公开(公告)号：KR1020160076529A

公开(公告)日：2016-06-30

申请号：KR1020167013395

申请日：2014-10-09

Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하

Inventor： 마키오쎅안드레아스 ,  만올리비에 ,  세불라파멜라

IPC: C25D3/38 ,  C25D5/02 ,  C25D5/18 ,  C25D7/12

CPC classification number: C25D5/02 ,  C25D3/38 ,  C25D5/022 ,  C25D5/18 ,  C25D5/56 ,  C25D7/123 ,  C25D17/001 ,  C25D17/10 ,  C25D21/18 ,  H05K2201/09509

Abstract: 본발명에따른구리전기도금방법은, 직류도금조건들하에서단면이둥근형상인구리트렌치들을형성하는평활제첨가물을함유하는수성산성구리도금욕, 및하나의순방향전류펄스및 하나의역방향전류펄스로이루어지는적어도하나의역방향전류펄스사이클을포함하고, 상기적어도하나의전류펄스사이클에서기판에인가된순방향전하에대한역방향전하의분율은 0.1 내지 5 % 의범위이다. 그방법은, 동시적으로블라인드마이크로비아들을충전하고직사각형단면형상을갖는트렌치들을도금하는데특히적합하다.

公开(公告)号：KR102127102B1

公开(公告)日：2020-06-29

申请号：KR1020167013395

申请日：2014-10-09

Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하

Inventor： 마키오쎅안드레아스 ,  만올리비에 ,  세불라파멜라

IPC: C25D3/38 ,  C25D5/02 ,  C25D5/18 ,  C25D7/12