公开(公告)号：KR1020160061327A

公开(公告)日：2016-05-31

申请号：KR1020167006898

申请日：2014-09-11

Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하

Inventor： 담마쉬마티아스 ,  하리오노마르코 ,  카라자힌젠귈 ,  슈라이어한스-위르겐

IPC: C23C18/40 ,  C23C18/16 ,  H01L21/288 ,  H01L21/768

CPC classification number: C23C18/40 ,  C23C18/1633 ,  C23C18/1653 ,  C23C18/1683 ,  C25D3/38 ,  C25D5/00 ,  C25D7/12 ,  H01L21/288 ,  H01L21/76873 ,  H01L21/76898

Abstract: 본발명은배리어층의상부에구리시드층을제공하는방법에관한것이며, 여기서상기시드층은 Cu(Ⅱ) 이온을위한수용성소스, Cu(Ⅱ) 이온을위한환원제, Cu(Ⅱ) 이온을위한적어도하나의착화제, 및 RbOH, CsOH 및이의혼합물로이루어지는그룹으로부터선택되는수산화물이온을위한적어도하나의소스를포함하는수성무전해구리도금욕으로부터상기배리어층에증착된다. 결과적인구리시드층은둘 다바람직한특성인균일한두께분포및 매끄러운외부표면을가진다.

公开(公告)号：KR102165629B1

公开(公告)日：2020-10-15

申请号：KR1020167006898

申请日：2014-09-11

Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하

Inventor： 담마쉬마티아스 ,  하리오노마르코 ,  카라자힌젠귈 ,  슈라이어한스-위르겐

IPC: C23C18/40 ,  C23C18/16 ,  H01L21/288 ,  H01L21/768