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公开(公告)号：KR101731498B1
公开(公告)日：2017-04-28
申请号：KR1020150127024
申请日：2015-09-08
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본발명에의한표면검사장치는, 검사대상에대해미분간섭현미경검사또는광학현미경검사를수행하는현미경유닛, 상기현미경유닛에서제공된미분간섭현미경검사결과와광학현미경검사결과를비교분석하여검사대상에대한불순물종류를확인하는제어유닛및, 상기현미경유닛의편광기와프리즘을이동시키는이동유닛을포함하되, 상기제어유닛은상기현미경유닛의미분간섭현미경검사결과불순물이확인되면, 상기현미경유닛의편광기와프리즘을광경로상에서벗어나게이동시켜상기현미경유닛이광학현미경검사를수행하도록한다.
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公开(公告)号：KR1020170029884A
公开(公告)日：2017-03-16
申请号：KR1020150127024
申请日：2015-09-08
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본발명에의한표면검사장치는, 검사대상에대해미분간섭현미경검사또는광학현미경검사를수행하는현미경유닛, 상기현미경유닛에서제공된미분간섭현미경검사결과와광학현미경검사결과를비교분석하여검사대상에대한불순물종류를확인하는제어유닛및, 상기현미경유닛의편광기와프리즘을이동시키는이동유닛을포함하되, 상기제어유닛은상기현미경유닛의미분간섭현미경검사결과불순물이확인되면, 상기현미경유닛의편광기와프리즘을광경로상에서벗어나게이동시켜상기현미경유닛이광학현미경검사를수행하도록한다.
Abstract translation: 根据本发明的表面检查装置，用于微分干涉显微镜或光学显微镜，显微镜单元，微分干涉显微镜测试结果与在显微镜单元，用于执行所述测试对象上设置的光显微镜检查结果的检查对象的比较分析 包括移动单元，用于在控制单元与所述偏振器与所述显微镜单元的棱镜，以确定杂质类型时，所述控制单元被看作微分干涉显微镜测试结果的显微镜单元，偏振器，和棱镜的杂质在显微镜单元 以便显微镜单元执行光学显微镜检查。
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