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公开(公告)号:KR1019960030748A
公开(公告)日:1996-08-17
申请号:KR1019950001030
申请日:1995-01-21
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H05B33/14
Abstract: 본 발명은 백색발광용 전계발광소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 유리기판 상에 ITO 투명전극을 형성하는 공정과, RF 반응성 스퍼터링 장치를 이용한 스퍼터링법으로 상기 투명전극에 하부절연층을 형성하는 공정과, 상기 하부절연층 상에 발광층을 형성하는 공정과, 상기 발광층 상에 상기 하부절연층과 동일한 스퍼터링법으로 상부절연층을 형성하는 공정과, 상기 상부절연층 상에 발광소자 동작특성의 열화현상을 방지하는 완충층을 형성하는 공정과, 상기 환충층 상에 열중착법으로 알루미늄 전극을 퉁착하는 공정을 통하여 회토류 원소인 Pr을 발광중심으로 한 EL 소자를 제공함으로써 빛의 삼원색인 적,청,녹색 파장의 발광스펙트럼을 모두 갖는 백색형광박막이 적충되어 형성된 우수한 색순도를 갖는 백색 발광 EL 평판 표시소자를 구현하도록 것이다.
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公开(公告)号:KR100165867B1
公开(公告)日:1999-04-15
申请号:KR1019950001030
申请日:1995-01-21
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H05B33/14
CPC classification number: C09K11/7705 , H05B33/12 , H05B33/14 , H05B33/22 , Y02B20/181
Abstract: 본 발명은 백색발광용 전계발광소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 유리기판 상에 ITO 투명전극을 형성하는 공정과, RF 반응성 스퍼터링 장치를 이용한 스퍼터링법으로 상기 투명전극에 하부절연층을 형성하는 공정과, 상기 하부절연층 상에 발광층을 형성하는 공정과, 상기 발광층 상에 상기 하부절연층과 동일한 스퍼터링법으로 상부절연층을 형성하는 공정과, 상기 상부절연층 상에 발광소자 동작특성의 열화현상을 방지하는 완충층을 형성하는 공정과, 상기 완충층 상에 열증착법으로 알루미늄 전극을 증착하는 공정을 통하여 희토류 원소인 Pr을 발광중심으로 한 EL 소자를 제공함으로써 빛의 삼원색인 적, 청, 녹색파장의 발광스펙트럼을 모두 갖는 백색 형광박막이 적층되어 형성된 우수한 색순도를 갖는 백색 발광 EL 평판 표시소자를 구현하도록 한 것이다.
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