公开(公告)号：KR102098284B1

公开(公告)日：2020-04-07

申请号：KR1020180033366

申请日：2018-03-22

Applicant: 한국과학기술연구원 ,  서울대학교산학협력단

Inventor： 서민아 ,  최근창 ,  김대식

IPC: G01N21/63 ,  G01N21/956

公开(公告)号：KR101841683B1

公开(公告)日：2018-03-26

申请号：KR1020160157169

申请日：2016-11-24

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 서민아 ,  이동규 ,  최근창 ,  김철기 ,  김재헌 ,  이택진 ,  전영민

IPC: G01N21/3586 ,  G02B1/00 ,  H01S5/02

CPC classification number: G21K5/04 ,  G21K5/08 ,  G01N21/3586 ,  G02B1/002 ,  H01S5/0213 ,  H01S2302/02

Abstract: 본발명은테라헤르츠트래핑디바이스로서, 기판; 및상기기판상에배치되는필름을포함하되, 상기필름은, 테라헤르츠전가기파를이용하여입자의움직임이제어되도록, 특정모양의슬랏이음각패터닝되거나또는특정모양의구조물이양각패터닝되는것을특징으로한다.

Abstract translation: 一种太赫兹捕捉装置，包括：基板; 并且包括：设置在基板上的膜，该膜是这样的，在使用前要波的太赫兹粒子运动控制，一个特定形状的槽中雕刻图案，或者其中某些形结构被压印图案 它应。