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公开(公告)号：WO2022186428A1
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：PCT/KR2021/008408
申请日：2021-07-02
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명의 실시예에 따르면, 측정대상물의 형상 측정 전의 보정단계에서 기준평면거울의 위상과 각 구성요소들(스크린, 기준평면거울, 디텍터)간의 기하학적 위치정보와, 위상 오프셋으로부터 β을 보정한 후, 상기 측정대상물의 위상을 측정하여, β을 기반으로 α을 보정하여 기울기 성분을 연산하여, 새로운 알고리즘을 통해 신속하고, 정확하게 X방향 위상(X방향 기울기 성분)과 Y방향 위상(Y방향 기울기 성분)을 산출하여, 자유곡면을 갖는 측정대상물의 형상을 측정, 분석할 수 있는 편향측정법을 쉽고 빠르게 보정할 수 있는 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
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公开(公告)号：WO2021020604A1
公开(公告)日：2021-02-04
申请号：PCT/KR2019/009394
申请日：2019-07-29
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 편광에 따른 각도분해 분광간섭 영상을 이용한 다층박막 두께 및 굴절률 측정장치 및 측정방법에 대한 것이다. 보다 상세하게는 다층 박막이 코팅된 측정대상물의 두께 및 굴절률을 측정하기 위한 장치에 있어서, 광을 출사시키는 광원을 갖는 조명광학모듈; 상기 조명광학모듈에서 출사된 광 일부를 반사시키는 제1빔스플리터; 상기 제1빔스플리터에서 반사된 광 일부를 다층 박막으로 구성된 상기 측정대상물로 입사시키고 나머지 광을 기준면에 반사시켜 후초점면에 간섭광을 형성시키는 대물렌즈; 상기 측정대상물에 입사되어 반사된 반사광과 상기 기준면에서 반사된 반사광이 간섭된 간섭광이 입사되어, 일부는 반사되고 나머지는 투과되는 제2빔스플리터; 상기 제2빔스플리터에서 반사된 간섭광이 입사되어, 상기 대물렌즈의 후초점면에 위치한 상기 간섭광을 제1편광하여 제1편광 간섭영상을 획득하는 제1각도분해 분광영상획득부; 및 상기 제2빔스플리터에서 투과된 간섭광이 입사되어, 상기 대물렌즈의 후초점면에 위치한 상기 간섭광을 제2편광하여 제2편광 간섭영상을 획득하는 제2각도분해 분광영상획득부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 편광에 따른 각도분해 분광간섭 영상을 이용한 다층박막 두께 및 굴절률 측정장치에 관한 것이다.
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公开(公告)号：WO2017217590A1
公开(公告)日：2017-12-21
申请号：PCT/KR2016/009500
申请日：2016-08-26
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 영상분광광학계를 이용한 다층막 구조물의 두께와 형상 측정장치 및 측정방법에 대한 것이다. 보다 상세하게는, 반사광 측정법을 이용하여 다층 박막을 갖는 측정대상물에 대한 절대 반사율 값을 획득함과 동시에 위상천이 알고리즘을 이용해 기준미러와의 간섭신호로부터 위상을 추출하는 방법을 적용하여 다층 박막 구조물의 두께 및 형상을 측정할 수 있는 방법 및 장치에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种使用图像光谱系统测量多层膜结构的厚度和形状的设备和方法。 更具体地，通过使用所获得的绝对反射率的值，并在同一时间，通过使用应用从多层薄膜结构的参考反射镜的干涉信号中提取相位的方法的反射光的测量方法具有多层薄膜来测量对象的相移算法 测量厚度和形状的方法和设备
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5.发明申请초점심도 조절이 가능한 레이저 노광법 기반 미세패턴 제조장치, 제조시스템 및 그 제조시스템에 의해 제조된 회절소자 审中-公开基于激光曝光方法的微波炉制造设备和制造系统启用制造系统制造的关键深度调节和衍射元件
公开(公告)号：WO2016125959A1
公开(公告)日：2016-08-11
申请号：PCT/KR2015/005865
申请日：2015-06-11
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/027 , G03F7/20
CPC classification number: G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 본 발명은 초점심도 조절이 가능한 레이저 노광법 기반 미세패턴 제조장치에 대한 것이다. 보다 상세하게는, 높이방향 간섭형성부를 포함하여 서로 평면방향 폭이 다른 레이저빔을 간섭시켜 높이방향의 간섭무늬방향을 갖는 간섭레이저빔을 감광막에 주사하게 됨으로써 높이방향 선폭을 향상시킬 수 있고, 또한, 곡률변형이 가는한 변형미러를 적용하게 됨으로써, 초점심도의 조절이 가능하게 됨으로써 삼각패턴의 회절소자의 제조가 가능한 미세패턴 제조장치에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种能够进行焦点深度调整的基于激光曝光方法的微图案制造装置。 更具体地，本发明涉及一种微图案制造装置，其包括高度方向干涉形成单元，由此干涉具有彼此不同的平面方向宽度的激光束，并且在光致抗蚀剂中注入具有干涉图案的干涉激光束 从而能够提高高度方向线宽度，进一步可以应用可变形的变形镜，从而能够调整焦深，从而能够制造三角形图案衍射元件 。
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Patent Agency Ranking6.发明申请초점심도 조절이 가능한 레이저 노광법 기반 미세패턴 제조방법, 초점심도 조절방법 및 그 제조방법에 의해 제조된 회절소자 审中-公开基于激光曝光方法的微波炉制造方法实现焦深深度调节，关键深度调整方法和制造方法制造的衍射元件
公开(公告)号：WO2016125958A1
公开(公告)日：2016-08-11
申请号：PCT/KR2015/005864
申请日：2015-06-11
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/027 , G03F7/20
CPC classification number: G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 본 발명은 초점심도 조절이 가능한 레이저 노광법 기반 미세패턴 제조방법, 초점심도 조절방법 및 그 제조방법에 의해 제조된 회절소자에 대한 것이다. 보다 상세하게는, 초점심도 조절부를 포함하여 서로 평면방향 폭이 다른 레이저빔을 간섭시켜 높이방향의 간섭무늬방향을 갖는 간섭레이저빔을 감광막에 주사하게 됨으로써 높이방향 선폭을 향상시킬 수 있고, 또한, 곡률변형이 가능한 변형미러를 적용하게 됨으로써, 초점심도의 조절이 가능하게 됨으로써 삼각패턴의 회절소자의 제조가 가능한 미세패턴 제조방법에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种能够进行焦点深度调整的激光曝光方式的微图案制造方法，焦点深度调整方法和通过该制造方法制造的衍射元件。 更具体地，本发明涉及一种微图案制造方法，其包括焦点深度调整单元，由此干涉彼此不同的平面方向宽度的激光束，并且在光致抗蚀剂中注入具有干涉图案方向的干涉激光束 高度方向，从而能够提高高度方向线宽度，并且还可以应用可变形的变形镜，从而能够调节焦深，从而能够制造三角形图案衍射元件。
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公开(公告)号：WO2022186429A1
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：PCT/KR2021/008409
申请日：2021-07-02
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 대각선 패턴 주사 방식을 이용한 실시간 3차원 형상측정시스템 및 형상측정방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 자유곡면의 실시간 3차원 형상측정에 적용되는 편향측정법에서, 위상을 획득하기 위한 시스템에 있어서, 대각선 방향의 한방향 패턴무늬를 생성하여 측정대상물에 투영하는 패턴발생부; 상기 측정대상물로부터 반사되는 변형된 패턴의 영상을 획득하는 디텍터; 및 상기 대각선 패턴 위상을 x축 방향, y축 방향 각각으로 편미분하고, 각각을 적분하여 x축 방향 위상성분과, y축 방향 위상성분을 획득하는 위상획득부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 대각선 패턴 주사 방식을 이용한 실시간 3차원 위상획득시스템에 관한 것이다.
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公开(公告)号：WO2019146861A1
公开(公告)日：2019-08-01
申请号：PCT/KR2018/009337
申请日：2018-08-14
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 위상천이 편향측정법을 이용한 대상물 형상측정에서 비선형 응답특성을 보상하기 위한 시스템 및 방법에 대한 것이다. 보다 상세하게는 위상천이 편향측정법에서 비선형 응답특성을 보상하기 위한 방법에 있어서, 패턴발생부가 패턴을 생성하여 측정대상물에 투영하는 단계; 디텍터가 측정대상물로부터 반사되는 변형된 패턴의 영상을 획득하는 단계; 보상수단이 상기 패턴발생부와 상기 디텍터의 비선형응답특성을 고려한 룩업테이블을 기반으로 비선형 응답을 선형화하는 단계; 및 상기 보상수단이 비선형 응답특성으로 발생한 위상천이량을 보상하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 위상천이 편향측정법을 이용한 대상물 형상측정에서 비선형 응답특성을 보상하기 위한 방법에 관한 것이다.
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9.发明申请듀얼라인 생성이 가능한 레이저 노광법, 노광장치, 그 레이저 노광법을 이용한 듀얼 라인을 갖는 미세패턴 제조방법 및 제조장치 审中-公开一种能够产生双线的激光曝光方法和曝光装置，使用激光曝光方法制造具有双线的精细图案的方法和装置
公开(公告)号：WO2017209330A1
公开(公告)日：2017-12-07
申请号：PCT/KR2016/005958
申请日：2016-06-07
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 듀얼라인 생성이 가능한 레이저 노광법, 노광장치, 그레이저 노광법을 이용한 듀얼 라인을 갖는 미세패턴 제조방법 및 제조장치에 대한 것이다. 보다 상세하게는 레이저 노광법에 있어서, 특정폭과, 특정광량을 갖는 레이저빔이 기판상에 코팅된 감광막으로 조사되는 단계; 상기 레이저빔이 조사된 부분의 감광막이 제거되는 단계; 제거된 감광막의 주변 양단부에 상부로 돌출된 돌출단이 형성되는 단계; 양측의 상기 돌출단 상부면 각각에 산화막이 생성되는 단계; 및 상기 감광막을 에칭하여 듀얼라인이 생성되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 듀얼라인 생성이 가능한 레이저 노광법에 관한 것이다.
Abstract translation:
本发明涉及用于制造具有能够产生双重线，曝光装置，激光曝光方法和制造装置的激光曝光方法的双重线的精细图案的方法。 更具体地，在激光曝光方法中，将具有特定宽度和特定量的光的激光束照射到涂覆在基板上的光致抗蚀剂膜; 去除激光束照射部分的光刻胶层; 在去除的光致抗蚀剂的周边的两个周边部分处形成向上突起的突起; 在两侧的突起的每个上表面上形成氧化膜; 并且蚀刻光致抗蚀剂层以形成双线。本发明涉及能够产生双线的激光曝光方法。
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公开(公告)号：WO2021172647A1
公开(公告)日：2021-09-02
申请号：PCT/KR2020/003593
申请日：2020-03-16
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 외부 진동 및 환경 변화에 둔감한 다층박막 두께 및 형상 측정장치 및 측정방법에 대한 것에 대한 것으로, 보다 상세하게는 편광빔스플리터와 쿼터파장판과 셔터 및 편광카메라를 통해 기준반사판과 측정대상물의 간섭신호를 통해 한 번에 다수의 서로 다른 위상천이된 간섭신호 이미지를 취득하여 측정대상물의 위상을 측정하고, 기준면과 측정대상물 각각에 대한 반사광을 다수의 서로 다른 편광자를 통해 한 번에 획득된 복수의 반사신호 이미지를 취득하여 측정대상물의 반사율을 측정할 수 있는, 진동둔감 간섭법을 이용한 다층박막 두께 및 형상 측정장치 및 측정방법에 관한 것이다.
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