公开(公告)号：KR101963506B1

公开(公告)日：2019-03-28

申请号：KR1020170094933

申请日：2017-07-26

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이성주 ,  가정원 ,  쉬자오 ,  전수민

IPC: H01L29/16 ,  H01L29/78 ,  H01L21/38 ,  H01L29/861 ,  H01L21/027 ,  C08L33/12 ,  C08K5/43

公开(公告)号：KR101966531B1

公开(公告)日：2019-04-05

申请号：KR1020170085659

申请日：2017-07-05

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이성주 ,  장성규 ,  쉬자오 ,  손현제

IPC: H01L29/739 ,  H01L29/73 ,  H01L29/78