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公开(公告)号:KR100576700B1
公开(公告)日:2006-05-08
申请号:KR1020050004204
申请日:2005-01-17
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L31/115 , G01T1/26 , H01L31/09
Abstract: 본 발명은 밀리미터파 감지 센서 및 그의 조립체에 관한 것으로, 히터 연결부와 부채 형상의 안테나 바디로 이루어진 안테나를 밀리미터파 감지 센서에 적용함으로써, 밀리미터파 수신 주파수 대역을 넓힐 수 있고, 반도체 제조공정으로 밀리미터파 감지 센서를 제조함으로서, 제조공정이 용이하고 대량생산할 수 있는 효과가 있다.
밀리미터파, 센서, 안테나, 부채, 히터Abstract translation: 本发明是一种毫米波传感器,并且通过应用本发明涉及其组装,与天线由扇形毫米波传感器的天线主体的加热器连接部分,有可能加宽毫米波接收频带,在半导体制造工序中的毫米波 通过制造传感器,制造过程很简单,可以进行批量生产。