公开(公告)号：KR102165039B1

公开(公告)日：2020-10-14

申请号：KR1020190137982

申请日：2019-10-31

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 염근영 ,  김동우 ,  성다인 ,  탁현우 ,  신예지

IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/311 ,  H01L21/02 ,  H01L21/324 ,  H01J37/32 ,  C23C16/448 ,  H01L21/67

公开(公告)号：KR101914902B1

公开(公告)日：2019-01-14

申请号：KR1020180018622

申请日：2018-02-14

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 염근영 ,  양경채 ,  김수강 ,  이호석 ,  신예지 ,  성다인

IPC: H01J37/32