公开(公告)号：KR1020130039807A

公开(公告)日：2013-04-23

申请号：KR1020110104387

申请日：2011-10-13

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 조형균 ,  김준현 ,  서동규 ,  윤명구

IPC: B01J19/08 ,  C01G1/02 ,  C01G19/00 ,  C01G15/00

CPC classification number: B01J19/08 ,  B01J2219/0894 ,  C01F7/021 ,  C01G9/02 ,  C01G15/00 ,  C01G19/02

Abstract: PURPOSE: A pre-made superlattice thermoelectric oxide plasma surface treatment method is provided to improve relatively insufficient electric conductivity without changing low thermal conductivity due to superlattice structure. CONSTITUTION: A thermoelectric oxide plasma surface treatment method comprises the following steps. Thermoelectric oxide with a pre-made superlattice structure is transferred to a reaction chamber. Plasma is formed by applying RF power to a reaction chamber. Plasma treatment is performed only on the surface of the superlattice thermoelectric oxide transferred from the inside of the reaction chamber.

Abstract translation: 目的：提供一种预制的超晶格热电氧化物等离子体表面处理方法，以改善相对不足的导电性，而不会由于超晶格结构而改变低热导率。 构成：热电氧化物等离子体表面处理方法包括以下步骤。 具有预制超晶格结构的热电氧化物被转移到反应室。 通过将RF功率施加到反应室来形成等离子体。 仅在从反应室内转移的超晶格热电氧化物的表面进行等离子体处理。

公开(公告)号：KR101352183B1

公开(公告)日：2014-01-22

申请号：KR1020110104387

申请日：2011-10-13

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 조형균 ,  김준현 ,  서동규 ,  윤명구

IPC: B01J19/08 ,  C01G1/02 ,  C01G19/00 ,  C01G15/00

Abstract: 본 발명에 따른 기 제조된 초격자 산화물 열전재료의 플라즈마 표면처리방법은, 기 제조된 초격자구조를 갖는 산화물 열전재료를 반응챔버로 이송시키는 S10 단계; 반응챔버 내부에 RF POWER를 가하여 플라즈마가 형성되는 S20 단계; 및 반응챔버 내부에서 이송된 초격자 산화물 열전재료의 표면에만 플라즈마 처리가 수행되는 S30 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 플라즈마 표면처리방법은 기 제조된 초격자구조를 가진 산화물 열전재료를 사용하므로, 초격자구조를 형성하는 특정 방법에 국한되지 않고, 기 제조된 초격자구조 박막의 표면에만 플라즈마 처리를 하므로, 초격자구조를 손상시키지 않으며, 따라서 초격자구조에 의한 낮은 열전도도를 변화시키지 않으면서, 표면의 전기전도도 특성을 향상시키는 효과가 있다.