公开(公告)号：KR101852071B1

公开(公告)日：2018-04-26

申请号：KR1020160181122

申请日：2016-12-28

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 서민아 ,  이상훈 ,  우덕하 ,  김재헌 ,  이택진 ,  최재빈 ,  김철기 ,  손주혁 ,  전영민

IPC: G01J3/433 ,  G01J3/02 ,  G01J3/12 ,  G02B1/00

CPC classification number: G02B1/002 ,  G02B5/20 ,  G02B27/28 ,  H01Q15/0086 ,  G01J3/433 ,  G01J3/027 ,  G01J3/12 ,  G01J2003/1252

Abstract: 본발명은전자기파필터를위한메타물질로서, 기판; 및상기기판상에배치되는필름을포함하되, 상기필름은, 상기필름에입사하는전자기파의편광에따른투과율이제어되도록, 회전대칭적인패턴을형성하도록배열된슬롯들의집합이음각패터닝되거나또는회전대칭적인패턴을형성하도록배열된구조물들의집합이양각패터닝되는것을특징으로한다.

公开(公告)号：KR101721976B1

公开(公告)日：2017-03-31

申请号：KR1020150143882

申请日：2015-10-15

Applicant: 서울시립대학교 산학협력단 ,  한국과학기술연구원

Inventor： 손주혁 ,  이동규 ,  서민아

IPC: G01N21/3581 ,  F25B21/02 ,  H01L23/38

Abstract: 본발명은샘플과접촉하여테라헤르츠전자기파의선택적민감도를높일수 있고, 샘플과의접촉여부를용이하게확인할수 있어서샘플에대한보다정확한측정을가능하게하고, 샘플에대한국소적냉각을통하여검출민감도를높일수 있고테라헤르츠전자기파의반사를이용하여측정하므로장치크기를최소화할수 있고샘플의크기의제한을최소화하는테라헤르츠검출장치에관한것이다.본발명에따르면테라헤르츠전자기파를출력하는테라헤르츠출력부; 샘플이배치되고, 상기테라헤르츠전자기파를상기샘플로진행시키고상기샘플로부터반사되는테라헤르츠전자기파를진행시키는샘플접촉구조체; 및상기샘플로부터상기샘플접촉구조체를통하여반사된테라헤르츠전자기파를검출하는테라헤르츠검출부;를포함하되, 상기샘플접촉구조체는, 기판; 상기기판상에부착되고, 테라헤르츠전자기파가민감하게반응하도록그 폭과길이및 깊이가결정된개구를포함하는민감도강화층; 및상기기판의전면또는후면에배치되고상기민감도강화층과샘플의접촉여부를감지하는접촉감지부를포함하는것이고, 상기테라헤르츠출력부로부터출력된상기테라헤르츠전자기파는상기기판및 상기개구를통하여상기샘플로진행하고, 상기샘플로부터반사되는상기테라헤르츠전자기파는상기개구및 상기기판을통하여상기테라헤르츠검출부로진행하는것인테라헤르츠검출장치가제공된다.

Abstract translation: 本发明是在与样品nopilsu太赫兹电磁波的选择性灵敏度接触，可以容易地确定样本是否接触，并启用精确测量比对样品，通过样品的局部冷却的检测灵敏度 。nopilsu和太赫兹测量，所以最小化通过使用电磁波的反射装置的尺寸，并涉及一种太赫兹检测器，用于最小化样品的太赫兹输出单元的大小的限制，用于输出在根据本发明的太赫兹电磁波; 其中放置样本的样本接触结构，样本接触结构将太赫电磁波推进到样本并且推进来自样本的反射太赫兹电磁波; 以及太赫兹检测器，用于检测从所述样本反射穿过所述样本接触结构的太赫兹电磁波，所述样本接触结构包括：衬底; 一个附着在基片上的灵敏度增强层，该灵敏度增强层包括一个其宽度，长度和深度被确定为使得太赫兹电磁波敏感地起反应的孔; 并通过前或放置在背面，并且是包括触摸感测以检测接触是否在灵敏度增强层和所述样品，其中所述太赫兹电磁波是所述基板和所述开口是从所述基板的所述太赫兹输出输出在其上 并且从样本反射的太赫兹电磁波穿过开口和衬底到达太赫兹检测部分。