公开(公告)号：KR1020150010976A

公开(公告)日：2015-01-29

申请号：KR1020147034407

申请日：2013-05-07

Applicant: 케이엘에이-텐코 코포레이션

Inventor： 나쎄르-고드시메흐란 ,  플레트너토마스 ,  헤인즈로버트지 ,  시어스크리스토퍼말콤스탠리

IPC: H01J37/063 ,  H01J37/065 ,  H01J37/28 ,  H01J3/02

CPC classification number: H01J37/04 ,  H01J3/027 ,  H01J3/029 ,  H01J27/024 ,  H01J37/063 ,  H01J37/065 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/06375

Abstract: 개시된 일 실시예는 전자 빔(electron beam)을 생성하기 위한 전자 소스( electron source)에 관한 것이다. 전자 소스는 전자 빔이 추출되는 팁(tip)을 갖는 전자 이미터(electron emitter)를 포함한다. 전자 소스는 추출기 개구(extractor opening) 및 빌트인 빔 제한 애퍼처(built-in beam-limiting aperture)를 갖는 비평면 추출기(non-planar extractor)를 더 포함한다. 추출기 개구는 빔 제한 애퍼처보다 크고, 추출기 개구와 빔 제한 애퍼처 모두의 중심축들이 빔축을 따라 팁과 정렬된다. 다른 실시예는 비평면 추출기를 갖는 전자 소스을 사용하여 전자 빔을 생성하는 방법에 관한 것이다. 또 다른 실시예는 전자 빔들의 어레이를 생성하기 위한 전자 소스들의 어레이에 관한 것이다. 전자 소스들의 어레이는 전자 이미터들의 어레이와 비평면 추출기 구조물의 어레이를 포함한다. 다른 실시예들, 실시예들 및 기능들도 개시한다.