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公开(公告)号：KR100549215B1
公开(公告)日：2006-02-02
申请号：KR1020040024445
申请日：2004-04-09
Applicant: 학교법인연세대학교
IPC: G02B21/00
Abstract: 광위상 측정용 근접장 주사 광학 현미경이 개시되어 있다.
이 개시된 광위상 측정용 근접장 주사 광학 현미경은, 피검물질에 광을 조사하는 광원; 상기 광원으로부터 조사된 광을 분할하는 빔스프리터; 상기 광원에서 조사된 후 상기 피검물질을 통과한 광을 반사시키는 광학 탐침; 상기 피검물질로부터 나오는 광을 검출하는 광검출기;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 구성에 의해, 본 발명에서는 반사형 광학 탐침을 구비하여 피검 물질에서 반사된 광과 광학 탐침에서 반사된 광의 간섭광을 얻고, 이 간섭광을 검출하여 피검 물질의 내부 구조와 광위상을 측정할 수 있다.-
公开(公告)号：KR1020030080803A
公开(公告)日：2003-10-17
申请号：KR1020020019613
申请日：2002-04-11
Applicant: 학교법인연세대학교
IPC: G01M11/00
Abstract: PURPOSE: An optical part inspecting apparatus is provided to improve reliability of measuring result when inspecting optical parts by measuring property of optical parts using shear interference. CONSTITUTION: An optical part inspecting apparatus includes a beam splitter(13). The beam splitter(13) reflects a part of light passing through an optical part(10) and allows remaining paths of light to pass through. Light reflected from the beam splitter(13) is guided into first and second reflection surfaces(15a,16a) and is reflected. The first and second reflection surfaces(15a,16a) have different gradient from each other. The first reflection surface(15a) is formed in a first prism(15) and the second reflection surface(16a) is formed in a second prism(16). The first prism(15) and the second prism(16) are wedge-type prisms. First light and second light reflected from the first and second reflection surfaces(15a,16a) form an interference pattern(20).
Abstract translation: 目的：提供光学部件检查装置，通过使用剪切干涉测量光学部件的性能来检查光学部件，提高测量结果的可靠性。 构成：光学部件检查装置包括分束器（13）。 分束器（13）反射通过光学部件（10）的一部分光，并允许剩余光线通过。 从分束器（13）反射的光被引导到第一和第二反射面（15a，16a）中并被反射。 第一和第二反射面（15a，16a）具有彼此不同的梯度。 第一反射面（15a）形成在第一棱镜（15）中，第二反射面（16a）形成在第二棱镜（16）中。 第一棱镜（15）和第二棱镜（16）是楔形棱镜。 从第一和第二反射面（15a，16a）反射的第一光和第二光形成干涉图案（20）。
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公开(公告)号：KR1020040079304A
公开(公告)日：2004-09-14
申请号：KR1020030014470
申请日：2003-03-07
Applicant: 학교법인연세대학교
IPC: G01B11/25
Abstract: PURPOSE: An optical element inspection apparatus is provided to precisely inspect optical characteristics of optical elements by using an interferometer employing various wavelengths. CONSTITUTION: An optical element inspection apparatus includes a plurality of light sources, a beam splitter(15) for splitting light radiated from the light sources, and first and second reflection mirrors(25,30). The light sources include first light source(3) for radiating a first color light having a first wavelength, a second light source(5) for radiating a second color light having a second wavelength, and a third light source(10) for radiating a third color light having a third wavelength. The first and second light sources(3,5) are provided as an optical module(8). The light radiated from the optical module(8) is transferred to the beam splitter(15) through a first optical path converter(12).
Abstract translation: 目的：提供一种光学元件检查装置，通过使用采用各种波长的干涉仪来精确检查光学元件的光学特性。 构成：光学元件检查装置包括多个光源，用于分离从光源照射的光的分束器（15）和第一和第二反射镜（25,30）。 光源包括用于照射具有第一波长的第一色光的第一光源（3），用于辐射具有第二波长的第二色光的第二光源（5）和用于辐射第二波长的第三光源 具有第三波长的第三色光。 第一和第二光源（3,5）被提供为光学模块（8）。 从光学模块（8）辐射的光通过第一光路转换器（12）传送到分束器（15）。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100648406B1
公开(公告)日：2006-11-24
申请号：KR1020040024446
申请日：2004-04-09
Applicant: 학교법인연세대학교
Abstract: 나노 탐침 반사를 이용한 근접장 파면 측정 간섭계가 개시되어 있다.
이 개시된 나노 탐침 반사를 이용한 근접장 파면 측정 간섭계는, 피검 물질에 광을 조사하는 광원; 상기 광원으로부터 조사된 광을 분할하는 빔스프리터; 상기 광원에서 조사된 후 상기 피검 물질을 통과한 광을 반사시키는 광학 탐침; 상기 피검 물질로부터 반사된 광과 상기 광학 탐침에서 반사된 광을 간섭시켜 간섭 무늬를 촬영하고, 위상 천이된 간섭 무늬를 촬영하는 고체촬상소자;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 구성에 의해, 본 발명에서는 반사형 광학 탐침을 구비하여 피검 물질에서 반사된 광과 광학 탐침에서 반사된 광의 간섭 무늬를 얻고, 이 간섭 무늬를 위상 천이시켜 피검 물질의 광학적 특성을 측정할 수 있다.-
公开(公告)号：KR1020050099218A
公开(公告)日：2005-10-13
申请号：KR1020040024446
申请日：2004-04-09
Applicant: 학교법인연세대학교
CPC classification number: G01N21/45 , G01B9/02007 , G01B2290/30 , G02B21/002
Abstract: 위상 천이를 이용한 광학 측정 장치가 개시되어 있다.
이 개시된 광학 측정 장치는, 피검 물질에 광을 조사하는 광원; 상기 광원으로부터 조사된 광을 분할하는 빔스프리터; 상기 광원에서 조사된 후 상기 피검 물질을 통과한 광을 반사시키는 광학 탐침; 상기 피검 물질로부터 반사된 광과 상기 광학 탐침에서 반사된 광을 간섭시켜 간섭 무늬를 촬영하고, 위상 천이된 간섭 무늬를 촬영하는 고체촬상소자;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 구성에 의해, 본 발명에서는 반사형 광학 탐침을 구비하여 피검 물질에서 반사된 광과 광학 탐침에서 반사된 광의 간섭 무늬를 얻고, 이 간섭 무늬를 위상 천이시켜 피검 물질의 광학적 특성을 측정할 수 있다.-
公开(公告)号：KR1020050099217A
公开(公告)日：2005-10-13
申请号：KR1020040024445
申请日：2004-04-09
Applicant: 학교법인연세대학교
IPC: G02B21/00
CPC classification number: G02B21/002 , G01N2021/1742 , G02B21/04 , G02B21/06
Abstract: 주사 광학 측정 장치가 개시되어 있다.
이 개시된 주사 광학 측정 장치는, 피검물질에 광을 조사하는 광원; 상기 광원으로부터 조사된 광을 분할하는 빔스프리터; 상기 광원에서 조사된 후 상기 피검물질을 통과한 광을 반사시키는 광학 탐침; 상기 피검물질로부터 나오는 광을 검출하는 광검출기;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 구성에 의해, 본 발명에서는 반사형 광학 탐침을 구비하여 피검 물질에서 반사된 광과 광학 탐침에서 반사된 광의 간섭광을 얻고, 이 간섭광을 검출하여 피검 물질의 내부 구조와 광학적 특성을 측정할 수 있다.-
公开(公告)号：KR100517296B1
公开(公告)日：2005-09-28
申请号：KR1020030014470
申请日：2003-03-07
Applicant: 학교법인연세대학교
IPC: G01B11/25
Abstract: 광부품의 특성을 정밀하게 검사할 수 있는 광부품 검사장치가 개시되어 있다.
이 개시된 광부품 검사장치는, 다수개의 광원, 광원으로부터 출사된 광을 분할하여 서로 다른 광경로로 진행되도록 하는 광분할기, 광분할기에 의해 분할된 광이 간섭을 일으켜 생긴 무늬를 촬영하는 고체촬상소자를 포함하고, 피검 부품에 대해 파장, 입사광의 입사각, 광세기, 온도 등을 변화시키면서 이 변화에 따른 광학적 특성을 검사하도록 된 것을 특징으로 한다.
상기 구성에 의해, 피검 부품에 대한 외부조건을 다양하게 변화시키면서 그 변화에 따른 특성을 정밀하게 검사할 수 있다.-
公开(公告)号：KR100484283B1
公开(公告)日：2005-04-25
申请号：KR1020020019613
申请日：2002-04-11
Applicant: 학교법인연세대학교
IPC: G01M11/00
Abstract: 층밀리기 간섭을 이용한 광부품 검사 장치가 개시되어 있다.
이 개시된 광부품 검사 장치는, 피검 부품을 통과한 광을 반사 또는 투과시키는 빔스프리터; 상기 빔스프리터에 의해 반사된 광의 광축에 수직한 면에 대해 소정 각도로 기울어진 반사면을 적어도 하나 갖는 적어도 하나의 X방향 층밀리기용 쐐기형 프리즘; 상기 빔스프리터에 의해 투과된 광의 광축에 수직한 면에 대해 소정 각도로 기울어진 반사면을 적어도 하나 갖는 적어도 하나의 Y방향 층밀리기용 쐐기형 프리즘;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 구성에 의해 측정도의 신뢰도를 향상시키고, 기구적으로 진동에 매우 강하도록 구조를 개선하여 대량의 양산부품의 평가에 적합하도록 한 것이다.
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