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公开(公告)号:KR20210033814A
公开(公告)日:2021-03-29
申请号:KR1020190115587A
申请日:2019-09-19
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: C23C16/455 , C23C14/08 , C23C14/52 , C23C16/40 , G01N30/74
CPC classification number: C23C16/45544 , C23C14/08 , C23C14/52 , C23C16/40 , G01N2030/743
Abstract: 본 개시는, 박막을 형성하기 위한 내부 공간을 제공하는 반응 챔버를 포함하며, 반응 챔버와 연결되도록 개구부가 박막 증착장치에 형성되고, 개구부는 광이 투과가능한 윈도우(window)에 의해 폐쇄되는, 박막 증착장치를 개시한다.
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公开(公告)号:WO2021235585A1
公开(公告)日:2021-11-25
申请号:PCT/KR2020/006891
申请日:2020-05-28
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본 발명은 투명한 발광형 태양 집광 장치(Luminescent Solar Concentrator; LSC)에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 발광형 태양 집광 장치는 형광체가 균일하게 도핑된 고분자 수지 패널을 구비하는 것을 특징으로 한다. 이에 따르면 형광체를 물리적으로 혼합하거나 패널 전면에 코팅하여 제작된 기존의 LSC에 비해 투과율 및 광학 헤이즈를 크게 개선할 수 있다. 또한, 고분자 수지 패널에 매립되는 태양전지의 배치 구조를 통해 발광형 태양 집광 장치의 광 수집 효율을 크게 향상시킬 수 있다. 실시예에 따른 고분자 수지 패널은 용도에 따라 유연하게 또는 단단하게 제작될 수 있으므로 건물 창호, 자동차 유리, 온실 지붕 등 곡률이 있는 구조물에 폭넓게 적용될 수 있다.
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公开(公告)号:WO2022045532A1
公开(公告)日:2022-03-03
申请号:PCT/KR2021/006820
申请日:2021-06-01
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본 발명은 800 ± 20 nm, 980 ± 20 nm, 1532 ± 20 nm 파장을 가지는 근적외선에 의해 여기되어 청색, 녹색, 적색 발광 및 이들의 조합으로 이루어진 색을 발광할 수 있는 코어/다중쉘 구조의 정방정계 상향변환 나노형광체를 제공한다.
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公开(公告)号:WO2019208916A1
公开(公告)日:2019-10-31
申请号:PCT/KR2019/001411
申请日:2019-02-01
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/3105 , H01L21/304 , H01L21/3065 , H01L21/311 , H01L21/67
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 특정 파장의 광원을 이용하여 대상물의 표면을 평탄화하는 방법은, 메인 챔버 내부에 평탄화하고자 하는 대상물을 제공하는 단계; 상기 메인 챔버 내부에 식각용 가스를 주입하는 단계; 상기 특정 파장의 광원을 상기 대상물의 표면에 입사하는 단계; 및 상기 대상물의 온도를 제어하는 단계를 포함한다. 상기 방법에 의하면 종래의 CMP 공정에 의한 평탄화에서 발생하는 시료의 스크래치 또는 오염 등의 부작용을 최소화할 수 있고 공정 난이도가 낮아 평탄화 공정에 소요되는 비용 및 시간을 줄일 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에 따르면 나노미터(nm) 단위의 정교한 평탄화가 가능하며, 대면적의 표면뿐만 아니라 소자 측면의 평탄화도 동시에 수행 가능하므로, 평탄화 공정에 소요되는 비용 및 시간을 줄일 수 있다. 또한, 표면 거칠기를 개선하고 전기 전도도를 향상시킴으로써 LED 소자의 효율 증대 및 고출력화가 가능하다.
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公开(公告)号:KR102013787B1
公开(公告)日:2019-08-23
申请号:KR1020170071494
申请日:2017-06-08
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/321 , H01L21/3105 , H01L21/02 , H01L21/3065
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公开(公告)号:KR102049806B1
公开(公告)日:2020-01-22
申请号:KR1020180047899
申请日:2018-04-25
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/3105 , H01L21/304 , H01L21/3065 , H01L21/311 , H01L21/67
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