公开(公告)号：KR100908017B1

公开(公告)日：2009-07-15

申请号：KR1020070115738

申请日：2007-11-13

Applicant: 조선대학교산학협력단

Inventor： 이우선 ,  박성우 ,  최권우 ,  한상준 ,  이영균 ,  서용진

IPC: B24B53/095 ,  B24B53/12

Abstract: 본 발명은 연마패드의 오염물을 제거하여 전체적인 수명을 연장하고, 연마특성을 향상시키기 위한 연마패드 컨디셔닝 장치를 제공하기 위한 것이다.
상기 연마패드 컨디셔닝 장치는 하우징과; 상기 하우징에 장착되어 연마패드를 컨디셔닝하는 컨디셔너 패드와; 상기 하우징에 장착되어 탈이온수를 배출하는 노즐과; 상기 하우징에 장착되어 상기 노즐 내부로 유동하는 탈이온수를 가열하는 가열장치와; 상기 탈이온수의 온도를 감지하는 온도센서와; 상기 온도센서로부터 데이터를 받아들여 상기 가열장치의 온도를 조절하는 제어부; 를 포함하여 이루어진다.
연마패드, 컨디셔닝, 탈이온수

Abstract translation: 发明内容本发明涉及一种用于从抛光垫去除污染物以延长整体使用寿命并改善抛光特性的抛光垫调节设备。

公开(公告)号：KR1020090049471A

公开(公告)日：2009-05-18

申请号：KR1020070115738

申请日：2007-11-13

Applicant: 조선대학교산학협력단

Inventor： 이우선 ,  박성우 ,  최권우 ,  한상준 ,  이영균 ,  서용진

IPC: B24B53/095 ,  B24B53/12

CPC classification number: B24B53/017 ,  B24B53/02 ,  B24B53/12 ,  B24D3/10 ,  H01L21/30625

Abstract: 본 발명은 연마패드의 오염물을 제거하여 전체적인 수명을 연장하고, 연마특성을 향상시키기 위한 연마패드 컨디셔닝 장치를 제공하기 위한 것이다.
상기 연마패드 컨디셔닝 장치는 하우징과; 상기 하우징에 장착되어 연마패드를 컨디셔닝하는 컨디셔너 패드와; 상기 하우징에 장착되어 탈이온수를 배출하는 노즐과; 상기 하우징에 장착되어 상기 노즐 내부로 유동하는 탈이온수를 가열하는 가열장치와; 상기 탈이온수의 온도를 감지하는 온도센서와; 상기 온도센서로부터 데이터를 받아들여 상기 가열장치의 온도를 조절하는 제어부; 를 포함하여 이루어진다.
연마패드, 컨디셔닝, 탈이온수