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公开(公告)号：KR102163154B1
公开(公告)日：2020-10-12
申请号：KR1020180094963
申请日：2018-08-14
Applicant: 한국과학기술연구원
Inventor： 김명종 , 서태훈 , 안석훈 , 장세규 , 이헌수 , 김수민 , 손동익 , 김승민 , 여동규 , 김희수 , 이상현
IPC: C23C16/36 , C23C16/02 , C23C16/448 , C23C16/56 , H01L33/02
