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公开(公告)号：KR100322287B1
公开(公告)日：2002-03-25
申请号：KR1019990015362
申请日：1999-04-29
Applicant: 모르톤 인터내쇼날 인코포레이티드 , 엔지마트 코
Inventor： 헌트앤드류티 , 황치지우안 , 샤오홍 , 토마스조 , 린웬이 , 슈프샤라에스 , 루텐헨리에이 , 맥켄타이어죤에릭 , 카펜터리차드더블유 , 바틈리스티븐이 , 헨드릭미첼
IPC: H01C7/18
CPC classification number: H01L28/20 , C23C16/40 , C23C16/453 , H01C7/006 , H01C17/20 , H01C17/2416 , H05K1/167 , H05K3/064 , H05K2201/0317 , H05K2201/0355 , H05K2203/0338 , H05K2203/1338
Abstract: 본발명은다층인쇄회로판내에매립될수 있는박막저항체에관한것이다. 또한, 본발명은그러한박막저항체구조물, 및연소화학증착법을사용하는방법을비롯하여그러한구조물의제조방법에관한것이다. 또한, 본발명은연소화학증착법을통해기판상에저항물질을침착시킬수 있는화학전구물용액에관한것이다.
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公开(公告)号：KR100322784B1
公开(公告)日：2002-03-13
申请号：KR1019990014963
申请日：1999-04-27
Applicant: 엔지마트 코
CPC classification number: C23C16/45519 , B05D1/08 , C23C16/14 , C23C16/18 , C23C16/30 , C23C16/342 , C23C16/36 , C23C16/406 , C23C16/409 , C23C16/453 , C23C16/45561 , C23C16/45576 , C23C16/45595 , C23C16/50
Abstract: 본발명은개선된화학적기상증착장치및 방법을제공한다. 본발명의기법에의하면 CVD 피막을형성하는데에관련된반응영역및 증착영역에대해개선된차폐를제공함으로써, 고온에민감하고진공챔버또는그와유사챔버내에서처리하기에너무크거나불편한기재를대기중의성분에민감한재료로대기압하에서피복할수 있다. 본발명에따른개선된기법은다양한에너지원과함께사용될수 있으며, 연소화학적기상증착법(CCVD)에특히적절하다.
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公开(公告)号：KR1019990083589A
公开(公告)日：1999-11-25
申请号：KR1019990015362
申请日：1999-04-29
Applicant: 모르톤 인터내쇼날 인코포레이티드 , 엔지마트 코
Inventor： 헌트앤드류티 , 황치지우안 , 샤오홍 , 토마스조 , 린웬이 , 슈프샤라에스 , 루텐헨리에이 , 맥켄타이어죤에릭 , 카펜터리차드더블유 , 바틈리스티븐이 , 헨드릭미첼
IPC: H01C7/18
CPC classification number: H01L28/20 , C23C16/40 , C23C16/453 , H01C7/006 , H01C17/20 , H01C17/2416 , H05K1/167 , H05K3/064 , H05K2201/0317 , H05K2201/0355 , H05K2203/0338 , H05K2203/1338
Abstract: 본발명은다층인쇄회로판내에매립될수 있는박막저항체에관한것이다. 또한, 본발명은그러한박막저항체구조물, 및연소화학증착법을사용하는방법을비롯하여그러한구조물의제조방법에관한것이다. 또한, 본발명은연소화학증착법을통해기판상에저항물질을침착시킬수 있는화학전구물용액에관한것이다.
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公开(公告)号：KR1019990087964A
公开(公告)日：1999-12-27
申请号：KR1019990014963
申请日：1999-04-27
Applicant: 엔지마트 코
CPC classification number: C23C16/45519 , B05D1/08 , C23C16/14 , C23C16/18 , C23C16/30 , C23C16/342 , C23C16/36 , C23C16/406 , C23C16/409 , C23C16/453 , C23C16/45561 , C23C16/45576 , C23C16/45595 , C23C16/50
Abstract: 본발명은개선된화학기상증착장치와그 방법을제공한다. 본발명의기술은 CVD 코팅층을형성할때수반되는반응영역과증착영역의개량된차폐층(shielding)을형성하는데, 상기 CVD 코팅층은고온에민감하고, 진공챔버또는그와유사한챔버내에서처리하기에너무크거나불편한기판상에대기중의성분에민감한재료로되어있는대기압하에서제조할수 있다. 본발명에따른개선된기술은다양한에너지소스를사용할수 있으며, 연소화학기상증착(CCVD)기술에특히적합하다.
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