公开(公告)号：KR1020170021648A

公开(公告)日：2017-02-28

申请号：KR1020150116277

申请日：2015-08-18

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이준신 ,  박철민 ,  전민한 ,  오동현 ,  나가라잔발라지

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/04

CPC classification number: Y02E10/50

Abstract: 졸-겔법및 어닐링공정을이용한패시베이션층형성방법이개시된다. 졸-겔법및 어닐링공정을이용한패시베이션층형성방법은웨이퍼상에졸-겔법을이용하여알루미나(AlO)로이루어진패시베이션층을형성하는단계; 및상기패시베이션층을어닐링하는단계를포함한다.

Abstract translation: 公开了使用溶胶 - 凝胶法和退火工艺的钝化层形成方法。 使用溶胶 - 凝胶法和退火工艺的钝化层形成方法包括：使用溶胶 - 凝胶法在晶片上形成由氧化铝（AlO）制成的钝化层; 并对钝化层进行退火。