公开(公告)号：KR1020020071574A

公开(公告)日：2002-09-13

申请号：KR1020010011687

申请日：2001-03-07

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 한민구 ,  최연익 ,  김두영 ,  임무섭 ,  이유상 ,  오재근 ,  전병철

IPC: H01L29/78

Abstract: PURPOSE: An SOI(Silicon On Insulator) LDMOSFET(Lateral Double Diffused Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor) is provided to improve trade-off characteristics of a breakdown voltage and an on-resistance by using a vacuum layer as a buried layer. CONSTITUTION: An SOI LDMOSFET comprises a source electrode(41), a drain electrode(43), a gate electrode(42), a P-body(32) and an N-drift region(30). At this time, a buried layer having a vacuum layer in a defined portion is formed under the P-body(32) and the N-drift region(30). At this time, the buried layer comprises a buried vacuum layer(61) formed with the vacuum layer and a buried oxidation layer(62) formed with an oxidation layer.

Abstract translation: 目的：提供SOI（绝缘体上硅）LDMOSFET（横向双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管），通过使用真空层作为掩埋层来提高击穿电压和导通电阻的折衷特性。 构成：SOI LDMOSFET包括源电极（41），漏电极（43），栅电极（42），P体（32）和N漂移区（30）。 此时，在P体（32）和N漂移区（30）的下方形成具有限定部分的真空层的掩埋层。 此时，埋层包括由真空层形成的掩埋真空层（61）和形成有氧化层的掩埋氧化层（62）。

公开(公告)号：KR100403519B1

公开(公告)日：2003-10-30

申请号：KR1020010011687

申请日：2001-03-07

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 한민구 ,  최연익 ,  김두영 ,  임무섭 ,  이유상 ,  오재근 ,  전병철

IPC: H01L29/78

Abstract: PURPOSE: An SOI(Silicon On Insulator) LDMOSFET(Lateral Double Diffused Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor) is provided to improve trade-off characteristics of a breakdown voltage and an on-resistance by using a vacuum layer as a buried layer. CONSTITUTION: An SOI LDMOSFET comprises a source electrode(41), a drain electrode(43), a gate electrode(42), a P-body(32) and an N-drift region(30). At this time, a buried layer having a vacuum layer in a defined portion is formed under the P-body(32) and the N-drift region(30). At this time, the buried layer comprises a buried vacuum layer(61) formed with the vacuum layer and a buried oxidation layer(62) formed with an oxidation layer.

Abstract translation: 目的：提供SOI（绝缘体上硅）LDMOSFET（横向双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管），以通过使用真空层作为掩埋层来提高击穿电压和导通电阻的折衷特性。 构成：SOI LDMOSFET包括源电极（41），漏电极（43），栅电极（42），P体（32）和N漂移区（30）。 此时，在P体（32）和N漂移区（30）下方形成在限定部分中具有真空层的掩埋层。 此时，埋层包括由真空层形成的埋入真空层（61）和由氧化层形成的埋入氧化层（62）。