Abstract:
가스 분해 등을 수반하는 전기 화학 반응 일반에 있어서, 당해 전기 화학 반응을 촉진할 수 있는, 촉매, 전극, 연료 전지, 가스 제해(除害) 장치 등을 제공한다. 본 발명의 촉매는, 전기 화학 반응을 촉진하기 위해 이용되며, 니켈(Ni)과, {철(Fe), 코발트(Co), 크롬(Cr), 텅스텐(W) 및 구리(Cu)} 중 1종 이상을 포함하는 합금 입자의 연쇄체(3)인 것을 특징으로 한다.
Abstract:
가스 분해 등을 수반하는 전기 화학 반응 일반에 있어서, 당해 전기 화학 반응을 촉진할 수 있는, 촉매, 전극, 연료 전지, 가스 제해(除害) 장치 등을 제공한다. 본 발명의 촉매는, 전기 화학 반응을 촉진하기 위해 이용되며, 니켈(Ni)과, {철(Fe), 코발트(Co), 크롬(Cr), 텅스텐(W) 및 구리(Cu)} 중 1종 이상을 포함하는 합금 입자의 연쇄체(3)인 것을 특징으로 한다.
Abstract:
(과제) 소형의 장치로, 큰 처리 능력을 갖고, NOx, 이산화탄소의 발생의 우려 없이, 낮은 러닝 비용으로 가동할 수 있으며, 나아가서는, 조립시의 취급이 용이하고 구조가 간단하며, 또한 내구성이 우수한 전기 화학 반응 장치, 그의 제조 방법, 가스 분해 소자, 암모니아 분해 소자 및, 발전 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. (해결 수단) 이 전기 화학 반응 장치(10)는, 다공질의 애노드(2)와, 애노드와 쌍을 이루는, 다공질의 캐소드(5)와, 애노드와 캐소드와의 사이에 위치하고, 이온 도전성을 갖는 이온 도전재(1)를 구비하고, 애노드(2)가 표면 산화된 금속 입자 연쇄체(21)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Abstract:
기판(1)의 온도 분포를 균일화할 수 있는 반도체 장치의 제조 장치 및 제조 방법을 제공한다. 이 반도체 장치의 제조 장치는, 기판(1)을 유지하는 서셉터(2)와, 서셉터(2)의 이면측에 설치된 히터와, 기판(1)과 서셉터(2) 사이에 위치하며 지지부(12)를 갖는 지지 부재(11)와, 서셉터(2)와 지지 부재(11) 사이에 위치하는 스페이서(14)를 구비한다. 스페이서(14)에는, 지지 부재(11)의 지지부(12)가 형성되어 있는 위치의 반대면측에 있어서, 개구부(15)가 형성되어 있다. 에피택셜막, 반도체, 기판 가열
Abstract:
A manufacturing device of a semiconductor device and a manufacturing method thereof are provided to uniformize temperature distribution of a substrate by forming a supporting part into a protrusion shape in order to reduce a contact area of the substrate and a supporting member. A susceptor(2) maintains a substrate(1). A heating member heats the substrate, and is installed in a rear side of an opposite side of a surface maintaining the substrate of the susceptor. A supporting member(11) having a supporting part(12) of a protrusion shape is positioned between the substrate and the susceptor. A spacer(14) is positioned between the susceptor and the supporting member, and has an opening(15). The opening is positioned in an opposite side of a position on which the supporting part is formed, and is filled with material having a low thermal conductivity about the spacer.