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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020060074780A
公开(公告)日：2006-07-03
申请号：KR1020040113902
申请日：2004-12-28
Applicant: 코닝정밀소재 주식회사 , 한국과학기술원
IPC: G02F1/13
CPC classification number: G02F1/1309 , G01N21/95 , G01N2021/9513
Abstract: 본 발명은 유리기판의 돌출 결함 형상 측정장치 및 방법에 관한 것으로서, 평행광을 유리기판(1)에 투사시키는 평행광생성수단(110)과, 유리기판(1)에 반사되는 광을 제 1 및 제 2 광으로 분할하는 광분할기(120)와, 제 1 광을 기준광으로 생성시키는 기준광생성수단(130)과, 제 2 광을 측정광으로서 기준광에 대한 광경로차를 조절하는 측정광조절수단(140)과, 유리기판(1)과 동일한 재질 및 두께로 형성됨과 아울러 기준광 또는 측정광의 경로상에 설치되어 이들의 경로를 보상하는 리타더(150)와, 기준광과 측정광을 동일 경로로 출사하는 편광분할기(160)와, 편광분할기(160)로부터 출사되는 기준광과 측정광의 위상을 공간적으로 천이시켜서 복수개의 간섭신호를 출사하는 공간위상천이수단(180)과, 공간위상천이수단(180)에 의해 천이된 복수개의 간섭신호를 동시에 획득하는 광검출기(190)를 포함한다. 따라서, 본 발명은 유리기판과 동일한 재질 및 두께를 가진 리타더를 사용하여 기준광이나 측정광을 유리기판의 상면 또는 하면에서 반사되는 광들중 용이하게 선택할 수 있도록 함으로써 유리기판상에서 3차원 돌출 결함의 위치 구분이 가능하며, 유리기판의 돌출 결함의 3차원 이미지는 물론 유리기판에서 돌출 결함을 발생시키는 결함의 2차원 이미지를 획득함으로써 결함의 원인 및 종류 등에 대한 분석이 가능하도록 하는 효과를 가지고 있다.
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公开(公告)号：KR101892357B1
公开(公告)日：2018-08-27
申请号：KR1020160131381
申请日：2016-10-11
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H04B10/548 , H01Q3/26 , H04B10/61
CPC classification number: H04B10/25752 , G02B6/2861 , G02F1/0147 , G02F1/025 , G02F1/2255 , G02F2001/0156 , G02F2001/212 , H04B10/501 , H04B10/516
Abstract: 일실시예에따르면, 실리콘반도체를기반으로실리콘단일반도체공정(monolithic integration)에의해제작되어, 위상배열안테나의신호처리를위한실제시간지연을이용하는광 빔포밍네트워크(Photonic Beam Forming Network; PBFN) 칩은광원으로부터발생되는광 파워를균등한파워로분기하는적어도하나의파워스플리터(Power splitter); 상기적어도하나의파워스플리터를이용하여, 복수의안테나들로부터송수신되는복수의 RF 신호들을복수채널의광 신호들로변경하는복수의 MZM(Mach-Zehnder Modulator) 광변조기들; 상기복수채널의광 신호들에대해상기복수의안테나들별로시간지연을보상또는조절하는복수의 TTD(True Time Delay) 소자들; 상기복수채널의광 신호들이결합된단일광 신호또는상기복수채널의광 신호들을 RF 신호로변경하는광 검출기(Photodetector); 및상기적어도하나의파워스플리터, 상기복수의 MZM 광변조기들, 상기복수의 TTD 소자들및 상기광 검출기각각을연결하는광 도파로를포함한다.
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公开(公告)号：KR101638865B1
公开(公告)日：2016-07-12
申请号：KR1020150146788
申请日：2015-10-21
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본발명은음각형태의마이크로니들형상의몰드를제조하는방법으로서, 서로연통된제 1 내부공간및 제 2 내부공간을가지는실리콘기판을포함하되, 상기제 1 내부공간및 상기제 2 내부공간은하부로갈수록횡단면적이증가하지는않으며상기제 2 내부공간은상기제 1 내부공간과연결되어상기실리콘기판의외부와연통되는, 실리콘몰드를제공하는제 1 단계; 상기제 1 내부공간및 상기제 2 내부공간을충전하도록상기실리콘몰드상에고분자물질층을형성하고경화한후에상기실리콘몰드로부터분리함으로써구현된양각복제몰드를형성하는제 2 단계; 및상기양각복제몰드상에고분자물질층을형성하고경화한후에상기양각복제몰드로부터분리함으로써구현된음각복제몰드를형성하는제 3 단계;를포함한다.
Abstract translation: 本发明是一种制造微针雕刻模具的方法，该方法包括以下步骤：第一步骤，提供一种硅树脂模具，其包括具有相互连通的第一和第二内部空间的硅衬底，其中横截面积 所述第一内部空间和所述第二内部空间不向其下部增加，所述第二内部空间与所述第一内部空间连接，从而与所述硅基板的外部连通; 第二步骤，在所述硅树脂模具上形成聚合物材料层以填充所述第一内部空间和所述第二内部空间，并固化所述聚合物材料层并将其从所述硅树脂模具中释放出来以产生压花复制模具; 以及第三步骤，用于在压花复制模具上形成和固化聚合物材料层，并从压花复制模具中释放聚合物材料层以产生雕刻的复制模具。
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公开(公告)号：KR100675566B1
公开(公告)日：2007-01-30
申请号：KR1020040113902
申请日：2004-12-28
Applicant: 코닝정밀소재 주식회사 , 한국과학기술원
IPC: G02F1/13
Abstract: 본 발명은 유리기판의 돌출 결함 형상 측정장치 및 방법에 관한 것으로서, 평행광을 유리기판(1)에 투사시키는 평행광생성수단(110)과, 유리기판(1)에 반사되는 광을 제 1 및 제 2 광으로 분할하는 광분할기(120)와, 제 1 광을 기준광으로 생성시키는 기준광생성수단(130)과, 제 2 광을 측정광으로서 기준광에 대한 광경로차를 조절하는 측정광조절수단(140)과, 유리기판(1)과 동일한 재질 및 두께로 형성됨과 아울러 기준광 또는 측정광의 경로상에 설치되어 이들의 경로를 보상하는 리타더(150)와, 기준광과 측정광을 동일 경로로 출사하는 편광분할기(160)와, 편광분할기(160)로부터 출사되는 기준광과 측정광의 위상을 공간적으로 천이시켜서 복수개의 간섭신호를 출사하는 공간위상천이수단(180)과, 공간위상천이수단(180)에 의해 천이된 복수개의 간섭신호를 동시에 획득하는 광검출기(190)를 포함한다. 따라서, 본 발명은 유리기판과 동일한 재질 및 두께를 가진 리타더를 사용하여 기준광이나 측정광을 유리기판의 상면 또는 하면에서 반사되는 광들중 용이하게 선택할 수 있도록 함으로써 유리기판상에서 3차원 돌출 결함의 위치 구분이 가능하며, 유리기판의 돌출 결함의 3차원 이미지는 물론 유리기판에서 돌출 결함을 발생시키는 결함의 2차원 이미지를 획득함으로써 결함의 원인 및 종류 등에 대한 분석이 가능하도록 하는 효과를 가지고 있다.
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