굴절률 분포 측정 장치 및 방법
    1.
    发明公开
    굴절률 분포 측정 장치 및 방법 无效
    评估折射指数分布的系统和方法

    公开(公告)号:KR1020050030035A

    公开(公告)日:2005-03-29

    申请号:KR1020030066349

    申请日:2003-09-24

    Abstract: An apparatus and a method for measuring distribution of a refractive index are provided to precisely and stably measure the refractive index of a workpiece regardless of the kind or size of workpieces. An apparatus for measuring distribution of a refractive index includes a light source(30) and at least one lattice. The lattice includes first and second lattices(32,34). A workpiece is aligned between the first and second lattices(32,34). The workpiece includes optical fiber, such as plastic optical fiber or a GRIN lens. The workpiece is aligned lengthwise in such a manner that beam radiated from the light source(30) is incident into a lateral portion of the workpiece. Refractive index adjustment oil(33) is inserted between the first and second lattices(32,34).

    Abstract translation: 提供了用于测量折射率分布的装置和方法,以精确且稳定地测量工件的折射率,而不管工件的种类或尺寸如何。 用于测量折射率分布的装置包括光源(30)和至少一个晶格。 格子包括第一和第二晶格(32,34)。 工件在第一和第二晶格(32,34)之间对准。 工件包括光纤,如塑料光纤或GRIN透镜。 工件沿长度方向对齐,使得从光源(30)辐射的光束入射到工件的侧面部分。 折射率调节油(33)插入在第一和第二格子(32,34)之间。

    스캔식 위상천이 3차원 형상측정 장치 및 측정 방법
    2.
    发明公开
    스캔식 위상천이 3차원 형상측정 장치 및 측정 방법 有权
    扫描型相变三维形状测量装置及其测量方法

    公开(公告)号:KR1020040001590A

    公开(公告)日:2004-01-07

    申请号:KR1020020036848

    申请日:2002-06-28

    Abstract: PURPOSE: A scan-type phase transition three-dimensional shape measuring device and a measuring method thereof are provided to measure a shape of a moving object while improving spatial resolution. CONSTITUTION: A scan-type phase transition three-dimensional shape measuring device measures a three-dimensional shape of a moving object by using an interference pattern. The scan-type phase transition three-dimensional shape measuring device includes a light source(1) and a grating(3) inclined with respect to an object to be measured. Light radiated from the light source passes through the grating. The interference pattern is formed by an image formed on the object to be measured and an image of the grating(3). The interference pattern is detected by means of an image detecting device(6). The object is moved with respect to the scan-type phase transition three-dimensional shape measuring device or the scan-type phase transition three-dimensional shape measuring device is moved with respect to the object so as to scan the object.

    Abstract translation: 目的:提供扫描型相变三维形状测量装置及其测量方法,以在提高空间分辨率的同时测量移动物体的形状。 构成:扫描型相变三维形状测量装置通过使用干涉图案来测量移动物体的三维形状。 扫描型相变三维形状测量装置包括相对于被测量物体倾斜的光源(1)和光栅(3)。 从光源照射的光穿过光栅。 干涉图案由形成在待测物体上的图像和光栅(3)的图像形成。 通过图像检测装置(6)检测干涉图案。 相对于扫描型相变三维形状测量装置移动物体,或者扫描型相变三维形状测量装置相对于物体移动以扫描物体。

    스캔식 위상천이 3차원 형상측정 장치 및 측정 방법
    3.
    发明授权
    스캔식 위상천이 3차원 형상측정 장치 및 측정 방법 有权
    相移轮廓测量系统采用扫描和测量方法

    公开(公告)号:KR100489431B1

    公开(公告)日:2005-05-12

    申请号:KR1020020036848

    申请日:2002-06-28

    Abstract: 스캔식 위상천이 3차원 형상측정 장치 및 측정 방법이 개시되어 있다.
    이 개시된 3차원 형상 측정장치는, 위상천이된 간섭 무늬를 이용하여 피검체의 3차원 형상을 측정하는 장치에 있어서, 광원; 피검체에 대해 소정 각도로 기울어지게 배치되고, 상기 광원에서 조사된 광이 통과되는 격자; 광이 격자를 통과하여 피검체에 형성된 이미지와 격자의 이미지가 합성되어 형성된 간섭무늬를 측정하는 영상감지소자;를 포함하고, 상기 피검체를 3차원 형상측정 장치에 대해 이동시키거나 3차원 형상측정 장치 전체를 피검체에 대해 이동시켜 스캐닝함으로써 위상천이된 간섭 무늬를 얻을 수 있도록 된 것을 특징으로 한다.
    본 발명은 기존의 모아레 형상측정 방법과는 다르게 스캔 방식을 이용하므로 높은 공간적 분해능을 가질 수 있을 뿐만 아니라 피검체의 크기에 무관하게 3차원 형상을 측정할 수 있는 이점이 있다.

    층밀리기 간섭을 이용한 광부품 검사 장치
    4.
    发明公开
    층밀리기 간섭을 이용한 광부품 검사 장치 失效
    通过使用剪切干扰来检查光学部件的装置

    公开(公告)号:KR1020030080803A

    公开(公告)日:2003-10-17

    申请号:KR1020020019613

    申请日:2002-04-11

    Abstract: PURPOSE: An optical part inspecting apparatus is provided to improve reliability of measuring result when inspecting optical parts by measuring property of optical parts using shear interference. CONSTITUTION: An optical part inspecting apparatus includes a beam splitter(13). The beam splitter(13) reflects a part of light passing through an optical part(10) and allows remaining paths of light to pass through. Light reflected from the beam splitter(13) is guided into first and second reflection surfaces(15a,16a) and is reflected. The first and second reflection surfaces(15a,16a) have different gradient from each other. The first reflection surface(15a) is formed in a first prism(15) and the second reflection surface(16a) is formed in a second prism(16). The first prism(15) and the second prism(16) are wedge-type prisms. First light and second light reflected from the first and second reflection surfaces(15a,16a) form an interference pattern(20).

    Abstract translation: 目的:提供光学部件检查装置,通过使用剪切干涉测量光学部件的性能来检查光学部件,提高测量结果的可靠性。 构成:光学部件检查装置包括分束器(13)。 分束器(13)反射通过光学部件(10)的一部分光,并允许剩余光线通过。 从分束器(13)反射的光被引导到第一和第二反射面(15a,16a)中并被反射。 第一和第二反射面(15a,16a)具有彼此不同的梯度。 第一反射面(15a)形成在第一棱镜(15)中,第二反射面(16a)形成在第二棱镜(16)中。 第一棱镜(15)和第二棱镜(16)是楔形棱镜。 从第一和第二反射面(15a,16a)反射的第一光和第二光形成干涉图案(20)。

    층밀리기 간섭을 이용한 광부품 검사 장치
    5.
    发明授权
    층밀리기 간섭을 이용한 광부품 검사 장치 失效
    使用剪切干涉评估光学部件的系统

    公开(公告)号:KR100484283B1

    公开(公告)日:2005-04-25

    申请号:KR1020020019613

    申请日:2002-04-11

    Abstract: 층밀리기 간섭을 이용한 광부품 검사 장치가 개시되어 있다.
    이 개시된 광부품 검사 장치는, 피검 부품을 통과한 광을 반사 또는 투과시키는 빔스프리터; 상기 빔스프리터에 의해 반사된 광의 광축에 수직한 면에 대해 소정 각도로 기울어진 반사면을 적어도 하나 갖는 적어도 하나의 X방향 층밀리기용 쐐기형 프리즘; 상기 빔스프리터에 의해 투과된 광의 광축에 수직한 면에 대해 소정 각도로 기울어진 반사면을 적어도 하나 갖는 적어도 하나의 Y방향 층밀리기용 쐐기형 프리즘;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
    상기 구성에 의해 측정도의 신뢰도를 향상시키고, 기구적으로 진동에 매우 강하도록 구조를 개선하여 대량의 양산부품의 평가에 적합하도록 한 것이다.

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