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公开(公告)号:KR1020170086051A
公开(公告)日:2017-07-25
申请号:KR1020177014492
申请日:2015-11-17
Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하
CPC classification number: C23C18/1646 , C23C18/36 , C23C18/50
Abstract: 본발명은 a) 인듐및 갈륨으로부터선택된금속이온들, 및 b) 욕안정성을높이도록요오드함유무기화합물들을포함하는안정화제들의혼합물들을이용한, 니켈및 니켈합금들의성막을위한수성도금욕조성물들및 방법들에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及用于沉积镍和镍合金的含水铸铁组合物,其使用a)选自铟和镓的金属离子的混合物,和b)包含含碘无机化合物的稳定剂以增强浴稳定性,以及 <
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公开(公告)号:KR1020150024317A
公开(公告)日:2015-03-06
申请号:KR1020147033024
申请日:2013-05-31
Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하
CPC classification number: C23C18/34 , C23C18/1633 , C23C18/50 , H01L21/288 , H01L21/76849
Abstract: 본 발명은 욕 성능을 향상시키도록 탄소-탄소 삼중 결합과 작용기를 가지는 신규한 안정화제를 이용한 니켈 및 니켈 합금들의 성막을 위한 수성 도금욕 조성물들에 관한 것이다.
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