公开(公告)号：KR1019970072511A

公开(公告)日：1997-11-07

申请号：KR1019960012209

申请日：1996-04-22

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 오명환 ,  한택상 ,  이윤희 ,  신동기 ,  정성재 ,  주영대

IPC: H01L33/00

Abstract: 본 발명에 의한 백색 발광용 전계발광표시(electroluminescent display: ELD)소자 및 그 제조방법은, ITO 재질의 투명전극이 형성된 기판 상에, 다층 적층 구조의 제1절연막을 형성하는 공정과; 상기 제1절연막 상의 소정 부분에 ZnS: Pr,Ce,F 재료로 이루어진 발광박막을 형성하는 공정과; 상기 제1절연막과 발광박막을 포함한 투명전극 상의 소정 부분에 제2절연막을 형성하는 공정 및; 상기 제2절연막 상에 서로 소정간격 이격되도록 알루미늄 전극을 형성하는 공정으로 이루어져, 1) 단일 발광중심(예컨대, ZnS: Pr, SrS: Pr, ZnS: Ho....등)을 사용하는 경우에 얻어지는 녹색을 띤 백색이나 적색을 띤 백색과는 달리, 가시광 전영역에 걸쳐 고른 발광특성을 갖는 우수한 백색순도와 휘도특성을 확보할 수 있고, 2) SrS: Ce, Eu와 같이 SrS모체를 사용할 경우 관찰되는 필수적으로 요구되는 까다로운 공정 조건, 화학양론적인 조성으로부터의 이탈, 화학적인 불안정성, 높은 흡습성 등으로 인한 ELD소자의 가속 열화현상 등을 제거할 수 있으며, 3) ZnS: Mn/SrS: Ce 구조와는 달리, 발광박막을 단일재료를 이용한 단일층으로 형성하므로 공정 진행이 용이할 뿐 아니라 ZnS모체를 이용하므로 박막 공정이 용이하여 양산성면에서 유리하고, 4) PrF
3 와 CeF
3 화합물의 가농도를 변화시킴으로써, 휘도 조절이 가능하며, 5)PrF
3 에 대한 CeF
3 의 농도를 현재와 같이 동일한 비율로 첨가하지 않고 가변시킴으로써, 발광중심파장을 변화시킬 수 있게 되어, 원하는 최대발광치를 나타내는 표시소자를 구현할 수 있게 된다.

公开(公告)号：KR1019960030747A

公开(公告)日：1996-08-17

申请号：KR1019950000923

申请日：1995-01-20

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 오명환 ,  한택상 ,  이윤희 ,  정성재 ,  주영대 ,  선우진호

IPC: H05B33/14

Abstract: 본 발명은 백색발광용 전계발광표시소자(electroluminescent display)에 관한 것으로, 유리기판 상에 ITO투명전극을 형성하는 공정과;RF 반응성 스퍼티링 장치를 이용하여 상기투명전극 상에 다층으로 이루어진 제1절연층(예컨대,Si
3 N
4 와BaTiO
3 가 순차적으로 적충된 2층 구조)을 형성하는 공정과; 상기 제1절연층 상에 발광층(예컨대, ZnS모체에 Pr과Mn 이원중심을 첨가한 ZnS :Pr, Mn 재질의 발광층)을 형성하는 공정과; 상기 방광층의 박막 결정성 향상 및 발광중심은 Pr과 Mn의 효과적인 확산을 위하여 상기 패턴이 형성된 기판 전면을 진공열처리하는 공정과; 상기 발광층 상에 제2절연층(예컨대, 단일층의 Si
3 N
4 /BaTiO)을 형성하는 공정과; 상기 제2절연층 상에 반응성 스퍼터링법으로 SiO
X N
Y 절연막을 적충하여 보호층을 형성하는 공정 및; 상기 보호층 상에 열중착법으로 알루미늄을 중착한 후 리프트-오프 공정으로 패터닝하여 서로 소정간격 이격되도록 알루미늄 전극을 형성하는 공정을 거쳐 소자제조를 완료하므로써, 1) 종레 Pr단일중심만을 사용하여 전게발광소자를 제조하였을 경우 발생되었던 녹색이 강한 백색을 띠는 현상을 제거할 수 있게 되어 가시광 전 영역에서 고른 발광을 얻을 수 있으며, 2)다색발광용 전계발광소자를 제조하려는 경우에 있어서도 발광중심으로 첨가한 Pr과Mn 농도만을 가변시킴으로써 원하는 스펙트럼을 얻을 수 있게 되어 고신뢰성의 백색발공용 전계발광소자를 구현할 수 있게 된다.

公开(公告)号：KR100164457B1

公开(公告)日：1999-04-15

申请号：KR1019950000923

申请日：1995-01-20

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 오명환 ,  한택상 ,  이윤희 ,  정성재 ,  주영대 ,  선우진호

IPC: H05B33/14

CPC classification number: C09K11/7702 ,  H05B33/14 ,  H05B33/22 ,  Y02B20/181

Abstract: 본 발명은 백색발광용 전계발광표시소자(electroluminescent display)에 관한 것으로, 유리기판 상에 ITO 투명전극을 형성하는 공정과; RF 반응성 스퍼터링 장치를 이용하여 상기 투명전극상에 다층으로 이루어진 제1절연층(예컨대, Si
3 N
4 와 BaTiO
3 가 순차적으로 적층된 2층 구조)을 형성하는 공정과; 상기 제1절연층 상에 발광층(예컨대, ZnS모체에 Pr과 Mn 이원중심을 첨가한 ZnS:Pr, Mn 재질의 발광층)을 형성하는 공정과; 상기 발광층의 박막 결정성 향상 및 발광중심인 Pr과 Mn의 효과적인 확산을 위하여 상기 패턴이 형성된 기판 전면을 진공열처리하는 공정과; 상기 발광층 상에 제2절연층(예컨대, 단일층의 Si
3 N
4 /BaTiO)을 형성하는 공정과; 상기 제2절연층 상에 반응성 스퍼터링법으로 SiO
X N
Y 절연막을 적층하여 보호층을 형성하는 공정 및; 상기 보호층 상에 열증착법으로 알루미늄을 증착한 후 리프트-오프공정으로 패터닝하여 서로 소정간격 이격되도록 알루미늄 전극을 형성하는 공정을 거쳐 소자제조를 완료하므로써, 1) 종래 Pr 단일중심만을 사용하여 전계발광소자를 제조하였을 경우 발생되었던 녹색이 강한 백색을 띠는 현상을 제거할 수 있게되어 가시광 전 영역에서 고른 발광을 얻을 수 있으며, 2) 다색발광용 전계발광소자를 제조하려는 경우에 있어서도 발광중심으로 첨가한 Pr과 Mn 농도만을 가변시키므로써 원하는 스펙트럼을 얻을 수 있게 되어 고신뢰성의 백색발광용 전계발광소자를 구현할 수 있게 된다.