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公开(公告)号：KR101686802B1
公开(公告)日：2016-12-15
申请号：KR1020150033212
申请日：2015-03-10
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: C23C14/34
Abstract: 본발명은대향타겟식스퍼터링장치에관한것이다. 보다상세하게, 본발명의일 측면에따른대향타겟식스퍼터링장치는, 소정의공간을에워싸는타겟면과타겟면의후면에배치된자기장발생유닛을포함하는제 1 스퍼터링부, 제 1 스퍼터링부의하부에배치되고, 소정의공간을에워싸는타겟면과타겟면의후면에배치된자기장발생유닛을포함하는제 2 스퍼터링부, 및제 1 스터퍼링부의상부에형성된개구부를덮도록배치된덮개부를포함하되, 제 1 스퍼터링부의타겟면과제 2 스퍼터링부의타겟면의소스물질이상이한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及靶向型溅射装置。 更具体地说，根据本发明的一个方面，目标面对型溅射装置包括：具有围绕预定空间的目标表面的第一溅射单元和布置在目标表面的后表面上的磁场产生单元; 布置在第一溅射单元的底部上的第二溅射单元，其具有围绕预定空间的目标表面;以及磁场产生单元，布置在目标表面的后表面上; 以及覆盖单元，被布置成覆盖形成在第一溅射单元的上部上的开口，其中第一溅射单元的目标表面的源材料和第二溅射单元的目标表面不同。
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公开(公告)号：KR1020160109204A
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：KR1020150033212
申请日：2015-03-10
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: C23C14/34
CPC classification number: C23C14/3471
Abstract: 본발명은대향타겟식스퍼터링장치에관한것이다. 보다상세하게, 본발명의일 측면에따른대향타겟식스퍼터링장치는, 소정의공간을에워싸는타겟면과타겟면의후면에배치된자기장발생유닛을포함하는제 1 스퍼터링부, 제 1 스퍼터링부의하부에배치되고, 소정의공간을에워싸는타겟면과타겟면의후면에배치된자기장발생유닛을포함하는제 2 스퍼터링부, 및제 1 스터퍼링부의상부에형성된개구부를덮도록배치된덮개부를포함하되, 제 1 스퍼터링부의타겟면과제 2 스퍼터링부의타겟면의소스물질이상이한것이다.
Abstract translation: 反靶溅射设备技术领域本发明涉及一种反靶溅射设备。 更特别地，根据本发明的一个方面，对置靶型溅射设备，所述第一溅射单元，第一溅射的下部部分，包括包围所述预定区域设置在所述目标表面的后部和所述目标表面的磁场产生单元 布置，并包括：包围规定的空间在靶表面和所述第2部分溅射包括设置在所述靶的表面的后部的磁场产生单元，mitje 1上的盖的请求者水垢设置成覆盖形成于部件中的开口，所述第一 溅射部分的靶表面问题2以上是溅射部分靶表面的源材料。
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公开(公告)号：KR101639378B1
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：KR1020150087296
申请日：2015-06-19
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: C23C16/50 , C23C16/513 , C23C16/40 , C23C16/448 , C23C16/22
Abstract: 박테리아방지용소수성박막및 상기박테리아방지용소수성박막의제조방법에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种防止细菌的疏水性薄膜，以及疏水性薄膜的防止细菌的制造方法。 根据本发明的一个方面，提供一种疏水性薄膜的制造方法，其通过使用硅前体或氟化碳系气体前体的等离子体化学气相沉积法在基板上形成疏水性薄膜来防止细菌的形成 。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020160002615A
公开(公告)日：2016-01-08
申请号：KR1020150178482
申请日：2015-12-14
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본원은내마모성, 소수성및 소유성을갖는코팅막의제조방법, 및이에따라제조되는내마모성, 소수성및 소유성을갖는코팅막을제공한다.
Abstract translation: 本发明提供一种制造耐磨，疏水和疏油涂膜的方法，以及由此制造的耐磨，疏水和疏油涂膜。 制造耐磨，疏水和疏油涂膜的方法包括：在基材上形成SiO_x薄膜的步骤; 形成主疏水性薄膜的步骤; 并在初级薄膜上形成次级疏油薄膜。
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公开(公告)号：KR101556677B1
公开(公告)日：2015-10-01
申请号：KR1020140022202
申请日：2014-02-25
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: C23C16/44 , C23C16/448
CPC classification number: C23C16/401 , C23C16/509
Abstract: 본원은, 초소수성박막및 상기초소수성박막의제조방법을제공한다.
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公开(公告)号：KR101650367B1
公开(公告)日：2016-08-23
申请号：KR1020150087297
申请日：2015-06-19
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: C23C16/50 , C23C16/06 , C23C14/34 , C23C16/448 , C23C16/30
Abstract: 기재상에생체적합성물질, 금속전구체, 및반응가스를이용하여플라즈마화학기상증착법에의해금속도핑된박막을형성하는것을포함하는, 안티박테리아성박막의제조방법에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种制备抗菌薄膜的方法。 制备抗菌薄膜的方法包括：通过使用生物相容性材料，金属前体和反应气体的等离子体化学气相沉积法在基材上形成掺杂有金属的薄膜。
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公开(公告)号：KR1020150100415A
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：KR1020140022202
申请日：2014-02-25
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: C23C16/44 , C23C16/448
CPC classification number: C23C16/401 , C23C16/509
Abstract: 본원은, 초소수성 박막 및 상기 초소수성 박막의 제조 방법을 제공한다.
Abstract translation: 本发明提供一种超疏水性薄膜及其制备方法，其包括通过使用前体和氢气通过等离子体增强化学气相沉积（PECVD）在基材上形成超疏水性薄膜的步骤。
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公开(公告)号：KR1020150100414A
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：KR1020140022201
申请日：2014-02-25
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: C23C16/44 , C23C16/448
CPC classification number: C23C16/401 , C23C16/505
Abstract: 본원은 내마모성, 소수성 및 소유성을 갖는 코팅막의 제조 방법, 및 이에 따라 제조되는 내마모성, 소수성 및 소유성을 갖는 코팅막을 제공한다.
Abstract translation: 本发明提供了一种耐磨性，疏水性和疏油性涂膜及其制备方法。 耐磨，疏水和疏油涂膜的制备方法包括：通过使用有机硅烷前体和氧的PECVD在基材上形成SiO_X薄膜的步骤; 使用有机硅烷前体通过PECVD在SiO_X膜上形成第一疏水性薄膜的步骤; 以及通过使用碳氟化合物类气体前体的PECVD在第一疏水性薄膜上形成第二疏油性薄膜的工序。
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