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公开(公告)号：KR102228563B1
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：KR1020190156009A
申请日：2019-11-28
Applicant: 조선대학교산학협력단
IPC: F24F11/46 , F24F110/10 , F24F110/50 , F24F140/50
CPC classification number: F24F11/46 , F24F2110/10 , F24F2110/50 , F24F2140/50
Abstract: 건물에 설치되는 냉난방 장치 및 공조환기 장치를 포함하는 냉난방-공조환기 시스템을 구동하는 냉난방-공조환기 시스템 구동 방법은 기 설정된 시간마다 건물의 내부 온도를 측정하고, 내부 온도와 기준 온도 사이의 차에 상응하는 냉난방 부하 및 냉난방 부하 감소율을 도출하며, 기 설정된 시간마다 건물의 내부 공기질을 측정하고, 내부 공기질과 기준 공기질 사이의 차에 상응하는 공조환기 부하 및 공조환기 부하 감소율을 도출하며, 냉난방 부하 및 냉난방 부하 감소율에 기초하여 냉난방 장치의 제1 단위 동작 시간을 결정하고, 공조환기 부하 및 공조환기 부하 감소율에 기초하여 공조환기 장치의 제2 단위 동작 시간을 결정하며, 기 설정된 에너지 절약 시간대에 냉난방 장치와 공조환기 장치를 제1 단위 동작 시간과 제2 단위 동작 시간씩 교번하여 동작시킨다.
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公开(公告)号：KR200422419Y1
公开(公告)日：2006-07-26
申请号：KR2020060009819
申请日：2006-04-12
Applicant: 조선대학교산학협력단
IPC: B24B53/017 , B24B53/12 , B24B55/00 , H01L21/304
CPC classification number: B24B53/017 , B08B1/002 , B24B53/02 , B24B53/12 , H01L21/30625
Abstract: 본 고안은 씨엠피 복합 컨디셔너에 관한 것으로, 보다 상세하게는 폴리싱 패드의 컨디셔닝시 폴리싱 패드의 마모 및 손상을 최소화하여 life time을 증가시킴과 아울러 브러쉬에 의한 컨디셔닝을 통해 폴리싱 패드의 다공성 및 거칠기를 확보하여 평탄화 특성을 개선시킬 수 있는 씨엠피 복합 컨디셔너에 관한 것이다.
본 고안은 CMP 장비의 폴리싱 패드의 표면에 밀착되어 상기 폴리싱 패드를 컨디셔닝하도록 하측 표면에 다이아몬드 입자가 부착된 컨디셔너에 있어서, 상기 컨디셔너(10)는 원형 또는 막대형으로 형성되되, 상기 폴리싱 패드(20)의 마모를 감소시키도록 상기 컨디셔너(10)의 표면 중 일측에는 상기 다이아몬드 입자(12)가 부착되고 나머지 일측에는 브러쉬(14)가 착탈가능하게 부착되어 형성된 것을 특징으로 한다.
CMP, 컨디셔닝, 폴리싱 패드, 다이아몬드 입자, 브러쉬-
公开(公告)号：KR1020090051641A
公开(公告)日：2009-05-22
申请号：KR1020070118123
申请日：2007-11-19
Applicant: 조선대학교산학협력단
IPC: H01L21/304 , B24B37/26 , B24B37/04
Abstract: 본 발명은 연마작업시 슬러리의 배출을 원활하게 하고, 슬러리 잔류물들과 오염물질의 방출이 용이한 화학적 기계적 연마장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명은 웨이퍼를 연마하는 연마패드가 장착된 화학적 기계적 연마장치에 있어서, 상기 연마패드는, 상하방향으로 관통 형성되어 슬러리가 배출되는 관통홀과; 상기 연마패드의 상면에 형성되어 상기 슬러리가 유동하는 유동홈; 을 포함하여 이루어지되, 상기 유동홈은 상기 관통홀과 연통되는 것을 특징으로 한다.
연마패드, 슬러리, 유동홈-
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR100753583B1
公开(公告)日：2007-08-30
申请号：KR1020060034420
申请日：2006-04-17
Applicant: 조선대학교산학협력단
IPC: C09K3/14
Abstract: Provided is a method for preparing a mixture abrasive slurry for CMP (chemical mechanical polishing) to improve polishing selectivity and to lower RMS surface roughness. A method comprises the steps of (S10, S20) mixing a BaCO3 powder and a TiO2 powder in a ratio of 1:1 with deionized water; (S30) milling the obtained one by using a zirconia ball and (S40) drying it; (S50) molding the dried one in a mold at a pressure of 6,000 kgf/cm^2; (S60, S70) sintering the molded one to prepare a BTO (BaTiO3) target; and (S80) pulverizing the BTO target to prepare a BTO abrasive and (S90) mixing the BTO abrasive with a slurry raw solution.
Abstract translation: 提供一种用于制备用于CMP（化学机械抛光）的混合物研磨浆料的方法，以提高抛光选择性并降低RMS表面粗糙度。 一种方法包括以下步骤：（S10，S20）将BaCO 3粉末与TiO 2粉末以1：1的比例与去离子水混合; （S30）通过使用氧化锆球研磨所获得的一个并且（S40）将其干燥; （S50）在6,000kgf / cm 2的压力下将干燥的模具在模具中模制; （S60，S70）烧结成型体以制备BTO（BaTiO3）靶; 和（S80）粉碎所述BTO靶以制备BTO研磨剂，和（S90）将所述BTO研磨剂与浆料原液混合。
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公开(公告)号：KR102228563B1
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：KR1020190156009
申请日：2019-11-28
Applicant: 조선대학교산학협력단
IPC: F24F11/46 , F24F110/10 , F24F110/50 , F24F140/50
Abstract: 건물에설치되는냉난방장치및 공조환기장치를포함하는냉난방-공조환기시스템을구동하는냉난방-공조환기시스템구동방법은기 설정된시간마다건물의내부온도를측정하고, 내부온도와기준온도사이의차에상응하는냉난방부하및 냉난방부하감소율을도출하며, 기설정된시간마다건물의내부공기질을측정하고, 내부공기질과기준공기질사이의차에상응하는공조환기부하및 공조환기부하감소율을도출하며, 냉난방부하및 냉난방부하감소율에기초하여냉난방장치의제1 단위동작시간을결정하고, 공조환기부하및 공조환기부하감소율에기초하여공조환기장치의제2 단위동작시간을결정하며, 기설정된에너지절약시간대에냉난방장치와공조환기장치를제1 단위동작시간과제2 단위동작시간씩교번하여동작시킨다.
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公开(公告)号：KR100908017B1
公开(公告)日：2009-07-15
申请号：KR1020070115738
申请日：2007-11-13
Applicant: 조선대학교산학협력단
IPC: B24B53/095 , B24B53/12
Abstract: 본 발명은 연마패드의 오염물을 제거하여 전체적인 수명을 연장하고, 연마특성을 향상시키기 위한 연마패드 컨디셔닝 장치를 제공하기 위한 것이다.
상기 연마패드 컨디셔닝 장치는 하우징과; 상기 하우징에 장착되어 연마패드를 컨디셔닝하는 컨디셔너 패드와; 상기 하우징에 장착되어 탈이온수를 배출하는 노즐과; 상기 하우징에 장착되어 상기 노즐 내부로 유동하는 탈이온수를 가열하는 가열장치와; 상기 탈이온수의 온도를 감지하는 온도센서와; 상기 온도센서로부터 데이터를 받아들여 상기 가열장치의 온도를 조절하는 제어부; 를 포함하여 이루어진다.
연마패드, 컨디셔닝, 탈이온수Abstract translation: 发明内容本发明涉及一种用于从抛光垫去除污染物以延长整体使用寿命并改善抛光特性的抛光垫调节设备。
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公开(公告)号：KR1020090049471A
公开(公告)日：2009-05-18
申请号：KR1020070115738
申请日：2007-11-13
Applicant: 조선대학교산학협력단
IPC: B24B53/095 , B24B53/12
CPC classification number: B24B53/017 , B24B53/02 , B24B53/12 , B24D3/10 , H01L21/30625
Abstract: 본 발명은 연마패드의 오염물을 제거하여 전체적인 수명을 연장하고, 연마특성을 향상시키기 위한 연마패드 컨디셔닝 장치를 제공하기 위한 것이다.
상기 연마패드 컨디셔닝 장치는 하우징과; 상기 하우징에 장착되어 연마패드를 컨디셔닝하는 컨디셔너 패드와; 상기 하우징에 장착되어 탈이온수를 배출하는 노즐과; 상기 하우징에 장착되어 상기 노즐 내부로 유동하는 탈이온수를 가열하는 가열장치와; 상기 탈이온수의 온도를 감지하는 온도센서와; 상기 온도센서로부터 데이터를 받아들여 상기 가열장치의 온도를 조절하는 제어부; 를 포함하여 이루어진다.
연마패드, 컨디셔닝, 탈이온수
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