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公开(公告)号:KR1020040069259A
公开(公告)日:2004-08-05
申请号:KR1020037011793
申请日:2002-10-10
Applicant: 스미토모덴키고교가부시키가이샤
IPC: G01R1/067
CPC classification number: G01R1/06738
Abstract: 컨택트 프로브는, 피 측정면에 접촉시키기 위한 선단부와, 지지 및 전기적 접속을 실시하기 위한 지지부와, 상기 선단부를 상기 지지부에 접속하는 스프링부분을 구비하고, 선단부는, 꽉 누를때의 스크러브 할 때에 이동하는 쪽의 모서리 부분 보다 그 반대 쪽의 모서리 부분의 곡률 반경이 크게 되어 있으므로, 스크러브에서의 피 측정면의 절연막을 충분히 깎을 수 있고, 전기적 접촉을 확보하는 동시에, 이탈시의 깎은 부스러기의 부착량을 저감하고, 피 측정면의 흠을 경감 할 수 있다.
또, 본 발명의 컨택트 프로브의 하나는, 선단부의 오목부 안에 소정의 돌기 및 바닥부분를 가지고, 돌기가 곡면의 피 측정면의 절연막을 찢어 전기적 접촉을 확보하는 동시에, 오목부의 바닥부분이 피측정물에 접촉하고, 돌기의 과잉의 파고들음을 방지 할 수 있다.-
公开(公告)号:KR1019950025004A
公开(公告)日:1995-09-15
申请号:KR1019950002302
申请日:1995-02-09
Applicant: 스미토모덴키고교가부시키가이샤
IPC: C04B35/584
Abstract: 질화규소 및/또는 사이알론을 85중량%이상 함유하고 상대밀도가 98%이상인 질화규소게 소결체에 있어서, 상기 소결체의 2차원단면상에서 측정한 질화규소 및/또는 사이알론입자의 최장직경이 5㎛미만이고, 최장직경이 0.7㎛이하인 입자가 모든 입자의 전체입자면적의 40∼70%를 점유하는 것을 특징으로 한다. 또, 4A족원소의 질화물을 중성분으로 하는 화합물로 이루어진 크기 500nm이하의 미립자가 상기 소결체증에 분산되어 있어도 된다. 또한 질화규소게 소결체는, 소정의 재료분말을 혼합하고, 이 혼합물을 성형한 후, 이 성형체를, 그 결과 얻어지는 소결체에 있어서 상대밀도가 98%이상이 되도록 소정조건하에서 1차 및 2차소결을 행함으로서 제조할 수 있다.
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