公开(公告)号：KR100215547B1

公开(公告)日：1999-08-16

申请号：KR1019970024735

申请日：1997-06-14

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 유명기 ,  박종구 ,  홍경태 ,  김영도 ,  이승익 ,  이승우 ,  최주

IPC: H01L23/02

CPC classification number: H01L23/10 ,  H01L23/66 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/1423 ,  H01L2924/00

Abstract: 본 발명은, 크기가 2 내지 5㎛이고, 중량 퍼센트로 99.9% 이상의 순도를 가지는 텅스텐 분말을 고분자 결합제와 혼합하여 사출용 피드스톡을 만드는 단계와; 상기 피드스톡을 분말 사출 성형하여 3 차원 성형체를 만드는 단계와; 얻어진 사출 성형체로부터 상기 결합제를 제거하여 텅스텐 골격 구조를 얻는 단계와; 얻어진 상기 텅스텐 골격 구조의 밑면 위에 동 판재를 올려놓고 1250℃에서 2 시간 동안 수소 분위기에서 구리 용침을 수행하는 단계;로 제조되는 마이크로파 소자용 텅스텐-구리 밀폐 패키지용 용기로, 별도의 가공 공정 없이 열방산 특성이 우수하고 열팽창 계수가 GaAs와 유사하며, 스트립 와이어 연결이 가능한 용기를 제공하고, 그의 제조 방법을 제공한다.

公开(公告)号：KR100184383B1

公开(公告)日：1999-04-01

申请号：KR1019960019186

申请日：1996-05-31

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 최주 ,  김영도 ,  유명기 ,  이승익 ,  이현우

IPC: B22F3/00

CPC classification number: C04B35/58092 ,  C22C1/1084 ,  C22C29/18

Abstract: 본 발명은 내산화성이 우수한 이규화몰리브덴(MoSi
2 ) 분말을 저온 소결법으로 소결하는 것으로, 저온에서 무가압 상태로 성형하여 고밀도의 소결제품을 제조하도록 한 것이다.
즉, 이규화몰리브덴 분말을 미세화시켜 소결에 필요한 구동력을 증가시키고, 철(Fe) 또는 니켈(Ni)을 첨가하여 상기 분말 표면 및 입계에 분산시킴으로써 소결중 몰리브덴 및 실리콘의 물질 이동을 용이하게 해주는 확산통로를 제공하며, 저온 밀링을 실시하여 이규화 몰리브덴의 구성원소인 몰리브덴과 실리콘이 대기에서 산소로부터 오염되는 것을 방지하도록 하였다.
본 발명으로 제조한 이규화몰리브덴 제품은 일반적으로 이규화몰리브덴이 대기 중에서 400~600℃로 가열될 때, 발생되는 휘발성 몰리브덴 산화물의 형성에 의한 급격한 산화현상(pest)이 일어나지 않았으며, 1300~1500℃에서 대기에 대한 내산화성질이 우수한 성질을 가짐을 알 수 있었다.

公开(公告)号：KR1019990001421A

公开(公告)日：1999-01-15

申请号：KR1019970024735

申请日：1997-06-14

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 유명기 ,  박종구 ,  홍경태 ,  김영도 ,  이승익 ,  이승우 ,  최주

IPC: H01L23/02

Abstract: 본 발명은, 크기가 2 내지 5㎛이고, 중량 퍼센트로 99.9% 이상의 순도를 가지는 텅스텐 분말을 고분자 결합제와 혼합하여 사출용 피드스톡을 만드는 단계와; 상기 피드스톡을 분말 사출 성형하여 3 차원 성형체를 만드는 단계와; 얻어진 사출 성형체로부터 상기 결합제를 제거하여 텅스텐 골격 구조를 얻는 단계와; 얻어진 상기 텅스텐 골격 구조의 밑면 위에 동 판재를 올려놓고 1250℃에서 2 시간 동안 수소 분위기에서 구리 용침을 수행하는 단계;로 제조되는 마이크로파 소자용 텅스텐-구리 밀폐 패키지용 용기로, 별도의 가공 공정 없이 열방산 특성이 우수하고 열팽창 계수가 GaAs와 유사하며, 스트립 와이어 연결이 가능한 용기를 제공하고, 그의 제조 방법을 제공한다.

公开(公告)号：KR1019970073820A

公开(公告)日：1997-12-10

申请号：KR1019960019186

申请日：1996-05-31

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 최주 ,  김영도 ,  유명기 ,  이승익 ,  이현우

IPC: B22F3/00

Abstract: 본 발명은 내산화성이 우수한 이규화몰리브덴(MoSi2) 분말을 저온 소결법으로 소결하는 것으로, 저온에서 무가압 상태로 성형하여 고밀도의 소결제품을 제조하도록 한 것이다. 즉 이규화 몰리브덴 분말을 미세화시켜 소결에 필요한 구동력을 증가시키고, 철(Fe) 또는 니켈(Ni)을 첨가하여 소결중 물질 이동을 용이하게 해주는 확산통로를 제공하며, 저온 밀링 실시하여 이규화 몰리브덴의 구성원소인 몰리브덴과 실리콘이 대기에서 산소로부터 오염되는 것을 방지하도록 하였다.본 발명으로 제조한 이규화몰리브덴 제품은 일반적으로 이규화 몰리브덴이 대기 중에서 4100∼600℃로 가열될 때 발생되는 휘발성 몰리브덴 산화물의 형성에 의한 급격한 산화현상(pest)이 일어나지 않았으며, 1300∼1500℃에서 대기에 대한 내산화 성질이 우수한 성질을 가짐을 알 수 있었다.