로, 플라즈마를 발생한상태에서접합되는두 기재를가압하면서접합하여종래보다현저하게향상된접합력을제공하며, 별도의가열공정없이도접합이가능하여접합하는기재에열손상을방지할수 있는것을특징으로한다.