公开(公告)号：KR101127541B1

公开(公告)日：2012-03-23

申请号：KR1020100082173

申请日：2010-08-24

Applicant: 전북대학교산학협력단

Inventor： 이상권 ,  김태홍 ,  이승용 ,  김길성 ,  서덕원

IPC: H01L35/34 ,  H01L35/32 ,  B82B3/00

Abstract: 본 발명에 따르는 본 발명에 따르는 실리콘 나노 와이어를 이용한 열전소자 어레이 모듈 제조 방법은, (a) 제1절연기판, 상기 제1절연기판위에 형성된 다수개의 제1금속층, 상기 다수개의 제1금속층 위에 각각 형성된 다수개의 p 타입 나노 와이어 모듈을 포함하는 p 타입 나노 와이어층을 제조하는 단계; (b) 제2절연기판, 상기 제2절연기판 위에 형성된 다수개의 제2금속층, 상기 다수개의 제2금속층 위에 각각 형성된 다수개의 n 타입 나노 와이어 모듈을 포함하는 n 타입 나노 와이어 층을 제조하는 단계; (c) 상기 p 타입 나노 와이어층과 상기 n 타입 나노 와이어층을 서로 대향시켜 상기 다수개의 p 타입 나노 와이어 모듈과 상기 다수개의 n 타입 나노 와이어 모듈이 서로 맞물리게 결합하여 본딩하는 단계;를 구비하는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR101287611B1

公开(公告)日：2013-07-18

申请号：KR1020100113212

申请日：2010-11-15

Applicant: 전북대학교산학협력단

Inventor： 이상권 ,  서덕원 ,  김태홍 ,  이승용 ,  이찬양

IPC: B82B3/00 ,  B82B1/00

Abstract: 본 발명은 거친 표면을 갖는 실리콘 나노선 제조 방법에 관한 것이다. 상기 제조 방법은, (111) 방향 또는 (100) 방향의 실리콘 웨이퍼를 세정하는 단계; 상기 실리콘 웨이퍼의 표면에 Au, Cu, Ni, Mn 과 같은 금속 촉매 물질을 증착하는 단계; 전기화학기상증착기에 상기 실리콘 웨이퍼를 위치시키고, 아르곤(Ar)이 희석된 모노실란가스(SiH
4 ) 또는 액화 테트라클로로실란(SiCl4)를 기체상태로 주입하여 금속 촉매 물질위에 실리콘 나노선을 성장시키는 단계;를 구비한다.

公开(公告)号：KR101243348B1

公开(公告)日：2013-03-14

申请号：KR1020100082905

申请日：2010-08-26

Applicant: 전북대학교산학협력단

Inventor： 이상권 ,  김동주 ,  서덕원 ,  이승용

IPC: G01N33/574 ,  G01N33/552 ,  B82B3/00

Abstract: 본 발명은 실리콘 나노선을 이용한 암진단 키트에 관한 것으로, 더욱 구체적으로 실리콘 나노선(silicon nanowire; Si NW)이 성장된 기판, 이와 연결된 미세유동성(micro-fluidics) PDMS(polydimethylsiloxane) 채널, 및 상기 실리콘 나노선 표면에 고정화된 종양세포 특이적 항체를 포함하는 실리콘 나노선 기반 암진단 키트에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 본 발명에 따르면 세포독성이 적으며, 생체적합성(biocompatability)이 뛰어난 실리콘 나노선(silicon nanowire)을 이용하여 특정 암세포의 선택적 분리가 가능한 암진단 키트를 제조할 수 있다. 상기 암진단 키트는 고정화되는 항체의 종류를 변화시킴에 따라 특정 암세포 분리라 가능하며, 높은 표면적을 갖는 실리콘 나노선을 이용하므로 높은 분리효율과 순도, 신속성이 확보된 암진단 키트이다. 또한 미세유동성 채널 기반의 칩이 갖는 장점인 단일 공정을 통한 암진단이 가능하므로, 시료의 손실과 오염을 최적화할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020120019062A

公开(公告)日：2012-03-06

申请号：KR1020100082173

申请日：2010-08-24

Applicant: 전북대학교산학협력단

Inventor： 이상권 ,  김태홍 ,  이승용 ,  김길성 ,  서덕원

IPC: H01L35/34 ,  H01L35/32 ,  B82B3/00

CPC classification number: H01L35/34 ,  H01L33/645 ,  H01L35/32

Abstract: PURPOSE: A thermoelectric array module using a silicon nano wire, a manufacturing method thereof, and an LED chip are provided to effectively cool heat by integrating a heat sink with an array comprised of the LED chip and a plurality of single thermoelectric devices. CONSTITUTION: A metal layer(202) is formed on a surface of an insulation substrate(204). A p/n type semiconductor layer(200) is formed on the metal layer. A module area of the p/n type semiconductor layer is patterned. A p/n type nano wire(208) is formed on the module areas. A metal layer(210) is formed on the upper side of the p/n type nano wire.

Abstract translation: 目的：提供使用硅纳米线的热电阵列模块及其制造方法和LED芯片，以通过将散热器与由LED芯片和多个单个热电装置组成的阵列集成来有效地冷却热量。 构成：在绝缘基板（204）的表面上形成金属层（202）。 在金属层上形成p / n型半导体层（200）。 图案化p / n型半导体层的模块区域。 在模块区域上形成p / n型纳米线（208）。 在p / n型纳米线的上侧形成金属层（210）。

公开(公告)号：KR1020120051883A

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：KR1020100113212

申请日：2010-11-15

Applicant: 전북대학교산학협력단

Inventor： 이상권 ,  서덕원 ,  김태홍 ,  이승용 ,  이찬양

IPC: B82B3/00 ,  B82B1/00

CPC classification number: H01L21/02603 ,  B82Y40/00 ,  H01L21/02164 ,  H01L21/205 ,  H01L29/413

Abstract: PURPOSE: A manufacturing method of a silicon nano-wire having a rough surface is provided to manufacture silicon nano-wires having wide surface areas by producing stacking fault in outer part of the silicon nano-wire. CONSTITUTION: A manufacturing method of a silicon nano-wire having a rough surface comprises next steps: washing silicon wafer(s100); evaporating metal catalyst on surface of the silicon wafer(s110); and growing the silicon nano-wire by evaporating diluted monosilane gas(SiH4) on surface of metal catalyst material which is evaporated on surface of the silicon wafer(s130). The metallic catalyst material is one of the following: Au, Cu, Ni, and Mn. The last step comprises next steps: locating the silicon wafer within an electrochemical vapor deposition apparatus; maintaining the set temperature of the electrochemical vapor deposition apparatus; and growing the silicon nano-wire for the set hours by injecting diluted monosilane gas.

Abstract translation: 目的：提供具有粗糙表面的硅纳米线的制造方法，以通过在硅纳米线的外部产生堆垛层错来制造具有宽表面积的硅纳米线。 构成：具有粗糙表面的硅纳米线的制造方法包括以下步骤：洗涤硅晶片（s100）; 在硅晶片表面蒸发金属催化剂（s110）; 并通过在硅晶片的表面上蒸发的金属催化剂材料的表面上蒸发稀释的甲硅烷气体（SiH4）来生长硅纳米线（s130）。 金属催化剂材料是Au，Cu，Ni和Mn中的一种。 最后一步包括以下步骤：将硅晶片定位在电化学气相沉积设备内; 维持电化学气相沉积装置的设定温度; 并通过注入稀释的甲硅烷气体在固化时间内生长硅纳米线。

公开(公告)号：KR1020120019611A

公开(公告)日：2012-03-07

申请号：KR1020100082905

申请日：2010-08-26

Applicant: 전북대학교산학협력단

Inventor： 이상권 ,  김동주 ,  서덕원 ,  이승용

IPC: G01N33/574 ,  G01N33/552 ,  B82B3/00

Abstract: PURPOSE: A cancer diagnostic kit using a silicon nanowire is provided to ensure less cytotoxicity and to minimize loss and contamination of samples. CONSTITUTION: A silicon nanowire-based cancer diagnostic kit contains a substrate; a microfluidic PDMS(polydimethyl silioxane) channel connected to the same, and tumor cell-specific antibodies fixed on the surface of the silicone nanowire. The substrate is a silicon wafer. The tumor cell-specific antibodies are fixed by treating the silicon nanowire with O_2 plasma, and conjugating APTES(aminopropyltriethoxylsilane), GA(glutaraldehyde), and antibodies in order. The microfluidic channel also comprises a syringe pump for adjusting flow.

Abstract translation: 目的：提供使用硅纳米线的癌症诊断试剂盒，以确保较少的细胞毒性，并尽量减少样品的损失和污染。 构成：基于硅纳米线的癌症诊断试剂盒含有底物; 连接到其上的微流体PDMS（聚二甲基硅烷）通道和固定在硅氧烷纳米线表面上的肿瘤细胞特异性抗体。 衬底是硅晶片。 通过用O_2血浆处理硅纳米线并依次结合APTES（氨基丙基三乙氧基硅烷），GA（戊二醛）和抗体来固定肿瘤细胞特异性抗体。 微流体通道还包括用于调节流量的注射泵。