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公开(公告)号：KR1019970008260A
公开(公告)日：1997-02-24
申请号：KR1019950020245
申请日：1995-07-10
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본 발명은 전계방출소자(field emitter display) 제조방법에 관한 것으로, 제1반도체기판을 결정 의존성 식각하여 몰드를 형성하고, 이를 이용하여 팁 어래이를 형성한 뒤 제2반도체기판을 상기 팁 어래이에 접합하여 소자 제조를 완료하므로써, 1) 몰드(mold)용 기판과 팁 어래이의 받침대로 쓰이는 기판이 동일 재질(예컨대, 단결정 실리콘)로 형성되어 VLSI 기술과의 호환성이 있으며, 2) 아울러 비교적 평탄한 반도체 표면 상에서 사진식각공정을 비롯한 후처리 공정(예컨대, 게이트 절연막 및 게이트 전극 패터닝 공정)이 진행되므로 단차(step coverage)등에 의한 공정상의 어려움을 제거할 수 있어, 팁 높이에 제한없이 공정을 용이하게 실시할 수 있게 되고, 또한 3) 양질의 열산화막을 게이트 절연막으로 활용할 수 있는 고신뢰성의 전계방출소자를 구현할 수 있게 된다.
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公开(公告)号：KR100283283B1
公开(公告)日：2001-02-15
申请号：KR1019990002577
申请日：1999-01-27
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H05B33/10
Abstract: 본발명은유리기판(1)의상부에순차적으로투명도전막(2), 삽입층(3), 하부고유전율절연층(4), 발광층(5), 삽입층(6), 상부고유전율절연층(7) 및상기상부고유전율절연층(7)의상부에부분적으로증착된배면전극(8)으로구성된것을특징으로하는전계발광소자에관한것으로, 유리기판과고유전율박막층의사이에삽입층을도입하여표면특성이평탄한하부절연층을구현하여다결정질의고유전율절연막을사용한전계발광소자에서전기장을균일하게분포시킴으로써소자의안정성을높였을뿐만아니라, 표면거칠기의감소로전기장분포가균일하며매우안정적인발광을얻어내는효과가있다.
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公开(公告)号：KR100197154B1
公开(公告)日：1999-06-15
申请号：KR1019950020245
申请日：1995-07-10
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: H01J9/025 , Y10S438/978
Abstract: 본 발명은 전계방출소자(field emitter display) 제조방법에 관한 것으로, 제1반도체판을 결정 의존성 식각하여 몰드를 형성하고, 이를 이용하여 팁 어래이를 형성환 뒤 제2 반도체기판을 상기 팁 어래이에 접합하여 소자 제조를 완료하므로서, 1) 몰드(mold)용 기판과 팁 어래이의 받치대로 쓰이는 기판이 동일 재질(예컨대, 단결성 실리콘)로 형성되어 VLSI 기술과의 호환성이 있으며, 2) 아울러 비교적 평탄한 반도체 표면 상에서 사진식각공정을 비롯한 후처리 공장(예컨대, 게이트 절연막 및 게이트 전극 패터닝 공정)이 진행되므로 단차(step coverage) 등에 의한 공정상의 어려움을 제거할 수 있어, 팁 높이에 제한없이 공정을 용이하게 실시할 수 있게 되고, 또한3)양질의 열산화막을 게이트 절연막으로 활용할 수 있는 고신뢰성의 전계방출소자를 구현할 수 있게 된 다.
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR1020000051875A
公开(公告)日：2000-08-16
申请号：KR1019990002577
申请日：1999-01-27
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H05B33/10
Abstract: PURPOSE: An electroluminescence element with flat surface and its manufacturing method is provided to secure stability of the element and stable luminescence by uniform distribution of electric field. CONSTITUTION: An electroluminescence element with flat surface and its manufacturing method includes followings on a glass panel(1): a transparent conductive film(2), an insertion layer(3), a lower high dielectric layer(4), a luminescence layer(5), an insertion layer(6), upper high dielectric layer(7) and a rear electrode(8) partially attached to the upper high dielectric layer(7). The lower high dielectric layer(4) has flat surface character by inserting an insertion layer(3) between the glass panel(1) and the thin film layer.
Abstract translation: 目的：提供具有平坦表面的电致发光元件及其制造方法，以通过电场的均匀分布来确保元件的稳定性和稳定的发光。 构成：具有平坦表面的电致发光元件及其制造方法包括：玻璃面板（1）：透明导电膜（2），插入层（3），下部高介电层（4），发光层 5），插入层（6），上部高介电层（7）和部分地附接到上部高介电层（7）的后部电极（8）。 通过在玻璃面板（1）和薄膜层之间插入插入层（3），下部高介电层（4）具有平坦的表面特征。
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公开(公告)号：KR1019970077429A
公开(公告)日：1997-12-12
申请号：KR1019960019185
申请日：1996-05-31
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/66
Abstract: 본 발명의 접합된 반도체기판쌍의 비접합영역 관찰을 위한 시편 제조 방법은, 접합된 반도체 기판쌍중 임의의 한 반도체 기판을 박판화하고, 상기 박판화된 반도체 기판과 이와 접합된 기판 모두 상기 접합면에 대해 일정 경사각도를 갖도록 경사연마하여 비접합 영역을 상대적으로 다른 부분보다 얇게 하여 묘사용 습식식각 용액을 이용하여 반도체 기판을 식각하는 것으로, 상기와 같은 방법으로 의해 제조된 시편을 관찰하면 마이크로 크기의 비접합 영역을 간단히 관찰할 수 있으며, 또한 접합계면에 결정결함들도 동시에 검출할 수 있는 효과가 있다.
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