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公开(公告)号：KR101345781B1
公开(公告)日：2013-12-27
申请号：KR1020120035140
申请日：2012-04-04
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본발명은입자측정장치및 방법에관한것으로, 입자측정장치는분리가능한 3개의챔버를이용하여기체의입자를측정하는입자측정부, 상기입자측정부를고정시키는테이블, 상기입자측정부와상기테이블을지지하며높낮이조절이가능한지지부재를포함하되, 상기입자측정부는상기지지부재에탈착이가능하며, 상기입자측정부는공정환경의압력이설정된기준압력이상인지여부, 유입되는입자가대전된입자인지여부에따라상기 3개의챔버를선택적으로결합또는분리하여상기입자를측정할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020090125681A
公开(公告)日：2009-12-07
申请号：KR1020080111206
申请日：2008-11-10
Applicant: 삼성전기주식회사 , 성균관대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: An aerosol spray and a method of forming a film using the same are provided to simplify processes and to adjust the thickness of a film in various ranges by performing a coating process regardless of kinds and size of powder. CONSTITUTION: An aerosol spray comprises the followings: a carrier gas inlet part(10) forming carrier gas by vaporizing liquefied gas(11) and increasing the pressure of the carrier gas; an aerosol forming part(20) forming aerosol by mixing the carrier gas and powder; and film forming part(50) spraying aerosol on the upper pressure and having a chamber, an injection part, and a position control part(52) adjusting a location of a substrate(53). A heating part(31) is formed between the aerosol forming part and the film forming part. The aerosol forming part includes a power supplying unit, a gas control valve(23,24), and a powder control valve(26,27) controlling the powder.
Abstract translation: 目的：提供气溶胶喷雾和使用其的形成膜的方法，以简化工艺并通过不管粉末的种类和尺寸进行涂布工艺来调整各种范围内的膜的厚度。 构成：气溶胶喷雾包括：通过汽化液化气体（11）形成载气并增加载气压力的载气入口部分（10）; 烟雾形成部件（20），其通过将载气和粉末混合而形成气溶胶; 以及成膜部件（50）在上压喷雾气溶胶并具有腔室，注射部件和调整基底（53）的位置的位置控制部件（52）。 在烟雾形成部分和成膜部分之间形成加热部分（31）。 烟雾形成部分包括供电单元，气体控制阀（23,24）和控制粉末的粉末调节阀（26,27）。
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公开(公告)号：KR1020130112619A
公开(公告)日：2013-10-14
申请号：KR1020120035140
申请日：2012-04-04
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: An apparatus and a method for measuring particles are provided to be applied to various processes because three chambers are separated from or coupled to each other according to process pressures or the electric charge occurrence of the introduced particles. CONSTITUTION: An apparatus for measuring particles comprises a particle measuring part (1000), a table (1100), a lower support member (2000), and a moving member (3000). The particle measuring part measures a gas particle using separable three chambers. The table fixes the particle measuring part. The height-adjustable lower support member supports the lower part of the table. The height-adjustable moving member moves the particle measuring part and the table.
Abstract translation: 目的：提供一种用于测量颗粒的装置和方法，用于各种工艺，因为根据工艺压力或引入颗粒的电荷发生，三个室彼此分离或相互耦合。 构成：用于测量颗粒的装置包括颗粒测量部件（1000），工作台（1100），下支撑部件（2000）和移动部件（3000）。 颗粒测量部分使用可分离的三个室来测量气体颗粒。 该表修复了粒子测量部分。 高度可调的下支撑构件支撑桌子的下部。 高度可调的移动构件移动颗粒测量部分和工作台。
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公开(公告)号：KR101012421B1
公开(公告)日：2011-02-08
申请号：KR1020080111206
申请日：2008-11-10
Applicant: 삼성전기주식회사 , 성균관대학교산학협력단
Abstract: 에어로졸 분사장치 및 그것을 이용한 필름형성방법이 개시된다. 기판의 표면에 필름을 형성하기 위한 에어로졸 분사장치로서, 액화가스를 기화시켜 수송가스를 형성하고, 수송가스의 압력을 높이는 수송가스주입부; 수송가스와 분말을 혼합하여 에어로졸을 형성하는 에어로졸 형성부; 및 기판의 표면에 필름이 형성되도록, 에어로졸을 상압에서 분사하는 필름형성부를 포함하는 에어로졸 분사장치는, 분말의 종류 및 크기의 제한이 없는 코팅공정을 수행할 수 있으며, 상온, 상압에서 필름을 형성하기 때문에 공정을 간소화할 수 있고, 짧은 시간에 다양한 범위의 필름 두께를 조절할 수 있다. 또한, 유전층/전기저항층/전기전도층을 동일한 방법으로 제조할 수 있어, 공정비용 저감 효과가 높다.
상압, 에어로졸, 분사, 필름, 액화가스
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