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公开(公告)号：KR100549215B1
公开(公告)日：2006-02-02
申请号：KR1020040024445
申请日：2004-04-09
Applicant: 학교법인연세대학교
IPC: G02B21/00
Abstract: 광위상 측정용 근접장 주사 광학 현미경이 개시되어 있다.
이 개시된 광위상 측정용 근접장 주사 광학 현미경은, 피검물질에 광을 조사하는 광원; 상기 광원으로부터 조사된 광을 분할하는 빔스프리터; 상기 광원에서 조사된 후 상기 피검물질을 통과한 광을 반사시키는 광학 탐침; 상기 피검물질로부터 나오는 광을 검출하는 광검출기;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 구성에 의해, 본 발명에서는 반사형 광학 탐침을 구비하여 피검 물질에서 반사된 광과 광학 탐침에서 반사된 광의 간섭광을 얻고, 이 간섭광을 검출하여 피검 물질의 내부 구조와 광위상을 측정할 수 있다.-
公开(公告)号：KR100542655B1
公开(公告)日：2006-01-11
申请号：KR1020030030359
申请日：2003-05-13
Applicant: 학교법인연세대학교
IPC: G01Q60/22
Abstract: 마이크로 채널이 결합된 나노 탐침 장치가 개시되어 있다.
이 개시된 나노 탐침 장치는, 베이스에 형성된 적어도 하나의 관통홀의 상부에 구비된 나노미터 단위의 너비를 갖는 적어도 하나의 개구; 상기 적어도 하나의 개구를 덮도록 상기 베이스 위에 결합된 광학적으로 투명한 나노미터 단위의 두께를 갖는 슬라이드; 상기 슬라이드 상부에 결합되어 내부에 시료가 포함된 유체가 흐르도록 된 마이크로 채널;을 포함하고, 상기 적어도 하나의 개구를 통해 순차적으로 또는 동시에 상기 시료의 근접장 광검출을 할 수 있도록 된 것을 특징으로 한다.
상기 마이크로 채널을 이용하여 유동적인 시료의 광학적 특성을 관측할 수 있고, 특히 생체 시료에 대한 특성을 관측할 수 있다.-
公开(公告)号：KR100542654B1
公开(公告)日：2006-01-11
申请号：KR1020030030357
申请日：2003-05-13
Applicant: 학교법인연세대학교
IPC: G01Q60/22
Abstract: 나노 슬라이드가 결합된 나노 탐침 어레이가 개시되어 있다.
이 개시된 나노 탐침 어레이는, 베이스에 형성된 복수개의 관통홀의 상부에 마련된 나노미터 너비를 갖는 복수개의 개구; 상기 복수개의 개구들을 덮도록 상기 베이스 위에 결합된 광학적으로 투명한 나노미터 단위의 두께를 갖는 제1 슬라이드;를 포함하여, 상기 각 개구들을 통해 순차적으로 또는 동시에 근접장 광검출을 할 수 있도록 된 것을 특징으로 한다.
상기 구성에 의해 제작이 용이하고 구조가 간단한 나노 탐침 어레이를 제공할 수 있고, 이 나노 탐침 어레이를 이용하여 대면적 주사가 가능하며, 이층 구조의 나노 탐침 어레이를 이용하여 분해능을 향상시킬 수 있다.-
公开(公告)号：KR100489431B1
公开(公告)日：2005-05-12
申请号：KR1020020036848
申请日：2002-06-28
Applicant: 학교법인연세대학교
IPC: G01N21/45
Abstract: 스캔식 위상천이 3차원 형상측정 장치 및 측정 방법이 개시되어 있다.
이 개시된 3차원 형상 측정장치는, 위상천이된 간섭 무늬를 이용하여 피검체의 3차원 형상을 측정하는 장치에 있어서, 광원; 피검체에 대해 소정 각도로 기울어지게 배치되고, 상기 광원에서 조사된 광이 통과되는 격자; 광이 격자를 통과하여 피검체에 형성된 이미지와 격자의 이미지가 합성되어 형성된 간섭무늬를 측정하는 영상감지소자;를 포함하고, 상기 피검체를 3차원 형상측정 장치에 대해 이동시키거나 3차원 형상측정 장치 전체를 피검체에 대해 이동시켜 스캐닝함으로써 위상천이된 간섭 무늬를 얻을 수 있도록 된 것을 특징으로 한다.
본 발명은 기존의 모아레 형상측정 방법과는 다르게 스캔 방식을 이용하므로 높은 공간적 분해능을 가질 수 있을 뿐만 아니라 피검체의 크기에 무관하게 3차원 형상을 측정할 수 있는 이점이 있다.-
公开(公告)号：KR1020040098154A
公开(公告)日：2004-11-20
申请号：KR1020030030359
申请日：2003-05-13
Applicant: 학교법인연세대학교
IPC: G01Q60/22
Abstract: PURPOSE: A micro-channel integrated nano-probe system is provided to easily measure optical characteristics of specimens having fluidities by coupling a slide and a micro-channel on openings such that specimens existent in a fluid flow through the micro-channel. CONSTITUTION: A micro-channel integrated nano-probe system comprises one or more openings(13a,15a) arranged on one or more through holes(13,15) formed at a base(10), wherein the openings have nano-meter widths; a slide coupled onto the base in such a manner that the slide covers the openings, wherein the slide is optically transparent and has a nano-meter thickness; and a micro channel(12) coupled onto the slide in such a manner that a fluid(21) containing specimens(T) flows through the micro-channel. The micro-channel integrated nano-probe system sequentially or simultaneously detects near field optical characteristics of specimens through one or more openings.
Abstract translation: 目的：提供微通道集成纳米探针系统，以通过将滑块和微通道连接在开口上，使样本存在于通过微通道的流体流中，以轻松测量具有流动性的样品的光学特性。 构成：微通道集成纳米探针系统包括布置在形成在基底（10）上的一个或多个通孔（13,15）上的一个或多个开口（13a，15a），其中开口具有纳米宽度; 以滑动件覆盖开口的方式联接到基座上的滑块，其中滑块是光学透明的并且具有纳米厚度; 以及以包含试样（T）的流体（21）流过微通道的方式联接到载玻片上的微通道（12）。 微通道集成纳米探针系统通过一个或多个开口顺序地或同时地检测样品的近场光学特性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020040098153A
公开(公告)日：2004-11-20
申请号：KR1020030030357
申请日：2003-05-13
Applicant: 학교법인연세대학교
IPC: G01Q60/22
Abstract: PURPOSE: A nano-slide integrated nano-probe array is provided to sequentially or simultaneously measure near field optical characteristics of nano-structure specimens disposed on a slide arranged to cover openings having nano-meter widths. CONSTITUTION: A nano-slide integrated nano-probe array comprises a plurality of openings(13a,15a) arranged on a plurality of through holes(13,15) formed at a base(10), wherein the openings have nano-meter widths; and a slide(17) coupled onto the base in such a manner that the slide covers the openings, wherein the slide is optically transparent and has a nano-meter thickness. The nano-probe array sequentially or simultaneously measures near field optical characteristics of specimens(T) disposed on the slide, through the openings.
Abstract translation: 目的：提供纳米滑块集成纳米探针阵列，以顺序或同时测量设置在覆盖具有纳米宽度的开口的载玻片上的纳米结构样品的近场光学特性。 构成：纳米滑片集成纳米探针阵列包括布置在形成在基底（10）上的多个通孔（13,15）上的多个开口（13a，15a），其中开口具有纳米宽度; 以及以滑动件覆盖开口的方式联接到基座上的滑块（17），其中滑块是光学透明的并且具有纳米厚度。 纳米探针阵列依次或同时测量通过开口设置在载玻片上的试样（T）的近场光学特性。
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公开(公告)号：KR1020030080803A
公开(公告)日：2003-10-17
申请号：KR1020020019613
申请日：2002-04-11
Applicant: 학교법인연세대학교
IPC: G01M11/00
Abstract: PURPOSE: An optical part inspecting apparatus is provided to improve reliability of measuring result when inspecting optical parts by measuring property of optical parts using shear interference. CONSTITUTION: An optical part inspecting apparatus includes a beam splitter(13). The beam splitter(13) reflects a part of light passing through an optical part(10) and allows remaining paths of light to pass through. Light reflected from the beam splitter(13) is guided into first and second reflection surfaces(15a,16a) and is reflected. The first and second reflection surfaces(15a,16a) have different gradient from each other. The first reflection surface(15a) is formed in a first prism(15) and the second reflection surface(16a) is formed in a second prism(16). The first prism(15) and the second prism(16) are wedge-type prisms. First light and second light reflected from the first and second reflection surfaces(15a,16a) form an interference pattern(20).
Abstract translation: 目的：提供光学部件检查装置，通过使用剪切干涉测量光学部件的性能来检查光学部件，提高测量结果的可靠性。 构成：光学部件检查装置包括分束器（13）。 分束器（13）反射通过光学部件（10）的一部分光，并允许剩余光线通过。 从分束器（13）反射的光被引导到第一和第二反射面（15a，16a）中并被反射。 第一和第二反射面（15a，16a）具有彼此不同的梯度。 第一反射面（15a）形成在第一棱镜（15）中，第二反射面（16a）形成在第二棱镜（16）中。 第一棱镜（15）和第二棱镜（16）是楔形棱镜。 从第一和第二反射面（15a，16a）反射的第一光和第二光形成干涉图案（20）。
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公开(公告)号：KR100648406B1
公开(公告)日：2006-11-24
申请号：KR1020040024446
申请日：2004-04-09
Applicant: 학교법인연세대학교
Abstract: 나노 탐침 반사를 이용한 근접장 파면 측정 간섭계가 개시되어 있다.
이 개시된 나노 탐침 반사를 이용한 근접장 파면 측정 간섭계는, 피검 물질에 광을 조사하는 광원; 상기 광원으로부터 조사된 광을 분할하는 빔스프리터; 상기 광원에서 조사된 후 상기 피검 물질을 통과한 광을 반사시키는 광학 탐침; 상기 피검 물질로부터 반사된 광과 상기 광학 탐침에서 반사된 광을 간섭시켜 간섭 무늬를 촬영하고, 위상 천이된 간섭 무늬를 촬영하는 고체촬상소자;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 구성에 의해, 본 발명에서는 반사형 광학 탐침을 구비하여 피검 물질에서 반사된 광과 광학 탐침에서 반사된 광의 간섭 무늬를 얻고, 이 간섭 무늬를 위상 천이시켜 피검 물질의 광학적 특성을 측정할 수 있다.-
公开(公告)号：KR1020050099218A
公开(公告)日：2005-10-13
申请号：KR1020040024446
申请日：2004-04-09
Applicant: 학교법인연세대학교
CPC classification number: G01N21/45 , G01B9/02007 , G01B2290/30 , G02B21/002
Abstract: 위상 천이를 이용한 광학 측정 장치가 개시되어 있다.
이 개시된 광학 측정 장치는, 피검 물질에 광을 조사하는 광원; 상기 광원으로부터 조사된 광을 분할하는 빔스프리터; 상기 광원에서 조사된 후 상기 피검 물질을 통과한 광을 반사시키는 광학 탐침; 상기 피검 물질로부터 반사된 광과 상기 광학 탐침에서 반사된 광을 간섭시켜 간섭 무늬를 촬영하고, 위상 천이된 간섭 무늬를 촬영하는 고체촬상소자;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 구성에 의해, 본 발명에서는 반사형 광학 탐침을 구비하여 피검 물질에서 반사된 광과 광학 탐침에서 반사된 광의 간섭 무늬를 얻고, 이 간섭 무늬를 위상 천이시켜 피검 물질의 광학적 특성을 측정할 수 있다.-
公开(公告)号：KR1020050099217A
公开(公告)日：2005-10-13
申请号：KR1020040024445
申请日：2004-04-09
Applicant: 학교법인연세대학교
IPC: G02B21/00
CPC classification number: G02B21/002 , G01N2021/1742 , G02B21/04 , G02B21/06
Abstract: 주사 광학 측정 장치가 개시되어 있다.
이 개시된 주사 광학 측정 장치는, 피검물질에 광을 조사하는 광원; 상기 광원으로부터 조사된 광을 분할하는 빔스프리터; 상기 광원에서 조사된 후 상기 피검물질을 통과한 광을 반사시키는 광학 탐침; 상기 피검물질로부터 나오는 광을 검출하는 광검출기;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 구성에 의해, 본 발명에서는 반사형 광학 탐침을 구비하여 피검 물질에서 반사된 광과 광학 탐침에서 반사된 광의 간섭광을 얻고, 이 간섭광을 검출하여 피검 물질의 내부 구조와 광학적 특성을 측정할 수 있다.
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