公开(公告)号：KR101480817B1

公开(公告)日：2015-01-13

申请号：KR1020130113046

申请日：2013-09-24

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 김명종 ,  박성찬 ,  조현진 ,  배수강 ,  박진형 ,  강정호 ,  강상욱 ,  이창협

IPC: C01B21/064 ,  B01J23/755

CPC classification number: C23C16/342 ,  C23C14/34 ,  C23C18/1204 ,  C23C18/1233 ,  C23C18/1241 ,  C23C18/1245 ,  C23C18/1275 ,  C23C18/1283 ,  C23C18/14

Abstract: 본 발명은 보라진 다량체를 용매에 녹여 질화 붕소 전구체 용액을 제조하고, 이를 금속촉매층의 상층 또는 하층에 코팅한 후 어닐링 하여 고품질의 고결정성 육방 질화 붕소막을 손쉽게 합성할 수 있게 하는, 보라진 다량체를 전구체로 활용하여 금속촉매 효과로 성장된 고품질의 질화 붕소막 및 그 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에서는 종래의 CVD 방법에서 문제되던 기체 전구체 제어 및 증기압 제어 등의 문제점을 해결하여 적은 비용으로 간단하게 고품질의 육방 질화 붕소막을 합성할 수 있게 되었으며 또한, 다양한 구조 및 재료에 육방 질화 붕소막을 코팅 할 수 있고, 원하는 면적에 선택적 코팅이 가능하며, 대면적화가 용이하여 복합 재료 및 다양한 재료의 코팅 응용에 용이하다.

Abstract translation: 本发明涉及通过使用环硼氮烷聚合物作为前体通过金属催化剂效应生长的高质量氮化硼膜，其能够通过以下方式制造氮化硼前体溶液来容易地合成高质量的高结晶六方氮化硼膜： 溶剂，并且在涂覆金属催化剂层的上层或下层之后进行退火，以及其制造方法。 本发明能够通过解决诸如现有CVD方法的问题的诸如气体前体控制，蒸汽压力控制等问题，能够以低成本方便地合成高质量六方氮化硼膜，能够涂覆各种结构和 具有六方氮化硼膜的材料能够选择性地涂覆所需区域，并且通过容易地大规模地方便地应用于复合材料和各种材料的涂层。