公开(公告)号：KR1020160076529A

公开(公告)日：2016-06-30

申请号：KR1020167013395

申请日：2014-10-09

Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하

Inventor： 마키오쎅안드레아스 ,  만올리비에 ,  세불라파멜라

IPC: C25D3/38 ,  C25D5/02 ,  C25D5/18 ,  C25D7/12

CPC classification number: C25D5/02 ,  C25D3/38 ,  C25D5/022 ,  C25D5/18 ,  C25D5/56 ,  C25D7/123 ,  C25D17/001 ,  C25D17/10 ,  C25D21/18 ,  H05K2201/09509

Abstract: 본발명에따른구리전기도금방법은, 직류도금조건들하에서단면이둥근형상인구리트렌치들을형성하는평활제첨가물을함유하는수성산성구리도금욕, 및하나의순방향전류펄스및 하나의역방향전류펄스로이루어지는적어도하나의역방향전류펄스사이클을포함하고, 상기적어도하나의전류펄스사이클에서기판에인가된순방향전하에대한역방향전하의분율은 0.1 내지 5 % 의범위이다. 그방법은, 동시적으로블라인드마이크로비아들을충전하고직사각형단면형상을갖는트렌치들을도금하는데특히적합하다.

公开(公告)号：KR102127102B1

公开(公告)日：2020-06-29

申请号：KR1020167013395

申请日：2014-10-09

Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하

Inventor： 마키오쎅안드레아스 ,  만올리비에 ,  세불라파멜라

IPC: C25D3/38 ,  C25D5/02 ,  C25D5/18 ,  C25D7/12

公开(公告)号：KR1020150088307A

公开(公告)日：2015-07-31

申请号：KR1020157016894

申请日：2013-11-12

Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하

Inventor： 브루너하이코 ,  뢸프스베른트 ,  비트착아그니에시카 ,  콜만라르스 ,  만올리비에 ,  오데크리슈티안 ,  방게르터티모 ,  페로안젤로 ,  키르브스안드레아스 ,  슈뫼켈안드레 ,  로데디르크 ,  악커만슈테파니

IPC: C25D3/38 ,  C25D3/58 ,  H01L21/288

CPC classification number: C25D3/38 ,  C25D3/58 ,  C25D5/02 ,  H01L21/2885 ,  H01L21/76898

Abstract: 본발명은전자응용들을위한인쇄회로판, IC 기판, 반도성및 유리디바이스들의제조에서의구리및 구리합금성막을위한수성산성도금욕들에관한것이다. 본발명에따른도금욕은구리이온들, 적어도하나의산, 및양 말단에아미노잔기들을포함하고유기결합할로겐을함유하지않는우레일렌폴리머를포함한다. 그도금욕은, 홈구조들을구리로충전하고필러범프구조들의빌드업에특히유용하다.