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公开(公告)号：KR100683574B1
公开(公告)日：2007-02-16
申请号：KR1020040083710
申请日：2004-10-19
Applicant: 한국과학기술연구원 , 헤리엇-와트 유니버시티
CPC classification number: C23C16/0254 , C23C16/01 , C23C16/042 , C23C16/272 , C23C16/274 , C30B25/18 , C30B29/04
Abstract: 본 발명에 따르면 기하학적 형태를 갖는 모재입자 전체 표면에 다이아몬드 막이 증착될 수 있는 모재/다이아몬드 복합체를 제조한다. 또한, 본 발명은 상기 복합체를 이용하여 내부가 비어 있는 다이아몬드 쉘(shell)을 제조하는 방법을 제공한다. 상기 모재/다이아몬드 복합체는 마이크로 크기를 갖는 모재입자 표면에 CVD 법으로 다이아몬드막을 증착하여 제조한다. 또한, 이러한 복합체 제조 과정에 모재 표면의 일부에는 다이아몬드 막이 형성되지 않는 열린 곳(opening)이 있는 부분복합체를 제조하고, 열린 곳을 통해 모재를 에칭 시켜 제거함으로써, 내부가 비어있는 다이아몬드 구조물(쉘)을 제조한다. 모재의 모양을 구, 사면체 및 육면체 등으로 변화시키고, 모재의 크기를 변화시킴에 의해 모양 및 크기에 있어서 다양한 모재/다이아몬드 복합체 및 다이아몬드 쉘을 제조할 수 있다. 제조할 수 있는 모재/다이아몬드 복합체 및 다이아몬드 쉘의 크기는 200 nm ~ 2 mm 이다.
다이아몬드, CVD, 나노, 마이크로, 복합체, 쉘, 에칭-
公开(公告)号：KR101019029B1
公开(公告)日：2011-03-04
申请号：KR1020080080167
申请日：2008-08-14
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: C30B29/02 , B82Y15/00 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/188 , C23C16/01 , C23C16/26 , C30B25/02 , C30B29/04 , Y10S977/742 , Y10T428/30
Abstract: 본 발명은 모재와 그라핀이 화학적으로 결합된 그라핀 하이브리드 물질 및 화학기상증착(CVD)법을 이용하여 상기 그라핀 하이브리드 물질을 제조하는 방법에 관한 것으로서, 표면에 단절된 격자 면을 갖는 모재와, 상기 모재 표면의 단절된 격자 면을 따라 에피택셜 성장된 그라핀을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 그라핀 하이브리드 물질을 제공한다. 본 발명에 의하면 그라핀을 직경 8 인치 이상의 대면적으로 제조할 수도 있다.
본 발명에 따른 그라핀 하이브리드 물질은 체내 이식형 바이오칩, 차세대 반도체 소자, 전자 에미터 등과 같은 탄소나노튜브의 응용 분야에 사용될 수 있다. 본 발명의 그라핀은 나노 사이즈보다 작은 분자 수준으로 제어될 수 있으므로, 탄소나노튜브보다 더 뛰어난 특성을 발휘한다. 또한, 그라핀 간 거리가 흑연의 것보다 10∼20% 큰 특성을 이용하면, 그라핀은 다양한 GIC (Graphite Intercalation Compound) 신물질 개발에 응용될 수 있다.
그라핀, 탄소, 분자, 나노, CVD 합성, 다이아몬드, 하이브리드 물질-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020090017454A
公开(公告)日：2009-02-18
申请号：KR1020080080167
申请日：2008-08-14
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: C30B29/02 , B82Y15/00 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/188 , C23C16/01 , C23C16/26 , C30B25/02 , C30B29/04 , Y10S977/742 , Y10T428/30
Abstract: A grapheme hybrid material in which grapheme is epitaxially grown to form a predetermined angle to the surface of a matrix using chemical vapor deposition is provided, a method for preparing the same is provided, a method of preparing grapheme to a large diameter of 8 inches or more is provided, and a method of obtaining a grapheme/matrix hybrid material and a carbon nanomaterial/diamond film hybrid material at the same time and obtaining a CVD diamond film and grapheme successively is provided. A grapheme hybrid material comprises: a matrix having a cut lattice plane on the surface thereof; and grapheme epitaxially grown along the cut lattice plane of the matrix surface. A method for preparing a grapheme hybrid material comprises epitaxially growing the graphene along the cut lattice plane of the matrix surface while forming a predetermined angle to the matrix by a chemical vapor deposition method of contacting reaction gas comprising hydrogen and carbon components with a matrix having a cut lattice plane on the surface thereof such that graphene is capable of being epitaxially grown on the cut lattice plane.
Abstract translation: 提供了一种使用化学气相沉积外延生长以形成与基体表面成预定角度的图形化的混合材料，提供了一种制备方法，该方法用于制备8英寸的大直径或 提供了更多的方法，并且提供了一种同时获得图形/矩阵混合材料和碳纳米材料/金刚石膜混合材料并连续获得CVD金刚石膜和图形的方法。 一种图形混合材料包括：在其表面上具有切割晶格面的矩阵; 以及沿矩阵表面的切割晶格面外延生长的图形。 一种制备字母杂化材料的方法包括沿着矩阵表面的切割晶格面外延生长石墨烯，同时通过化学气相沉积方法与基体形成预定的角度，该方法使含有氢和碳组分的反应气体与具有 在其表面上切割晶格面，使得石墨烯能够在切割的晶格面上外延生长。
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公开(公告)号：KR1020060108440A
公开(公告)日：2006-10-18
申请号：KR1020050030824
申请日：2005-04-13
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: C23C16/27 , C23C16/01 , Y10T428/249957
Abstract: 본 발명은 기하학적 형태, 특히 수 마이크로(micro) 크기에서 수 ㎜ 크기의 중공형 다이아몬드 쉘(shell)을 제조할 수 있는 것으로, 다이아몬드 쉘 제조에 필요한 희생모재로 다공성 입자(실리카)를 사용함으로써, 모재 에칭과정에서, 에칭용액을 강하게 빨아들이는 모세관 현상의 도움으로 쉽게 모재를 제거할 수 있어서, 종래의 기술로는 제조할 수 없었던, 뚜렷한 열린 곳이 없이 다수의 나노크기(1-1000 nm)의 미세한 공극만을 갖고 있는, 완전한 다이아몬드 쉘을 제공할 수 있다. 또한, 다이아몬드 입자의 핵생성을 제어하여 입자 표면적의 10% 이하의 작은 열린 곳을 갖는 다이아몬드 쉘도 제조할 수 있다. 이러한 다이아몬드 쉘은 DNA나 박테리아와 같은 바이오물질을 안전하게 보존하는 용기로 사용될 수 있다. 또한, 화공약품, 의약품 및 향수 등의 액상 뿐만아니라 수소가스 등 기상도 담을 수 있어, 액체 또는 기상의 물질을 시간에 따라 일정하게 공급할 수 있는 용기로 사용될 수 있다. 또한, 인공 뼈 등 바이오 세라믹 분야, 잠수함, 항공기, 우주선 등의 군수분야에서 경량 고강도 충전재(filler) 및 반도체 산업에서 고출력 칩(chip)용 저유전율 열방산 충전재로 사용될 수 있다. 또한 순백색의 고결정성 다이아몬드 쉘은 새로운 형태의 보석으로 사용될 수 있다.
다이아몬드 막, CVD, 다공성 실리카, 마이크로, 나노, 쉘, 에칭-
公开(公告)号：KR1020060034545A
公开(公告)日：2006-04-24
申请号：KR1020040083710
申请日：2004-10-19
Applicant: 한국과학기술연구원 , 헤리엇-와트 유니버시티
CPC classification number: C23C16/0254 , C23C16/01 , C23C16/042 , C23C16/272 , C23C16/274 , C30B25/18 , C30B29/04
Abstract: 본 발명에 따르면 기하학적 형태를 갖는 모재입자 전체 표면에 다이아몬드 막이 증착될 수 있는 모재/다이아몬드 복합체를 제조한다. 또한, 본 발명은 상기 복합체를 이용하여 내부가 비어 있는 다이아몬드 쉘(shell)을 제조하는 방법을 제공한다. 상기 모재/다이아몬드 복합체는 마이크로 크기를 갖는 모재입자 표면에 CVD 법으로 다이아몬드막을 증착하여 제조한다. 또한, 이러한 복합체 제조 과정에 모재 표면의 일부에는 다이아몬드 막이 형성되지 않는 열린 곳(opening)이 있는 부분복합체를 제조하고, 열린 곳을 통해 모재를 에칭 시켜 제거함으로써, 내부가 비어있는 다이아몬드 구조물(쉘)을 제조한다. 모재의 모양을 구, 사면체 및 육면체 등으로 변화시키고, 모재의 크기를 변화시킴에 의해 모양 및 크기에 있어서 다양한 모재/다이아몬드 복합체 및 다이아몬드 쉘을 제조할 수 있다. 제조할 수 있는 모재/다이아몬드 복합체 및 다이아몬드 쉘의 크기는 200 nm ~ 2 mm 이다.
다이아몬드, CVD, 나노, 마이크로, 복합체, 쉘, 에칭-
公开(公告)号：KR100797775B1
公开(公告)日：2008-01-24
申请号：KR1020060071001
申请日：2006-07-27
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/027 , C30B25/22 , B82Y40/00
CPC classification number: C23C16/0272 , C04B35/52 , C04B35/62218 , C04B2235/3217 , C04B2235/3236 , C04B2235/3418 , C04B2235/425 , C04B2235/427 , C23C16/01 , C23C16/26 , C23C16/272 , C30B25/22
Abstract: A diamond/carbon nano-material hybrid film and a fabricating method thereof are provided to fabricate the diamond/carbon nano-material hybrid film by using laminated porous silica spheres as a matrix and duplicating gas chemistry near the sample. A diamond film(4-1) is formed on one surface of a matrix, and a carbon nano material film(4-2) is formed on the other surface thereof. A sample set, in which matrix particles(1) are laminated at least by a layer on a substrate and spaces are ensured between a substrate and the matrix particles and between the matrix particles, is prepared. The sample set is put into an apparatus for synthesizing CVD diamond. A gas including hydrogen and carbon is introduced into the apparatus, and then a plasma is produced to form a diamond film on an upper portion of the matrix particles and a carbon nano-material film on a lower portion of the matrix particles.
Abstract translation: 提供了一种金刚石/碳纳米材料混合膜及其制造方法，通过使用层叠的多孔二氧化硅球作为基质并在样品附近复制气体化学物质来制造金刚石/碳纳米材料混合膜。 在基体的一个表面上形成金刚石膜（4-1），在其另一个表面上形成碳纳米材料膜（4-2）。 制备基质颗粒（1）至少层叠在基材和空间上的样品组，在基材和基质颗粒之间以及基质颗粒之间。 将样品组放入用于合成CVD金刚石的装置中。 将包括氢和碳的气体引入装置中，然后产生等离子体以在基体颗粒的上部形成金刚石膜，并在基体颗粒的下部形成碳纳米材料膜。
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公开(公告)号：KR100678727B1
公开(公告)日：2007-02-05
申请号：KR1020050030824
申请日：2005-04-13
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: C23C16/27 , C23C16/01 , Y10T428/249957
Abstract: 본 발명은 기하학적 형태를 갖는 수 마이크로 내지 수 밀리미터 크기의 중공형 다이아몬드 쉘 및 그 제조방법에 관한 것으로, 다이아몬드 막이 CVD법으로 증착되고 후속적으로 에칭되는 희생모재로서 다공성 입자를 사용함으로써, 모재 에칭과정에서 에칭용액을 강하게 빨아들이는 모세관 현상에 의해 쉽게 모재를 제거할 수 있어서, 종래의 기술로는 제조할 수 없었던, 뚜렷한 열린 곳이 없이 다수의 나노 크기의 미세한 공극만을 갖고 있는, 완전한 다이아몬드 쉘을 제공할 수 있다. 또한, 다이아몬드 입자의 핵생성을 제어하여 입자 표면적의 10% 이하의 작은 열린 곳을 갖는 다이아몬드 쉘도 제조할 수 있다.
다이아몬드 쉘, 다이아몬드 막, CVD, 다공성 실리카 구, 모세관 도움 에칭
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