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公开(公告)号：KR1019990024486A
公开(公告)日：1999-04-06
申请号：KR1019970045606
申请日：1997-09-03
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/20
Abstract: 본 발명은 박막 제조용 진공 장비의 기판 가열 장치에 관한 것으로, 가열기와의 간섭을 일으키지 않고 기판이 부착되는 기판 부착용 회전판을 회전시키는 것에 의하여 회전과 가열을 동시에 수행함으로써 온도의 분포가 균일하게 됨과 아울러 산소가 존재하는 분위기에서도 고온 가열이 가능하므로 양질의 균일한 대면적 박막을 제조할 수 있으며, 가열기를 관통하는 회전축에 기판 부착용 회전판을 고정나사에 의하여 탈부착 가능하게 설치하였으므로 기판을 진공챔버내에서 탈부착하지 않고 기판 부착용 회전판을 분리하여 진공 챔버의 외부에서 기판을 탈부착하는 것에 의해 기판의 탈부착을 간편, 용이하게 수행할 수 있게 되고, 진공 챔버에 고정되는 가열기에 관통 지지되는 회전축에 기판 부착용 회전판을 고정한 것으로서 기판을 수평 상태뿐만 아니라 수직 상태로도 설치하여 사용할 수 있게 되는 것이다.
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公开(公告)号：KR1019970047994A
公开(公告)日：1997-07-29
申请号：KR1019950049978
申请日：1995-12-14
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01L7/00
Abstract: 본 발명은 박막제조용 진공장치의 산소분압 측정 방법 및 장치에 관한 것으로, 일반적인 산소분압 측정방법은 종래 진공장치가 진공챔버(1) 내부의 각 위치마다 산소분압이 균일하지 않아 종래의 측정되는 산소분압은 진공장치 내부의 평균적인 산소분압일 뿐이고, 박막이 증착되는 가열판(8) 상측에 대한 실제의 산소분압과는 오차가 발생되는 문제가 있었다. 따라서 산소분압에 따라 전기저항이 변화되는 비화학양론적인 반도체 산화물에 열전대와 전기저항 측정용 전선을 부착한 소자를 기판이부착되는 가열판에 부착하여 가열판 주변의 부분적인 산소 분압을 측정하도록 한 본 발명에 의한 박막제조용 진공장치의 산소분압 측정 방법 및 소자(10)와, 소자(10)의 온도를 측정하는 열전대(11)와, 소자(10)의 전기저항을 측정하는 전선(12)과, 전공챔버(1)의 진공을 유지함과 아울러 소자(10)의 온도와 저항에서 발생되는 전기신호를 진공챔버(1)의 외부로 인출하는 피드 쓰루(feed through)(13)와, 상기 피드 쓰루(13)를 통해서 출력되는 전기신호 중 소자의 온도를 읽어주는 온도지시기(14) 및 소자의 저항을 읽어주는 멀티 미터(15)로 구성되는 산소분압 측정 장치가 제공됨으로써 가열판 주위의 산소분압을 정확하게 측정할 있게 되는 것이다.
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公开(公告)号：KR1019960030747A
公开(公告)日：1996-08-17
申请号：KR1019950000923
申请日：1995-01-20
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H05B33/14
Abstract: 본 발명은 백색발광용 전계발광표시소자(electroluminescent display)에 관한 것으로, 유리기판 상에 ITO투명전극을 형성하는 공정과;RF 반응성 스퍼티링 장치를 이용하여 상기투명전극 상에 다층으로 이루어진 제1절연층(예컨대,Si
3 N
4 와BaTiO
3 가 순차적으로 적충된 2층 구조)을 형성하는 공정과; 상기 제1절연층 상에 발광층(예컨대, ZnS모체에 Pr과Mn 이원중심을 첨가한 ZnS :Pr, Mn 재질의 발광층)을 형성하는 공정과; 상기 방광층의 박막 결정성 향상 및 발광중심은 Pr과 Mn의 효과적인 확산을 위하여 상기 패턴이 형성된 기판 전면을 진공열처리하는 공정과; 상기 발광층 상에 제2절연층(예컨대, 단일층의 Si
3 N
4 /BaTiO)을 형성하는 공정과; 상기 제2절연층 상에 반응성 스퍼터링법으로 SiO
X N
Y 절연막을 적충하여 보호층을 형성하는 공정 및; 상기 보호층 상에 열중착법으로 알루미늄을 중착한 후 리프트-오프 공정으로 패터닝하여 서로 소정간격 이격되도록 알루미늄 전극을 형성하는 공정을 거쳐 소자제조를 완료하므로써, 1) 종레 Pr단일중심만을 사용하여 전게발광소자를 제조하였을 경우 발생되었던 녹색이 강한 백색을 띠는 현상을 제거할 수 있게 되어 가시광 전 영역에서 고른 발광을 얻을 수 있으며, 2)다색발광용 전계발광소자를 제조하려는 경우에 있어서도 발광중심으로 첨가한 Pr과Mn 농도만을 가변시킴으로써 원하는 스펙트럼을 얻을 수 있게 되어 고신뢰성의 백색발공용 전계발광소자를 구현할 수 있게 된다.-
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公开(公告)号：KR100206274B1
公开(公告)日：1999-07-01
申请号：KR1019950012956
申请日：1995-05-24
Applicant: 오리온전기 주식회사 , 한국과학기술연구원
IPC: H01J29/02
Abstract: 균일하게 광전도막을 대전 및 노광시킬 수 있는 음극선관의 전자사진식 스크린 제조방법과 이에 사용되는 광전도막 대전장치를 제공한다. 광전도막의 대전공정이 : (1) 투명전도막의 1차막과 투명절연막의 2차막으로 된 투명한 충전전극을 준비하여 그 투명절연막을 상기 판넬의 광전도막에 접촉시키는 단계; (2) 그 접촉된 상태에서 그 충전전극의 전도막과 판넬의 전도막에 직류전원을 인가하여 충전시키는 단계; (3) 그 직류전원이 인가된 상태에서 투명한 충전전극을 통과하여 광전도막의 전면적에 광선을 조사하므로써 광전도막으로 판넬의 전도막의 충전된 전하를 이동시키는 단계; 그리고 (4) 그 광전도막으로 전하가 이동된 후 전원과 광원을 차단시키고 충전전극을 분리시키는 단계를 포함한다. 또한, 대전장치는, 판넬의 광전도막에 전면적에 걸쳐 잡 접촉하도록 투명전도막의 1차막과 투명절연막의 2차막이 형성된 투명충전전극판; 그 충전전극판이 고정되고 그 충전전극판의 전도막과 절연막 및 상기 광전도막에 빛을 가하기 위한 개구가 형성된 충전전극판홀더; 상기 충전전극판홀더의 개구를 통하여 상기 광전도막에 빛을 가하기 위한 광원; 상기 광전도막과 절연막과의 접촉위치와 분리위치사이에서 상기 판넬과 충전전극판의 어느 하나를 이동시키도록 그 판넬홀더와 충전전극판홀더의 어느 하나의 이동수단; 그리고 상기 판넬의 전도막과 충전전극판의 전도막에 직류전위를 인가하기 위한 직류전원을 구비한다. 방전장치 없이 충전전극에 의하여 균일하게 광전도막을 대전시킬 수 있어 형광체 도포두께 및 크기, 형상 등을 균일하게 할 수 있을 뿐만 아니라, 노광공정까지도 동시에 실시할 수 있는 효과가 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100202866B1
公开(公告)日：1999-06-15
申请号：KR1019950012958
申请日：1995-05-24
Applicant: 오리온전기 주식회사 , 한국과학기술연구원
IPC: H01J9/233
Abstract: 형광막을 균일하게 형성하기 위해 광전도막에 균일하게 대전하여 스크린을 제조하는 방법이 제공된다. (1) 상기 판넬내면에 휘발성전도막을 형성시키는 1차코팅 단계; (2)그 전도막위에 전기적 절연을 위한 절연막을 형성시키는 2차코팅 단계; (3) 그 절연막위에 제1파장역의 광선에 감응하는 물질을 함유하는 휘발성의 제1광전도막을 형성시키는 3차코팅단계; (4) 그 제1광전도막위에 제2파장역의 광선에 감응하는 물질을 함유하는 휘발성의 제2광전도막을 형성시키는 4차코팅 단계; (5) 그 제2광전도막에 -직류전극을 인가하고 상기 전도막에 +직류전극을 인가하면서 그 제2광전도막에 제2파장역의 광선을 전면에 걸쳐 노광하므로서 균일한 정전하를 그 제2광전도막에 대전시키는 대전단계; (6) 그 제2광전도막의 정전하를 선택적으로 제1광전도막에 이동시키도록 제1파장역의 광선으로 새도우마스크를 통과시켜 노광하는 노광단계; 그리고 (7) 상기 노광단계(6)에서 정전하가 선택적으로 이동된 제1광전도막의 노광부분과 그 나머지 비노광부분중 어느 하나의 영역에 대전된 미세분말을 부착시키는 현상단계를 포함한다. 이에 따라, 코로나방전장치와 같은 방전장치가 필요없을 뿐만 아니라 복잡한 방전조건을 조절할 필요없이 대전을 균일하게 할 수 있고, 공정도 단순화되며, 형광체 도포두께 및 크기, 형상등을 균일하게 할 수 있는 효과가 있다.
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公开(公告)号：KR1019970072511A
公开(公告)日：1997-11-07
申请号：KR1019960012209
申请日：1996-04-22
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L33/00
Abstract: 본 발명에 의한 백색 발광용 전계발광표시(electroluminescent display: ELD)소자 및 그 제조방법은, ITO 재질의 투명전극이 형성된 기판 상에, 다층 적층 구조의 제1절연막을 형성하는 공정과; 상기 제1절연막 상의 소정 부분에 ZnS: Pr,Ce,F 재료로 이루어진 발광박막을 형성하는 공정과; 상기 제1절연막과 발광박막을 포함한 투명전극 상의 소정 부분에 제2절연막을 형성하는 공정 및; 상기 제2절연막 상에 서로 소정간격 이격되도록 알루미늄 전극을 형성하는 공정으로 이루어져, 1) 단일 발광중심(예컨대, ZnS: Pr, SrS: Pr, ZnS: Ho....등)을 사용하는 경우에 얻어지는 녹색을 띤 백색이나 적색을 띤 백색과는 달리, 가시광 전영역에 걸쳐 고른 발광특성을 갖는 우수한 백색순도와 휘도특성을 확보할 수 있고, 2) SrS: Ce, Eu와 같이 SrS모체를 사용할 경우 관찰되는 필수적으로 요구되는 까다로운 공정 조건, 화학양론적인 조성으로부터의 이탈, 화학적인 불안정성, 높은 흡습성 등으로 인한 ELD소자의 가속 열화현상 등을 제거할 수 있으며, 3) ZnS: Mn/SrS: Ce 구조와는 달리, 발광박막을 단일재료를 이용한 단일층으로 형성하므로 공정 진행이 용이할 뿐 아니라 ZnS모체를 이용하므로 박막 공정이 용이하여 양산성면에서 유리하고, 4) PrF
3 와 CeF
3 화합물의 가농도를 변화시킴으로써, 휘도 조절이 가능하며, 5)PrF
3 에 대한 CeF
3 의 농도를 현재와 같이 동일한 비율로 첨가하지 않고 가변시킴으로써, 발광중심파장을 변화시킬 수 있게 되어, 원하는 최대발광치를 나타내는 표시소자를 구현할 수 있게 된다.-
公开(公告)号：KR1019960042817A
公开(公告)日：1996-12-21
申请号：KR1019950012957
申请日：1995-05-24
Applicant: 오리온전기 주식회사 , 한국과학기술연구원
IPC: H01J9/20
Abstract: 균일한 형광체 등의 현상밀도를 얻기 위해 균일하게 광전도막을 대전시킬 뿐만 아니라, 상술한 복잡한 코로나 방전공정과그 장치를 제거하여 음극선관을 제조할 수 있는 음극선관의 전자사진식 스크린 제조방법과 이에 사용되는 광전도막 대전장치를 제공한다. 그 제조방법은 (1) 전도막의 1차막과 절연막의 2차막으로 된 충전전극을 준비하여 그 절연막을 상기 판넬의 광전도막에 접촉시키는 단계; (2) 그 접촉된 상태에서 그 충전전극의 전도막과 판넬의 전도막에 직류전원을 인가하여 충전시키는 단계; (3) 그 직류전원이 인가된 상태에서 판넬의 상부로부터 투명한 면판을 통과하여 광전도막의 전면적에 광선을 조사하므로서 광전도막으로 판넬의 전도막의 충전된 전하를 이동시키는 단계; 그리고 (4) 그 광전도막으로 전하가 이동된 후 전원과 광원을 차단시키고 충전전극을 분리시키는 단계를 포함한다. 또한, 판넬의 광전도막에 전면적에걸쳐 잘 접촉하도록 전도막의 1차막과 절연막의 2차막의 형성된 충전전극판; 그 충전전극판이 고정되는 충전전극판홀더;상기 판넬의 상부로부터 투명한 면판을 통과하여 상기 광전도막에 빛을 가하기 위한 광원; 상기 광전도막과 절연막과의접촉위치와 분리위치사이에서 상기 판넬과 충전전극판의 어느 하나를 이동시키도록 그 판넬홀더와 충전전극판홀더의 어느하나의 이동수단; 그리고 상기 판넬의 전도막과 충전전극판의 전도막에 직류전위를 인가하기 위한 직류전원을 구비하는대전장치가 제공된다. 이에 따라, 방전장치 없이 충전전극에 의하여 균일하게 광전도막을 대전시킬 수 있어 형광체 도포두께 및 크기, 형상 등을 균일하게 할 수 있는 효과가 있다.
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公开(公告)号：KR1019960030748A
公开(公告)日：1996-08-17
申请号：KR1019950001030
申请日：1995-01-21
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H05B33/14
Abstract: 본 발명은 백색발광용 전계발광소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 유리기판 상에 ITO 투명전극을 형성하는 공정과, RF 반응성 스퍼터링 장치를 이용한 스퍼터링법으로 상기 투명전극에 하부절연층을 형성하는 공정과, 상기 하부절연층 상에 발광층을 형성하는 공정과, 상기 발광층 상에 상기 하부절연층과 동일한 스퍼터링법으로 상부절연층을 형성하는 공정과, 상기 상부절연층 상에 발광소자 동작특성의 열화현상을 방지하는 완충층을 형성하는 공정과, 상기 환충층 상에 열중착법으로 알루미늄 전극을 퉁착하는 공정을 통하여 회토류 원소인 Pr을 발광중심으로 한 EL 소자를 제공함으로써 빛의 삼원색인 적,청,녹색 파장의 발광스펙트럼을 모두 갖는 백색형광박막이 적충되어 형성된 우수한 색순도를 갖는 백색 발광 EL 평판 표시소자를 구현하도록 것이다.
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公开(公告)号：KR100202868B1
公开(公告)日：1999-06-15
申请号：KR1019950012959
申请日：1995-05-24
Applicant: 오리온전기 주식회사 , 한국과학기술연구원
IPC: H01J9/20
Abstract: 새도우마스크를 충전전극으로 사용하여 단순화된 공정으로도 균일하게 광전도막에 전하잠상을 형성하여 음극선관을 제조할 수 있는 새도우마스크전극에 의한 음극선관의 전자사진식 스크린 제조방법을 제공한다.
판넬내면에 형광면을 형성시키기 위한 전자사진식 음극선관의 스크린제조방법에 있어서; (1) 상기 판넬내면에 휘발성전도막을 형성시키는 1차코팅 단계; (2) 그 전도막위에 휘발성광전도막을 형성하는 2차코팅단계; (3) 상기 판넬에 새도우마스크를 그 판넬과 절연되게 장칙하고 고압의 직류전원을 상기 전도막과 새도우마스크에 인가하여 충전하면서 그 새도우마스크를 통해 광선을 소정의 입사각으로 광전도막에 조사(노광)하여 소정의 배열구조만 전도막에 충전된 전하를 선택적으로 광전도막에 이동시킨 후, 그 전원과 빛을 차단하고 전도막의 전하를 방출시켜 광전도막에 소정의 전하잠상을 형성하는 대전 및 노광 단계; 그리고 (4) 소망의 전하로 대전된 미세분말을 상기 대전 및 노광단계(3)에서 전하가 선택적으로 이동된 광전도막의 노광부분과 그 나머지 광전도막의 비노광부분중 어느 하나의 영역에 그 대전된 미세분말을 접촉, 부착시켜 그 미세분말의 실상을 만드는 현상단계를 포함한다. 이에 따라, 방전장치가 필요없게 되고 복잡한 방전조건을 조절할 필요없이 충전과 노광을 동시에 균일하게 할 수 있으므로 형광체 도포두께 및 크기, 형상 등을 균일하게 할 수 있고 음극선관의 화질을 높일 수 있는 효과가 있을 뿐만 아니라, 제조설비 및 제조공정이 크게 감축되고 생산성이 크게 향상되는 등의 효과가 있다.
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