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公开(公告)号：KR1019960030747A
公开(公告)日：1996-08-17
申请号：KR1019950000923
申请日：1995-01-20
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H05B33/14
Abstract: 본 발명은 백색발광용 전계발광표시소자(electroluminescent display)에 관한 것으로, 유리기판 상에 ITO투명전극을 형성하는 공정과;RF 반응성 스퍼티링 장치를 이용하여 상기투명전극 상에 다층으로 이루어진 제1절연층(예컨대,Si
3 N
4 와BaTiO
3 가 순차적으로 적충된 2층 구조)을 형성하는 공정과; 상기 제1절연층 상에 발광층(예컨대, ZnS모체에 Pr과Mn 이원중심을 첨가한 ZnS :Pr, Mn 재질의 발광층)을 형성하는 공정과; 상기 방광층의 박막 결정성 향상 및 발광중심은 Pr과 Mn의 효과적인 확산을 위하여 상기 패턴이 형성된 기판 전면을 진공열처리하는 공정과; 상기 발광층 상에 제2절연층(예컨대, 단일층의 Si
3 N
4 /BaTiO)을 형성하는 공정과; 상기 제2절연층 상에 반응성 스퍼터링법으로 SiO
X N
Y 절연막을 적충하여 보호층을 형성하는 공정 및; 상기 보호층 상에 열중착법으로 알루미늄을 중착한 후 리프트-오프 공정으로 패터닝하여 서로 소정간격 이격되도록 알루미늄 전극을 형성하는 공정을 거쳐 소자제조를 완료하므로써, 1) 종레 Pr단일중심만을 사용하여 전게발광소자를 제조하였을 경우 발생되었던 녹색이 강한 백색을 띠는 현상을 제거할 수 있게 되어 가시광 전 영역에서 고른 발광을 얻을 수 있으며, 2)다색발광용 전계발광소자를 제조하려는 경우에 있어서도 발광중심으로 첨가한 Pr과Mn 농도만을 가변시킴으로써 원하는 스펙트럼을 얻을 수 있게 되어 고신뢰성의 백색발공용 전계발광소자를 구현할 수 있게 된다.-
公开(公告)号：KR100165867B1
公开(公告)日：1999-04-15
申请号：KR1019950001030
申请日：1995-01-21
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H05B33/14
CPC classification number: C09K11/7705 , H05B33/12 , H05B33/14 , H05B33/22 , Y02B20/181
Abstract: 본 발명은 백색발광용 전계발광소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 유리기판 상에 ITO 투명전극을 형성하는 공정과, RF 반응성 스퍼터링 장치를 이용한 스퍼터링법으로 상기 투명전극에 하부절연층을 형성하는 공정과, 상기 하부절연층 상에 발광층을 형성하는 공정과, 상기 발광층 상에 상기 하부절연층과 동일한 스퍼터링법으로 상부절연층을 형성하는 공정과, 상기 상부절연층 상에 발광소자 동작특성의 열화현상을 방지하는 완충층을 형성하는 공정과, 상기 완충층 상에 열증착법으로 알루미늄 전극을 증착하는 공정을 통하여 희토류 원소인 Pr을 발광중심으로 한 EL 소자를 제공함으로써 빛의 삼원색인 적, 청, 녹색파장의 발광스펙트럼을 모두 갖는 백색 형광박막이 적층되어 형성된 우수한 색순도를 갖는 백색 발광 EL 평판 표시소자를 구현하도록 한 것이다.
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公开(公告)号：KR100164457B1
公开(公告)日：1999-04-15
申请号：KR1019950000923
申请日：1995-01-20
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H05B33/14
CPC classification number: C09K11/7702 , H05B33/14 , H05B33/22 , Y02B20/181
Abstract: 본 발명은 백색발광용 전계발광표시소자(electroluminescent display)에 관한 것으로, 유리기판 상에 ITO 투명전극을 형성하는 공정과; RF 반응성 스퍼터링 장치를 이용하여 상기 투명전극상에 다층으로 이루어진 제1절연층(예컨대, Si
3 N
4 와 BaTiO
3 가 순차적으로 적층된 2층 구조)을 형성하는 공정과; 상기 제1절연층 상에 발광층(예컨대, ZnS모체에 Pr과 Mn 이원중심을 첨가한 ZnS:Pr, Mn 재질의 발광층)을 형성하는 공정과; 상기 발광층의 박막 결정성 향상 및 발광중심인 Pr과 Mn의 효과적인 확산을 위하여 상기 패턴이 형성된 기판 전면을 진공열처리하는 공정과; 상기 발광층 상에 제2절연층(예컨대, 단일층의 Si
3 N
4 /BaTiO)을 형성하는 공정과; 상기 제2절연층 상에 반응성 스퍼터링법으로 SiO
X N
Y 절연막을 적층하여 보호층을 형성하는 공정 및; 상기 보호층 상에 열증착법으로 알루미늄을 증착한 후 리프트-오프공정으로 패터닝하여 서로 소정간격 이격되도록 알루미늄 전극을 형성하는 공정을 거쳐 소자제조를 완료하므로써, 1) 종래 Pr 단일중심만을 사용하여 전계발광소자를 제조하였을 경우 발생되었던 녹색이 강한 백색을 띠는 현상을 제거할 수 있게되어 가시광 전 영역에서 고른 발광을 얻을 수 있으며, 2) 다색발광용 전계발광소자를 제조하려는 경우에 있어서도 발광중심으로 첨가한 Pr과 Mn 농도만을 가변시키므로써 원하는 스펙트럼을 얻을 수 있게 되어 고신뢰성의 백색발광용 전계발광소자를 구현할 수 있게 된다.-
公开(公告)号：KR1019970072511A
公开(公告)日：1997-11-07
申请号：KR1019960012209
申请日：1996-04-22
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L33/00
Abstract: 본 발명에 의한 백색 발광용 전계발광표시(electroluminescent display: ELD)소자 및 그 제조방법은, ITO 재질의 투명전극이 형성된 기판 상에, 다층 적층 구조의 제1절연막을 형성하는 공정과; 상기 제1절연막 상의 소정 부분에 ZnS: Pr,Ce,F 재료로 이루어진 발광박막을 형성하는 공정과; 상기 제1절연막과 발광박막을 포함한 투명전극 상의 소정 부분에 제2절연막을 형성하는 공정 및; 상기 제2절연막 상에 서로 소정간격 이격되도록 알루미늄 전극을 형성하는 공정으로 이루어져, 1) 단일 발광중심(예컨대, ZnS: Pr, SrS: Pr, ZnS: Ho....등)을 사용하는 경우에 얻어지는 녹색을 띤 백색이나 적색을 띤 백색과는 달리, 가시광 전영역에 걸쳐 고른 발광특성을 갖는 우수한 백색순도와 휘도특성을 확보할 수 있고, 2) SrS: Ce, Eu와 같이 SrS모체를 사용할 경우 관찰되는 필수적으로 요구되는 까다로운 공정 조건, 화학양론적인 조성으로부터의 이탈, 화학적인 불안정성, 높은 흡습성 등으로 인한 ELD소자의 가속 열화현상 등을 제거할 수 있으며, 3) ZnS: Mn/SrS: Ce 구조와는 달리, 발광박막을 단일재료를 이용한 단일층으로 형성하므로 공정 진행이 용이할 뿐 아니라 ZnS모체를 이용하므로 박막 공정이 용이하여 양산성면에서 유리하고, 4) PrF
3 와 CeF
3 화합물의 가농도를 변화시킴으로써, 휘도 조절이 가능하며, 5)PrF
3 에 대한 CeF
3 의 농도를 현재와 같이 동일한 비율로 첨가하지 않고 가변시킴으로써, 발광중심파장을 변화시킬 수 있게 되어, 원하는 최대발광치를 나타내는 표시소자를 구현할 수 있게 된다.-
公开(公告)号：KR1019960030748A
公开(公告)日：1996-08-17
申请号：KR1019950001030
申请日：1995-01-21
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H05B33/14
Abstract: 본 발명은 백색발광용 전계발광소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 유리기판 상에 ITO 투명전극을 형성하는 공정과, RF 반응성 스퍼터링 장치를 이용한 스퍼터링법으로 상기 투명전극에 하부절연층을 형성하는 공정과, 상기 하부절연층 상에 발광층을 형성하는 공정과, 상기 발광층 상에 상기 하부절연층과 동일한 스퍼터링법으로 상부절연층을 형성하는 공정과, 상기 상부절연층 상에 발광소자 동작특성의 열화현상을 방지하는 완충층을 형성하는 공정과, 상기 환충층 상에 열중착법으로 알루미늄 전극을 퉁착하는 공정을 통하여 회토류 원소인 Pr을 발광중심으로 한 EL 소자를 제공함으로써 빛의 삼원색인 적,청,녹색 파장의 발광스펙트럼을 모두 갖는 백색형광박막이 적충되어 형성된 우수한 색순도를 갖는 백색 발광 EL 평판 표시소자를 구현하도록 것이다.
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