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公开(公告)号:KR101782385B1
公开(公告)日:2017-09-27
申请号:KR1020160103780
申请日:2016-08-16
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N27/49 , G01R33/381 , G01R15/12 , G01N35/00
CPC classification number: G01N27/49 , G01N35/00613 , G01R15/125 , G01R33/381
Abstract: 그래핀품질평가장치는그래핀(graphene)에근접하여배치되는적어도하나의전자석, 전자석에서변경되는세기를가지는자기장을생성하도록전자석에변경되는크기를가지는전기신호를제공하는구동부, 전자석에서생성되는자기장에의해그래핀에유도된유도전압을측정하는유도전압측정부, 및유도전압에기초하여그래핀의품질을평가하는품질평가부를포함한다. 이에따라, 그래핀품질평가장치는그래핀의구조적결함을정량화하여품질을평가할수 있다.
Abstract translation: 石墨烯质量估计装置是该驱动器,由所述电磁体产生,以提供具有大小这改变了电磁体,以产生具有至少一个电磁体的磁场的电信号,强度上的磁体改变布置为靠近所述销(石墨烯) 感应电压测量单元,用于通过磁场测量石墨烯中感应的感应电压;以及质量评估单元,用于基于感应电压评估石墨烯的质量。 因此,石墨烯质量评估装置可以通过量化石墨烯的结构缺陷来评估质量。
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公开(公告)号:KR102102851B1
公开(公告)日:2020-04-22
申请号:KR1020180009127
申请日:2018-01-25
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L21/02 , H01L21/56 , B23K26/362 , H01L21/311
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公开(公告)号:KR102264384B1
公开(公告)日:2021-06-14
申请号:KR1020190142449
申请日:2019-11-08
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G03F7/00 , G03F7/20 , G03F7/34 , H01L21/033 , H01L21/027 , H01L21/67
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公开(公告)号:KR101763166B1
公开(公告)日:2017-08-03
申请号:KR1020160121417
申请日:2016-09-22
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: B05C1/0808 , A61F2210/0076 , B05C1/022 , B05D1/20 , B05D1/283 , B05D1/286 , B05D1/60 , C23C14/0005 , C23C14/021 , C23C14/025 , C23C14/087 , C23C14/14 , C23C16/01 , C23C16/06 , C23C22/13 , B05D1/005 , B05D7/14 , C23F1/18 , C23F1/28 , C23F1/34
Abstract: 회전방식을이용한박막코팅방법및 박막코팅장치가제공된다. 상기박막코팅방법은, 액상물질상에박막물질을플로팅(floating)하는플로팅단계, 원통형기판을상기박막물질에접촉시킨후, 상기원통형기판을회전하는회전단계, 및상기원통형기판의표면과상기박막물질사이에작용하는인력(attraction force)을이용하여상기박막물질을상기원통형기판의표면상에코팅하는코팅단계를포함한다.
Abstract translation: 提供使用旋转方法和薄膜涂布装置的薄膜涂布方法。 薄膜涂布方法包括:浮动步骤,将薄膜材料浮在液体材料上;旋转步骤,在圆柱形基底与薄膜材料接触之后使圆柱形基底旋转; 并且使用作用在材料之间的吸引力将薄膜材料涂覆在圆柱形基底的表面上。
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