자기임피던스 센서와 이의 제조방법
    3.
    发明授权
    자기임피던스 센서와 이의 제조방법 有权
    磁阻电阻传感器及其制造方法

    公开(公告)号:KR100968143B1

    公开(公告)日:2010-07-06

    申请号:KR1020080003644

    申请日:2008-01-11

    Abstract: 본 발명은 자기임피던스 센서와 이의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 구체적으로, 전기도금법에 의해 제조된 신자성 합금박막을 이용하여 제조된 자기임피던스 센서와 이의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 제1실시예에 따르는 자기임피던스 센서의 제조방법은, 전기도금법을 이용하여 기판 상에 결정질 연자성 합금박막을 형성하는 단계; 결정질 연자성 합금박막을 패터닝하여 결정질 자성 와이어 패턴을 형성하는 단계; 스퍼터링 방법을 이용하여 결정질 자성 와이어 패턴의 양단에 연결되는 제1 및 제2입력전극과, 제1입력전극과 제2입력전극 사이에서 결정질 자성 와이어 패턴에 연결되는 제1 및 제2출력전극을 형성하는 단계; 및 결정질 자성 와이어 패턴에 대하여 일정한 각도로 기울어져 결정질 자성 와이어 패턴에 인접하여 배치되도록 영구자석을 설치하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 자기임피던스 센서의 두께, 폭, 길이의 조절이 용이하고(자기임피던스 센서의 형상을 자유롭게 조절할 수 있고), 이에 따라 자기임피던스 특성을 조절할 수 있다. 또한, 자기임피던스 센서의 제조가 용이하고, 대량생산이 가능해진다.

    자기임피던스 센서와 이의 제조방법
    5.
    发明公开
    자기임피던스 센서와 이의 제조방법 有权
    磁阻电阻传感器及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020090077607A

    公开(公告)日:2009-07-15

    申请号:KR1020080003644

    申请日:2008-01-11

    Abstract: A magnetic impedance sensor and a manufacturing method thereof are provided to obtain a magnetic impedance sensor at low cost by using an electroplating method. A magnetic impedance sensor includes a crystalline magnetic wire pattern(20), first and second input electrodes(30a,30b), first and second output electrodes(40a,40b) and a permanent magnet(50). The first and second input electrodes are connected to opposite sides of the crystalline magnetic wire pattern. The first and second output electrodes are connected to the crystalline magnetic wire pattern between the first input electrode and the second input electrode. The permanent magnet is formed so as to be inclined to the crystalline magnetic wire pattern at a constant angle. The permanent magnet is arranged to be adjacent to the crystalline magnetic wire pattern.

    Abstract translation: 提供一种磁阻抗传感器及其制造方法,通过使用电镀法以低成本获得磁阻抗传感器。 磁阻抗传感器包括晶体磁线图案(20),第一和第二输入电极(30a,30b),第一和第二输出电极(40a,40b)和永磁体(50)。 第一和第二输入电极连接到晶体磁线图案的相对侧。 第一和第二输出电极连接到第一输入电极和第二输入电极之间的结晶磁线图形。 永磁体形成为以恒定的角度倾斜于结晶磁线图案。 永久磁铁布置成与结晶磁线图案相邻。

    전기도금된 고특성 CoFeNi연자성합금 박막 및 그 제조방법
    6.
    发明公开
    전기도금된 고특성 CoFeNi연자성합금 박막 및 그 제조방법 失效
    具有非常低的密度的电沉积COFENI软磁合金及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020060098049A

    公开(公告)日:2006-09-18

    申请号:KR1020050019260

    申请日:2005-03-08

    CPC classification number: C25D3/56 C22C19/03 C25D5/18

    Abstract: 본 발명은 0.03 ~ 0.2 M의 황산코발트 (CoSO
    4 · 7H
    2 O), 0.5 ~ 1.1 M의 황산니켈 (NiSO
    4 · 6H
    2 O), 0.025 ~ 0.18 M의 황산철 (FeSO
    4 · 7H
    2 O), 0.15 ~ 0.5 M의 붕산 (H
    3 BO
    3 ), 0.02 ~ 0.1 M의 염화암모늄 (NH
    4 Cl), 0.002 M의 라우릴 황산나트륨 (C
    12 H
    25 NaO
    4 S)을 포함하여 구성되는 도금용액을 준비하고, 상기 도금용액을 사용하여 상온에서 전기도금에 의하여 CoFeNi 자성합금 박막을 제조하는 것을 포함하여 구성되는 특정 조성의 CoFeNi 자성합금 박막 및 그 제조방법을 제공한다. 상기 방법에 의하여 제조되는 CoFeNi 자성합금 박막은 Co
    31-35 Fe
    27-30 Ni
    36-41 의 조성을 가지고 있으며, 6×10
    -3 ~ 1 Oe 범위의 보자력과 1.9 ~ 2.3 T 범위의 포화자화 값을 갖는 등 매우 우수한 연자성 특성을 나타내었다.
    CoFeNi, 연자성 합금, 전기도금, 보자력

    전기도금된 고특성 CoFeNi연자성합금 박막 및 그 제조방법
    8.
    发明授权
    전기도금된 고특성 CoFeNi연자성합금 박막 및 그 제조방법 失效
    电沉积的CoFeNi软磁合金具有非常低的使用寿命及其制造方法

    公开(公告)号:KR100640221B1

    公开(公告)日:2006-10-31

    申请号:KR1020050019260

    申请日:2005-03-08

    Abstract: 본 발명은 0.03 ~ 0.2 M의 황산코발트 (CoSO
    4 · 7H
    2 O), 0.5 ~ 1.1 M의 황산니켈 (NiSO
    4 · 6H
    2 O), 0.025 ~ 0.18 M의 황산철 (FeSO
    4 · 7H
    2 O), 0.15 ~ 0.5 M의 붕산 (H
    3 BO
    3 ), 0.02 ~ 0.1 M의 염화암모늄 (NH
    4 Cl), 0.002 M의 라우릴 황산나트륨 (C
    12 H
    25 NaO
    4 S)을 포함하여 구성되는 도금용액을 준비하고, 상기 도금용액을 사용하여 상온에서 전기도금에 의하여 CoFeNi 자성합금 박막을 제조하는 것을 포함하여 구성되는 특정 조성의 CoFeNi 자성합금 박막 및 그 제조방법을 제공한다. 상기 방법에 의하여 제조되는 CoFeNi 자성합금 박막은 Co
    31-35 Fe
    27-30 Ni
    36-41 의 조성을 가지고 있으며, 6×10
    -3 ~ 1 Oe 범위의 보자력과 1.9 ~ 2.3 T 범위의 포화자화 값을 갖는 등 매우 우수한 연자성 특성을 나타내었다.
    CoFeNi, 연자성 합금, 전기도금, 보자력

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