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公开(公告)号：KR1020150024326A
公开(公告)日：2015-03-06
申请号：KR1020147033899
申请日：2013-05-30
Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하
CPC classification number: C25B9/08 , C23C18/1617 , C23C18/52 , C23C18/54
Abstract: 이런 목적을 위해 사용된 도금 조성물이 분해에 대해 안정적이도록 보장하면서 신속한 무전해 도금을 달성하기 위해서, 상기 도금 조성물을 재생하기 위한 방법이 제공된다. 상기 도금 조성물은 기판 (10) 에 적어도 하나의 제 1 금속을 성막하기에 적합하고 적어도 하나의 도금 디바이스 (100) 에 의해 수용된다. 상기 도금 조성물은 이온 형태의 상기 적어도 하나의 제 1 금속 및 이온 형태의 적어도 하나의 제 2 금속을 함유한다. 상기 적어도 하나의 제 2 금속은 보다 높은 산화 상태 및 보다 낮은 산화 상태로 제공될 수도 있고, 그리고, 적어도 하나의 제 2 금속이 보다 낮은 산화 상태로 제공될 때, 이온 형태로 있는 상기 적어도 하나의 제 1 금속을 금속 상태로 환원할 수 있다. 상기 방법은 하기 방법 단계들: (a) 작업 전극 (205) 및 대향 전극 (206) 을 가지는 재생 디바이스 (200) 를 제공하는 단계로서, 상기 작업 전극 (205) 은 작업 전극 격실 (202) 에 배치되고 상기 대향 전극 (206) 은 대향 전극 격실 (203) 에 배치되고, 상기 작업 전극 격실 (202) 과 상기 대향 전극 격실 (203) 은 이온 선택성 막 (204) 에 의해 서로 분리되고, 상기 대향 전극 격실 (203) 은 대향 전극 액체를 수용하는, 상기 재생 디바이스 (200) 를 제공하는 단계; (b) 상기 적어도 하나의 도금 디바이스 (100) 로부터 상기 도금 조성물의 적어도 일부를 제거하는 단계; (c) 상기 제거된 도금 조성물의 적어도 분획물을 상기 재생 디바이스 (200) 의 상기 작업 전극 (205) 과 접촉시키고 상기 작업 전극 (205) 을 캐소드로 극성화하여서, 보다 높은 산화 상태로 제공되는 상기 적어도 하나의 제 2 금속은 보다 낮은 산화 상태로 환원되고 상기 적어도 하나의 제 1 금속은 금속 상태로 작업 전극 (205) 에 성막되어, 상기 제거된 도금 조성물의 제 1 부분을 수득하는 단계; 그 후 (d) 상기 제거된 도금 조성물로부터 상기 제 1 부분을 제거한 후 상기 제거된 도금 조성물의 나머지를 금속 상태로 방법 단계 (c) 에서 성막된 상기 적어도 하나의 제 1 금속을 가지는 상기 작업 전극 (205) 과 접촉시키고 상기 작업 전극 (205) 을 애노드로 극성화시켜서, 상기 금속 상태로 상기 작업 전극 (205) 에 성막된 상기 적어도 하나의 제 1 금속이 상기 제거된 도금 조성물의 상기 나머지로 용해되어 상기 이온 형태로 상기 적어도 하나의 제 1 금속을 형성하여서, 상기 제거된 도금 조성물의 제 2 부분을 수득하는 단계; 그 후 (e) 상기 제 1 부분 및 상기 제 2 부분을 상기 적어도 하나의 도금 디바이스 (100) 로 리턴시켜서 상기 이온 형태의 상기 적어도 하나의 제 1 금속 및 보다 낮은 산화 상태로 제공되는 상기 적어도 하나의 제 2 금속을 함유하는 상기 도금 조성물을 유발하여, 상기 도금 조성물이 상기 이온 형태인 상기 적어도 하나의 제 1 금속을 상기 금속 상태로 환원할 수 있는 단계를 포함한다.
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