-
-
公开(公告)号:KR1020150024317A
公开(公告)日:2015-03-06
申请号:KR1020147033024
申请日:2013-05-31
Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하
CPC classification number: C23C18/34 , C23C18/1633 , C23C18/50 , H01L21/288 , H01L21/76849
Abstract: 본 발명은 욕 성능을 향상시키도록 탄소-탄소 삼중 결합과 작용기를 가지는 신규한 안정화제를 이용한 니켈 및 니켈 합금들의 성막을 위한 수성 도금욕 조성물들에 관한 것이다.
-